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南大光電全力推進ArF光刻膠

XcgB_CINNO_Crea ? 來源:YXQ ? 2019-07-19 14:08 ? 次閱讀
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7月17日,南大光電在互動平臺透露,公司設(shè)立光刻膠事業(yè)部,并成立了全資子公司“寧波南大光電材料有限公司”,全力推進“ArF光刻膠開發(fā)和產(chǎn)業(yè)化項目”落地實施。目前該項目完成的研發(fā)技術(shù)正在等待驗收中,預計2019年底建成一條光刻膠生產(chǎn)線,項目產(chǎn)業(yè)化基地建設(shè)順利。

南大光電是一家專業(yè)從事高純電子材料研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的高新技術(shù)企業(yè),公司于2012年8月7日在深圳證券交易所創(chuàng)業(yè)板掛牌上市。

憑借30多年來的技術(shù)積累優(yōu)勢,公司先后攻克了國家863計劃MO源全系列產(chǎn)品產(chǎn)業(yè)化、國家“02—專項”高純電子氣體(砷烷、磷烷)研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化、ALD/CVD前驅(qū)體產(chǎn)業(yè)化等多個困擾我國數(shù)十年的項目,填補了多項國內(nèi)空白。2017年,南大光電承擔了集成電路芯片制造用關(guān)鍵核心材料之一的193nm光刻膠材料的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化項目。

通過承擔國家重大技術(shù)攻關(guān)項目并實現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化,南大光電形成了MO源、電子特氣、ALD/CVD前驅(qū)體材料和光刻膠四大業(yè)務板塊。

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原文標題:南大光電 | 全力推進ArF光刻膠,預計2019年底建成一條生產(chǎn)線

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