中圖白光干涉儀3D輪廓儀屬于3D測量領域檢測的高精度檢測儀器之一，其在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測精度和重復精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡，可根據(jù)客戶精度要求，將重建算法切換為高速掃描的FVSI重建算法，并可依據(jù)表面粗糙程度，選擇不同步距進行速度調節(jié)。
中圖白光干涉儀3D輪廓儀采用經(jīng)國家計量檢測研究院校準的臺階高標準片作為測量標準件，采用該標準片對儀器的檢測精度和重復性進行驗收，其中臺階高標準片高度在4.7um左右，測量精度要求為<0.75%，重復精度要求<0.1%（1σ）（測量15次獲取的數(shù)據(jù)標準差），主要用于對樣品表面的2D、3D形貌進行測量，主要測量參數(shù)為粗糙度、臺階高、幾何輪廓等。
在3C領域，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石屏、濾光片、表殼等表面粗糙度；
在LED行業(yè)，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石、碳化硅襯底表面粗糙度；
在光纖通信行業(yè)，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量光纖端面缺陷和粗糙度；
在集成電路行業(yè)，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量硅晶片或陶瓷晶片表面粗糙度；
在EMES行業(yè)，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量臺階高度和表面粗糙度；
在軍事領域，SuperView W1系列光學輪廓儀可以測量藍寶石觀察窗口表面粗糙度；
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由于鏡頭視野較小，要想測量物體整個區(qū)域的表面情況，只能用自動拼接測量功能，但耗時較多，中圖儀器白光干涉儀這時候會用自動多區(qū)域測量功能，在樣品表面抽取多個測量區(qū)域進行測量，從而對樣品進行評估分析。
測量方法很簡單。
1.點擊XY復位，使得鏡頭復位到載物臺中心
2.將被測物放置在載物臺夾具上，被測物中心大致和載物臺中心重合；3.確認電機連接狀態(tài)和環(huán)境噪聲狀態(tài)滿足測量條件；4.使用操縱桿搖桿旋鈕調節(jié)鏡頭高度，找到干涉條紋；5.設置好掃描方式和掃描范圍；6.點擊選項圖標，確認自動找條紋上下限無誤；7.點擊多區(qū)域測量圖標，可選擇方形和（橢）圓形兩種測量區(qū)域形狀；9.根據(jù)被測物形狀和尺寸，"形狀”欄選擇“橢圓平面”，X和Y方向按需設置；10.點擊彈出框右下角的“開始”圖標，儀器即自動完成多個區(qū)域的對焦、找條紋、掃面等操作。
