中圖儀器SJ5100系列精密長度測長機采用進口高精度光柵測量系統(tǒng)、高精密研磨直線導軌、高精度溫度補償系統(tǒng)、雙向恒測力系統(tǒng)、高性能計算機控制系統(tǒng)技術(shù)，實現(xiàn)各種長度參數(shù)的高精度測量。在半導體制造行業(yè)中，可以用來測量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。整個測量過程不超過3分鐘，結(jié)束后自動生成結(jié)果及記錄報表。

SJ5100系列精密長度測長機廣泛應(yīng)用于機械制造業(yè)、工具、量具制造業(yè)及儀器儀表制造業(yè)等企業(yè)的計量室和各級計量鑒定部門。

應(yīng)用案例如：

機械制造：在機械制造過程中，可以用來測量各種零件的尺寸和形狀，以確保產(chǎn)品的質(zhì)量和精度。

半導體制造：在半導體制造行業(yè)中，可以用來測量芯片線寬和間距等微小尺寸參數(shù)。

光學加工：在光學加工領(lǐng)域中，可以用來測量光學元件的表面形貌和厚度等參數(shù)。

航空航天：在航空航天領(lǐng)域中，可以用來測量航空器的外形和尺寸，以及檢測零部件之間的配合精度。

儀器主要功能

1、標配功能：

檢測量塊&塊規(guī)：（0.1~300mm）；

光滑環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（壁厚≤50 mm，高度≤50mm）、光滑塞規(guī)：φ1~φ220mm；

螺紋環(huán)規(guī)：M5~M200（螺距0.8~4mm）

螺紋塞規(guī)：M1~M220（螺距0.25~5.5mm）；

光滑卡規(guī)：內(nèi)卡5~200mm，外卡1~300mm

千分尺校對桿：25~300mm；

塞尺：0.02~1mm

針規(guī)：φ0.1~φ10mm

三針：0.118~6.585mm；

兩點內(nèi)徑千分尺：25~300mm；

2、可選配功能：

小型光滑環(huán)規(guī)：φ0.8~φ5mm；

螺紋環(huán)規(guī)：規(guī)格M3~M4（螺距0.5~0.7mm）；

光滑錐度環(huán)規(guī)：φ5~φ200mm（厚度≤50mm）；

光滑錐度塞規(guī)：φ5~φ60mm（長度10~100mm）；φ60~φ200mm（長度≤50mm）；

螺紋錐度環(huán)規(guī)：M5~M200mm（厚度≤50mm）；

螺紋錐度塞規(guī)：M5~M60mm（長度10~100mm）；M60~M200mm（長度≤50mm）；

鋸齒螺紋、梯形螺紋：M3~M400（螺距0.5~6mm）；

花鍵環(huán)塞規(guī)/花鍵及標準齒輪（跨棒距測量）：內(nèi)φ10~φ200mm，外φ5~φ200mm，模數(shù)0.8~6mm；

外徑千分尺示值誤差手動校準：25~300mm；

數(shù)顯及游標卡尺示值誤差手動校準：75~300mm；

深度千分尺示值誤差手動校準：0~25、25~50、50~75mm；

三爪內(nèi)徑千分尺手動校準：φ6~φ200mm；

表類（百分表、千分表、杠桿表手動校準）；

數(shù)顯半徑規(guī)手動校準：R5~R700mm；

軸承內(nèi)外圈錐度、溝槽底徑內(nèi)外徑及溝槽寬度、精密零部件的長度尺寸，內(nèi)外徑尺寸測量；

性能特點

1.  全程直接測量：

SJ5100系列精密長度測長機采用進口高精度長玻璃光柵尺作為長度方向定位，可進行高精度全行程直接測量。

2.  高精度、高穩(wěn)定性：

1)高精度光柵測量系統(tǒng)，分辨力達到0.01μm，測量精度高；

2)精密研磨導軌系統(tǒng)導軌直線度高，材料耐磨性好、保證系統(tǒng)高精度穩(wěn)定可靠的工作；

3)進口特殊材料制作的高剛性、無變形測桿，保證測試數(shù)據(jù)的高精度真實采集；

4)采用大理石基座，通過有限元分析優(yōu)化儀器基座結(jié)構(gòu)保障幾十年穩(wěn)定不變形，高剛性大理石底座結(jié)構(gòu)保證了儀器在頭座及工作臺在測量移動過程中幾乎不產(chǎn)生變形，儀器受外界震動干擾小，保證儀器的長期穩(wěn)定可靠性；

