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中圖儀器光學3D表面輪廓儀帶你探索超精密加工后的微觀世界

精密測量 ? 2018-11-07 13:00 ? 次閱讀
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禪宗有看山看水的參禪三重境,講的是人對客觀事物的認識由淺及深乃至徹底明悟的過程。今天就由中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀為大家?guī)黻P于超精密加工后的微結(jié)構(gòu)的探索與發(fā)現(xiàn),帶領大家踏上一場“參禪三重境”的視覺之旅。

一重境:看山是山,看水是水。我們選取了一張經(jīng)由VCUT微刻刀加工過的塑料薄片,初看下面的這張塑料片,想必讀者一看再看,也無法找到它和其它的透明塑料片有何不同,“這只是一張普通的塑料片”是各位讀者所能得到的初步認識,此乃一重境。

二重境:看山不是山,看水不是水。既然肉眼不可辯,那么將這張普通的塑料片放到顯微鏡下一探究竟。一面布滿了點狀顆粒,另一面則被條狀溝槽所填滿,構(gòu)成了塑料片表面的微觀世界,但只知其平面外形卻不知其三維形態(tài),知其一不知其二,可謂二重境。

三重境:看山仍是山,看水仍是水。為一窺真容,使用中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀對這張塑料片上下表面進行掃描,點顆粒和溝槽輪廓一覽無余。

點顆粒是凸點,而溝槽則是弧形波,進一步使用儀器的輪廓分析功能對凸點和弧形波進行測量,得到它們的尺寸數(shù)據(jù)。

單個凸點截面直徑約42μm、高3.8um、夾角160°,分布周期97μm;單個弧形波高約1.6μm、寬約35μm,周期35μm。掌握了全部的輪廓數(shù)據(jù),對這有著微結(jié)構(gòu)的塑料片,我們有了全面而精確的認識,稱得上“看山還是山,看水還是水”。

超精密加工,是在傳統(tǒng)精密加工上的升級,代表著先進制造業(yè)的發(fā)展方向,也代表著一個國家制造業(yè)的最高水準,超精密的加工水準必須匹配超高性能的檢測儀器,而以白光干涉為原理研制而成中圖儀器SuperView W1光學3D表面輪廓儀,就像一雙能夠明察秋毫的眼鏡,幫助我們在超精密加工的微觀世界里,具備“看山還是山,看水還是水”的本領。


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