Mems電容式加速度計(jì)的種類（二）

隨著科技發(fā)展加速度計(jì)從原來(lái)大的尺寸逐漸往小型化發(fā)展可以應(yīng)用在各行各業(yè)并且在性能上更上一層樓，給人們的生活、科技、住行大大提高了效率和安全。

Mems的加速度計(jì)分為六大類：電容式加速度計(jì)；壓阻式加速度計(jì)；壓電式加速度計(jì)；諧振式加速度計(jì)；隧穿式加速度計(jì)；熱對(duì)流式加速度計(jì)。

其中電容式加速度計(jì)的結(jié)構(gòu)可分為三種結(jié)構(gòu)：

1、蹺板擺式加速度計(jì)

2、梳齒式硅微機(jī)械加速度計(jì)

3、三明治擺式電容式加速度計(jì)

其中梳齒式電容式加速度計(jì)簡(jiǎn)稱 FMSA。因?yàn)榛顒?dòng)電極形似梳齒而得名，又稱叉指式電容式加速度計(jì)。是微加速度計(jì)典型的一種結(jié)構(gòu)，梳齒式加速度計(jì)具有靈敏度高、溫度穩(wěn)定性好、結(jié)構(gòu)相對(duì)簡(jiǎn)單、功耗比較低、直流特性好等特點(diǎn)，但是容易受到電磁干擾、該類型的加速度計(jì)可以通過(guò)把若干極板面積較小的電容并聯(lián)起來(lái)形成相對(duì)較大的電容以提高分辨率，而且可以制作反饋結(jié)構(gòu)實(shí)現(xiàn)閉環(huán)控制利于精度的提高。

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