隨著科技發(fā)展加速度計從原來大的尺寸逐漸往小型化發(fā)展可以應(yīng)用在各行各業(yè)并且在性能上更上一層樓,給人們的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。
Mems的加速度計分為六大類:電容式加速度計;壓阻式加速度計;壓電式加速度計;諧振式加速度計;隧穿式加速度計;熱對流式加速度計。
其中電容式加速度計的結(jié)構(gòu)可分為三種結(jié)構(gòu):
1、蹺板擺式加速度計
2、梳齒式硅微機械加速度計
3、三明治擺式電容式加速度計
其中三明治擺式電容加速度計又稱為懸臂梁式硅微機械加速度計是一種夾層結(jié)構(gòu)的微機械加速度計,因為極板被夾在固定極板中間形似三明治結(jié)構(gòu)而得名。
該結(jié)構(gòu)相對比較簡單,電容式動極板由中間的敏感質(zhì)量硅擺片的上下倆面電鍍的方法制成與相對應(yīng)的固定極板組成一組差動電容來敏感輸入加速度的大小。當(dāng)質(zhì)量塊手受到加速度上下運動時,電容間距隨之變化差動電容大小發(fā)生改變,理論推導(dǎo)可知差動電容大小和加速度在質(zhì)量塊位移較小的情況下形成差不多線性比例關(guān)系。
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