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什么是透射電鏡(TEM)?

金鑒實(shí)驗(yàn)室 ? 2024-11-08 12:33 ? 次閱讀
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透射電子顯微鏡(TEM)是一種利用電子束穿透超薄樣品以獲取高分辨率圖像的技術(shù),它在材料科學(xué)、生物學(xué)和物理學(xué)等多個(gè)學(xué)科領(lǐng)域內(nèi)扮演著至關(guān)重要的角色。TEM能夠揭示材料的微觀結(jié)構(gòu),包括形貌、晶體結(jié)構(gòu)、缺陷、化學(xué)成分和電子結(jié)構(gòu)等關(guān)鍵信息。

如何形成的

TEM的運(yùn)作依賴于電子與樣品的相互作用。電子槍產(chǎn)生電子束,這些電子隨后被一系列電磁透鏡聚焦并加速至高能量狀態(tài)(通常在80 KeV到300 KeV之間),然后投射到樣品上。透射電子被物鏡和成像透鏡捕獲,最終在熒光屏、感光膠片或CCD相機(jī)上形成圖像。由于電子的波長(zhǎng)極短,TEM能夠?qū)崿F(xiàn)納米甚至亞原子級(jí)別的分辨率,遠(yuǎn)超傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的分辨率限制。

組成部分

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電子槍?zhuān)?/strong>負(fù)責(zé)產(chǎn)生電子束,主要類(lèi)型包括熱發(fā)射和場(chǎng)發(fā)射電子槍?zhuān)渲袌?chǎng)發(fā)射電子槍因其高亮度和優(yōu)越的聚焦能力而適用于高分辨率成像。

電磁透鏡:用于控制電子束的聚焦和放大,功能類(lèi)似于傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡中的光學(xué)透鏡。

樣品臺(tái):允許進(jìn)行精確的樣品定位和傾斜操作,以研究不同方向上的樣品結(jié)構(gòu)。

探測(cè)器包括熒光屏、感光膠片或數(shù)碼探測(cè)器(如CCD相機(jī)),用于記錄樣品透射后的圖像。

操作模式

TEM的操作模式多樣,以適應(yīng)不同的分析需求。以確保數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性和可靠性。

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1. 明場(chǎng)成像(Bright Field Imaging):這是TEM中最普遍的成像方式,通過(guò)透射電子形成圖像,適用于觀察樣品的整體形貌和晶體缺陷。

2. 暗場(chǎng)成像(Dark Field Imaging):通過(guò)選擇特定散射角度的電子進(jìn)行成像,以突出樣品中的特定結(jié)構(gòu)。

3. 高分辨透射電子顯微鏡(HRTEM):通過(guò)直接成像電子波的干涉圖樣,實(shí)現(xiàn)對(duì)晶體結(jié)構(gòu)的原子級(jí)分辨率成像。

4. 電子衍射(Electron Diffraction):分析電子束與晶體相互作用后產(chǎn)生的衍射圖樣,以確定材料的晶體結(jié)構(gòu)。

5. 能量色散X射線光譜(EDS/EDX):結(jié)合TEM使用,通過(guò)分析特征X射線的能量來(lái)確定樣品中元素的種類(lèi)和分布。

6. 電子能量損失譜(EELS):通過(guò)測(cè)量電子穿過(guò)樣品時(shí)的能量損失,提供材料的化學(xué)成分、價(jià)態(tài)和電子結(jié)構(gòu)信息。

樣品制備技術(shù)

TEM樣品制備是實(shí)現(xiàn)有效分析的關(guān)鍵步驟,要求樣品必須足夠薄以便電子束能夠穿透。常用的樣品制備方法包括:

機(jī)械研磨:將塊狀樣品研磨至適當(dāng)厚度,再通過(guò)離子減薄技術(shù)進(jìn)一步減薄至電子束可穿透的厚度。

聚焦離子束(FIB):從大塊材料中精確切割出超薄樣品,適用于復(fù)雜材料的精確制備。

超薄切片:適用于生物樣品或聚合物等軟材料,通過(guò)超薄切片機(jī)切割出納米至幾十納米厚的樣品。

優(yōu)勢(shì)與局限性

1.優(yōu)勢(shì):

提供亞納米或原子級(jí)別的分辨率,是材料表征的高精度工具。

功能多樣,能夠結(jié)合多種技術(shù)進(jìn)行化學(xué)成分和晶體結(jié)構(gòu)分析。

適用于多種材料,包括無(wú)機(jī)材料、金屬、半導(dǎo)體、有機(jī)物和生物樣品。

2.局限性:

樣品制備過(guò)程復(fù)雜,特別是對(duì)于脆性或復(fù)雜材料。

操作技術(shù)要求高,需要專(zhuān)業(yè)知識(shí)和經(jīng)驗(yàn)。

需要在高真空環(huán)境下測(cè)試,不適合研究不穩(wěn)定或揮發(fā)性樣品。

透射電子顯微鏡(TEM)作為一種強(qiáng)大的顯微技術(shù),為我們深入理解材料的微觀世界提供了寶貴的視角。盡管存在局限性,但其在材料科學(xué)領(lǐng)域的重要作用不容忽視。金鑒實(shí)驗(yàn)室的透射電子顯微鏡(TEM)測(cè)試服務(wù),不僅為科研和工業(yè)界提供了重要的數(shù)據(jù)支持,也為材料科學(xué)領(lǐng)域的研究者們開(kāi)辟了新的視野。

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