5)采用緊湊型摩擦驅(qū)動結(jié)構(gòu)，移動摩擦驅(qū)動力小，保證了頭座移動過程中的穩(wěn)定性。

3.  雙向恒測力：

1) 特殊傳感器雙向恒測力系統(tǒng)，減小了測力對測量結(jié)果的影響，保證了高的系統(tǒng)測量精度；

2) 測力較大范圍的連續(xù)可調(diào)；

3) 非砝碼加載，測力傳感器原理避免了儀器臺面不水平及周圍環(huán)境振動帶來的測力誤差。

4.  智能化管理與檢測軟件系統(tǒng)：

1)儀器操作界面友好，操作者很容易基本掌握儀器操作，使用十分簡便；

2)十多年積累的實用軟件設(shè)計經(jīng)驗，向客戶提供簡潔、實用、便捷的操作體驗；

3)集成眾多長度標準、規(guī)程，功能強大、自動處理數(shù)據(jù)、打印各種格式的檢測報告，自動顯示、打印、保存、查詢檢測記錄；

4)測量范圍廣，可滿足絕大多數(shù)類型的量規(guī)、量塊等長度參數(shù)測量；

5)軟件配備快速找拐點指示功能，方便客戶快速便攜地找到被測件的拐點；

6)純中文操作軟件系統(tǒng)，更好的為國內(nèi)用戶服務(wù)；

7)打印格式正規(guī)、美觀。檢定數(shù)據(jù)可存檔，或集中打印，不占用檢測操作時間；

8)本儀器采用計算機大容量數(shù)據(jù)庫儲存，可自動記錄保存所有檢測結(jié)果。

5.  方便快捷的儀器操作體驗：

1)測帽無需調(diào)節(jié)，高精度測帽加工保障測量精度，直接安裝即可使用；

2)螺紋塞規(guī)測量三針帶支板，配合儀器測帽可快速的進行螺紋塞規(guī)的中徑測量；

3)支持客戶使用模糊搜索量規(guī)標準，并支持用戶特殊規(guī)格量規(guī)自動計算公差帶。

6.  高性能五軸工作臺：

1)X，Y，Z三軸采用高性能交叉滾子導軌：摩擦力小，穩(wěn)定性好，承載高；

2)Y軸平移、傾斜、水平旋轉(zhuǎn)設(shè)計了高調(diào)節(jié)細度的結(jié)構(gòu)，方便客戶更好地找到三個軸的拐點；

3)Z軸及Y軸可配置數(shù)顯表，可將數(shù)據(jù)傳輸?shù)诫娔X，可用于錐度量規(guī)測量及螺紋螺距觀察。

7.  高性能內(nèi)尺寸測量裝置：

配置高性能環(huán)規(guī)內(nèi)測裝置，可測量小M3螺紋環(huán)規(guī)（根據(jù)選配測針），同時可完成小（φ0.8mm）光滑環(huán)規(guī)檢測（選配測針）；測量力為電子測力0.05N、0.1N、0.3N、0.5N，由軟件選擇測力大?。筛鶕?jù)客戶需求定制更小測力）。

主要技術(shù)指標

環(huán)境條件

參考校準/使用環(huán)境溫濕度：

溫度：20±2℃，波動不超過0.5℃/小時

相對濕度：10~70%。

振動：按照三坐標振動要求標準，振動速度均方根≤5um/s，振動頻率8~100Hz；

校準室內(nèi)應(yīng)無影響測量的灰塵、震動、噪音、氣流、腐蝕性氣體和較強磁場。

懇請注意：因市場發(fā)展和產(chǎn)品開發(fā)的需要，本產(chǎn)品資料中有關(guān)內(nèi)容可能會根據(jù)實際情況隨時更新或修改，恕不另行通知，不便之處敬請諒解。

如有疑問或需要更多詳細信息，請隨時聯(lián)系中圖儀器咨詢。