在江蘇半導(dǎo)體電子貨架的應(yīng)用場(chǎng)景中，晶圓盒的全生命周期管理與流轉(zhuǎn)安全性是核心訴求，同時(shí)存在兩大關(guān)鍵痛點(diǎn)亟待解決：?

（1）全生命周期數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄需求迫切：晶圓盒（FOUP）在生產(chǎn)過(guò)程中涉及蝕刻周期、清洗次數(shù)等關(guān)鍵工藝數(shù)據(jù)，需實(shí)現(xiàn)全程實(shí)時(shí)記錄與追溯，傳統(tǒng)人工記錄方式效率低、易出錯(cuò)，無(wú)法滿足半導(dǎo)體行業(yè)對(duì)數(shù)據(jù)精準(zhǔn)性的嚴(yán)苛要求；?

（2）防錯(cuò)放與操作安全管控不足：半導(dǎo)體生產(chǎn)流程復(fù)雜，不同工藝階段的晶圓需在對(duì)應(yīng)區(qū)域流轉(zhuǎn)，若FOUP被錯(cuò)誤放置（如CMP后晶圓誤入沉積區(qū)），可能導(dǎo)致晶圓損壞、生產(chǎn)流程中斷等嚴(yán)重后果，而現(xiàn)有管控手段難以實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)預(yù)警與權(quán)限鎖定。

晨控提供的解決方案：

針對(duì)半導(dǎo)體電子貨架的核心需求與痛點(diǎn)，晨控依托RFID技術(shù)打造全方位管控方案，實(shí)現(xiàn)數(shù)據(jù)實(shí)時(shí)記錄、庫(kù)存智能管理、質(zhì)量精準(zhǔn)追溯與流轉(zhuǎn)安全預(yù)警的多重目標(biāo)：?

（1）實(shí)時(shí)數(shù)據(jù)采集與庫(kù)存智能管理：在半導(dǎo)體電子貨架上部署晨控RFID讀寫(xiě)器，借助紅外線感應(yīng)觸發(fā)技術(shù)，當(dāng)晶圓盒（FOUP）放置于貨架時(shí)，讀寫(xiě)器可快速激活并讀取晶圓盒上RFID標(biāo)簽的信息，包括產(chǎn)品種類、工藝狀態(tài)等，并同步在前端顯示屏實(shí)時(shí)展示；當(dāng)晶圓盒被移除時(shí)，系統(tǒng)也能即時(shí)更新庫(kù)存狀態(tài)，實(shí)現(xiàn)庫(kù)存信息的動(dòng)態(tài)同步。這一功能徹底替代了傳統(tǒng)人工逐一掃描盤(pán)點(diǎn)的模式，不僅大幅縮短了盤(pán)點(diǎn)時(shí)間，更顯著提升了庫(kù)存數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性與及時(shí)性，幫助管理人員快速掌握貨架上晶圓盒的數(shù)量、種類及流轉(zhuǎn)狀態(tài)，為生產(chǎn)調(diào)度提供精準(zhǔn)數(shù)據(jù)支撐。

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（2）全生命周期追溯與質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)管控：為每臺(tái)晶圓盒（FOUP）配備專屬RFID標(biāo)簽，標(biāo)簽可全程記錄晶圓從原材料采購(gòu)、生產(chǎn)加工（如蝕刻周期、清洗次數(shù)、檢測(cè)結(jié)果等）到成品出廠的全生命周期數(shù)據(jù)，構(gòu)建完整的質(zhì)量追溯體系。一旦產(chǎn)品出現(xiàn)質(zhì)量問(wèn)題，工作人員可通過(guò)RFID系統(tǒng)快速調(diào)取標(biāo)簽記錄的信息，精準(zhǔn)定位問(wèn)題批次、涉及的生產(chǎn)環(huán)節(jié)及關(guān)鍵工藝參數(shù)，為質(zhì)量改進(jìn)提供明確依據(jù)。通過(guò)這一方案，半導(dǎo)體企業(yè)能夠迅速排查質(zhì)量隱患、采取針對(duì)性整改措施，有效降低質(zhì)量風(fēng)險(xiǎn)，提升產(chǎn)品合格率與客戶滿意度。?

（3）流轉(zhuǎn)安全預(yù)警與操作權(quán)限鎖定：結(jié)合半導(dǎo)體生產(chǎn)的工藝流程要求，在RFID系統(tǒng)中預(yù)設(shè)晶圓盒的合理流轉(zhuǎn)路徑與放置區(qū)域規(guī)則。當(dāng)晶圓盒（FOUP）被錯(cuò)誤放置（如CMP后晶圓進(jìn)入沉積區(qū)）時(shí)，系統(tǒng)可實(shí)時(shí)識(shí)別違規(guī)操作，并立即觸發(fā)聲光報(bào)警，同時(shí)自動(dòng)鎖定該貨架的操作權(quán)限，防止進(jìn)一步誤操作。這一功能實(shí)現(xiàn)了流轉(zhuǎn)過(guò)程的實(shí)時(shí)監(jiān)控與主動(dòng)防錯(cuò)，從源頭規(guī)避因錯(cuò)放導(dǎo)致的晶圓損壞、生產(chǎn)中斷等損失，保障生產(chǎn)流程的安全性與穩(wěn)定性。

應(yīng)用產(chǎn)品
晨控CK-S610系列產(chǎn)品特點(diǎn)：
●高集成度：集天線，放?器，控制器于?體的3合1型低頻讀寫(xiě)器。
●豐富的接口和協(xié)議：RS232、RS485，支持工業(yè)協(xié)議ModbusRTU

●高防護(hù)等級(jí)：防護(hù)等級(jí)達(dá)到IP67，具有防水、防腐蝕、防干擾等特點(diǎn)，能夠適應(yīng)惡劣的工業(yè)生產(chǎn)環(huán)境。
●標(biāo)準(zhǔn)協(xié)議：讀卡器工作頻率134.2kHz，HDX工作模式，支持ISO11784/85射頻標(biāo)準(zhǔn)標(biāo)簽。

審核編輯 黃宇