SJ6000激光干涉儀高精度測量線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等多幾何參量，具有測量精度高、測量范圍大、測量速度快、高測速下分辨率高等優(yōu)點，穩(wěn)頻精度≤0.04ppm，測量精度0.5ppm，至大測量距離80米。
中圖儀器高精度測量激光干涉儀品牌以干涉技術為核心，其光波可直接對米進行定義。采用激光雙縱模熱穩(wěn)頻技術，可實現(xiàn)高精度、抗干擾的能力強、長期穩(wěn)定性好的激光頻率輸出；采用高精度環(huán)境補償模塊，可實現(xiàn)激光波長和材料的自動補償；干涉鏡與主機分離設計，避免干涉鏡受熱影響，保證干涉光路穩(wěn)定可靠。
功能
(1)可實現(xiàn)線性、角度、直線度、垂直度、平行度、平面度、回轉軸等幾何參量的高精密測量；
(2)可檢測數(shù)控機床、三坐標測量機等精密運動設備其導軌的線性定位精度、重復定位精度等，以及導軌的俯仰角、扭擺角、直線度、垂直度等；
(3)可實現(xiàn)對機床回轉軸的測量與校準；
(4)可根據(jù)用戶設定的補償方式自動生成誤差補償表，為設備誤差修正提供依據(jù)；
(5)具有動態(tài)測量與分析功能，包括位移分析、速度分析、加速度分析、振幅和頻率分析等，可進行振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等；
(6)支持手動或自動進行環(huán)境補償。
在動態(tài)測量軟件配合下，SJ6000激光干涉儀除了可實現(xiàn)線性位移、角度和直線度的動態(tài)測量與性能檢測外，還可以進行加速度、位移、速度、振幅與頻率的動態(tài)分析，如振動分析、絲桿導軌的動態(tài)特性分析、驅動系統(tǒng)的響應特性分析等。
