日本晶圓設(shè)備巨頭DISCO于2023年末發(fā)布了全新SiC(碳化硅)切割設(shè)備,成功提升碳化硅晶圓切割速度10倍以上。初期產(chǎn)品已經(jīng)交貨給客戶。由于碳化硅的硬度極高,僅次于金剛石和碳化硼,聚硅的1.8倍,切割難度極大。
值得一提的是,10多年前,DISCO就曾研發(fā)出能降低HBM高帶寬內(nèi)存制造成本的設(shè)備。隨著AI技術(shù)的發(fā)展,此類設(shè)備銷量大增。面對(duì)HBM的高昂成本,存儲(chǔ)芯片制造商多選擇將后段流程外包,這無(wú)疑加大了對(duì)DISCO制造設(shè)備的需求。
報(bào)道稱,DISCO在晶圓切割與研磨設(shè)備市場(chǎng)占有率高達(dá)70~80%,2023年股價(jià)翻番,研發(fā)開(kāi)支沖破250億日元(約合1.75億美元)。目前,DISCO專注于HBM以及碳化硅晶圓切割設(shè)備的研究。
2023年7月,DISCO宣告在日本熊本縣成立“中間工藝研發(fā)中心”,涵蓋成品晶圓切割環(huán)節(jié),該步驟對(duì)于良品率及生產(chǎn)效率至關(guān)重要,操作需慎之又慎。
雖然美日加大了半導(dǎo)體設(shè)備對(duì)華出口限制力度,然而DISCO在中國(guó)市場(chǎng)的銷售額暫無(wú)明顯下滑跡象。據(jù)2022年3月數(shù)據(jù),其中國(guó)市場(chǎng)收入占比約為31%,并在后續(xù)的7至9月份進(jìn)一步升至34%。
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