無壓燒結(jié)銀工藝和有壓燒結(jié)銀工藝流程區(qū)別
如何降低納米燒結(jié)銀的燒結(jié)溫度、減少燒結(jié)裂紋、降低燒結(jié)空洞率、提高燒結(jié)體的致密性和熱導率成為目前研究的重要內(nèi)容。
燒結(jié)銀的燒結(jié)工藝流程就顯得尤為重要了。善仁新材研究院根據(jù)客戶的使用情況,總結(jié)出燒結(jié)銀的工藝流程供大家參考:
一 AS9375無壓燒結(jié)銀工藝流程:
1?清潔粘結(jié)界面
2?界面表面能太低,建議增加界面表面能
3?粘結(jié)尺寸過大時,建議一個界面開導氣槽
4?一個界面涂布燒結(jié)銀時,涂布的要均勻
5?另外一個界面放燒結(jié)銀上時,建議加一點壓力到上界面壓一下
6?燒結(jié)時需逐步階梯升溫到一定的溫度,比如3分鐘升高5度等
7?燒結(jié)結(jié)束時,建議在烘箱中逐步降溫到室溫再把器件拿出。

二 AS9385加壓燒結(jié)銀工藝流程:
1?清潔粘結(jié)界面
2?界面表面能太低,建議增加界面表面能
3?粘結(jié)尺寸過大時,建議一個界面開導氣槽
4?一個界面涂布燒結(jié)銀時,涂布的要均勻
5?另外一個界面放燒結(jié)銀上時,建議加一點壓力到上界面壓一下
6?預烘階段:150度20-30分鐘,界面是銅的基底建議氮氣保護(金或者銀除外)
7?預壓階段:150度加壓0.5-1MPa,時間為:1-3秒;
8?本壓階段:220-280度加壓10-30MPa,時間2-6分鐘;
9?燒結(jié)結(jié)束時,建議在烘箱中逐步降溫到室溫再把器件拿出。

三 其他建議:
善仁新材研究院在燒結(jié)銀塊體的性能研究發(fā)現(xiàn):隨燒結(jié)溫度升高和壓力加大,燒結(jié)體密度和硬度逐漸增大,尤其在分散劑的分解溫度和原子擴散重排溫度區(qū)間,增大的趨勢更加明顯;與此同時,燒結(jié)溫度越高,燒結(jié)銀塊體的熱導率也跟著增大,280℃燒結(jié)銀的熱導率已達到276W/(m·K)。
審核編輯:湯梓紅
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