--- 產(chǎn)品參數(shù) ---
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--- 產(chǎn)品詳情 ---
產(chǎn)品簡介
PLR3000系列高穩(wěn)頻精度光纖激光尺基于激光干涉測量原理,是一種高精密度、高靈敏度、高效快速的先進位置檢測設(shè)備,在非接觸高精度測量領(lǐng)域具有其它測量方法沒有的優(yōu)勢,相比傳統(tǒng)鋼帶尺或玻璃光柵,具有更加精確的柵距和更高的分辨率,同時其熱源隔離設(shè)計,保證了更高的穩(wěn)定性,具有安裝快捷,易于準直等特點,是特別為超高精度位置反饋應(yīng)用而設(shè)計,在微電子、微機械、微光學(xué)等現(xiàn)代超精密加工制造、光刻技術(shù)以及航空航天等高科技領(lǐng)域廣泛應(yīng)用。
PLR3000光纖激光尺配置高穩(wěn)定氦氖激光光源,穩(wěn)頻精度最高可達0.02ppm。激光通過保偏光纖引導(dǎo),用戶可輕松將干涉儀配置到任意需要測量位置,最大限度減小阿貝誤差。

PLR3000系列高穩(wěn)頻精度光纖激光尺可根據(jù)用戶需求,配置單軸、雙軸以及三軸輸出,輕松實現(xiàn)多軸測量或多自由度測量。同時提供多種干涉探頭配置,用戶可根據(jù)實際需求選擇角錐棱鏡干涉儀、平面鏡干涉儀和差分干涉儀以及無內(nèi)置干涉鏡組的測量探頭,滿足用戶各種復(fù)雜場景應(yīng)用。
此外,還可根據(jù)客戶應(yīng)用場景,定制個性化解決方案,解決實際應(yīng)用需求。
功能特點
1、高分辨率數(shù)字正交信號輸出,分辨率達10nm(可外部拓展)。
2、高測量精度,線性測量精度達0.2~0.5ppm。
3、高穩(wěn)頻精度,可達0.02~0.05ppm。
4、測量范圍大,最大量程可達4m(可拓展)。
5、激光發(fā)射裝置與干涉探頭分離,通過3m鎧裝光纖與電纜連接,可將激光尺主機遠離被測量設(shè)備,便于安裝,同時還可避免主機散熱對測量通路的影響。
6、輸出正交數(shù)字信號或1Vpp正余弦信號,可以適用于不同的控制器。
7、體積小巧,適合狹小空間安裝,可最大限度降低阿貝誤差。
8、即可作為激光干涉儀進行測量,也可用于閉環(huán)位置反饋控制。
9、多通道輸出,可輕松實現(xiàn)多軸同時測量及多自由度測量。
10、環(huán)境補償功能,一體化的環(huán)境氣象站自動監(jiān)視及更新環(huán)境氣象參數(shù),實時補償溫度、空氣壓力和濕度對激光在空氣中空氣折射率的影響,保證測量的準確性。
核心優(yōu)勢
1. 高精度
(1)分辨率10nm(可拓展),線性測量精度0.2ppm,穩(wěn)頻精度0.02ppm,滿足納米級測量需求。
(2)環(huán)境氣象站實時補償溫度、濕度、氣壓對測量的影響,確保數(shù)據(jù)長期穩(wěn)定。
2. 靈活配置
(1)支持單軸、雙軸、三軸輸出,輕松實現(xiàn)多自由度測量。
(2)可選差分干涉儀、平面鏡干涉儀、角錐棱鏡干涉儀等多種探頭,適配復(fù)雜場景。
3. 高穩(wěn)定性與便捷性
(1)激光光源與探頭分離設(shè)計,3米鎧裝光纖連接,避免設(shè)備散熱干擾,安裝靈活。
(2)體積小巧,適配狹小空間,降低阿貝誤差風(fēng)險。
4. 廣泛適用性
PLR3000高穩(wěn)頻精度光纖激光尺大量程4米(可拓展),支持動態(tài)速度達2m/s,覆蓋從靜態(tài)檢測到高速運動場景。
典型應(yīng)用場景
半導(dǎo)體制造:光刻機晶圓定位、精密工件臺反饋控制。
航空航天:發(fā)動機葉片形變檢測、高精度裝配校準。
精密加工:數(shù)控機床多軸聯(lián)動位置反饋、微機械元件測量。
科研領(lǐng)域:光學(xué)平臺穩(wěn)定性監(jiān)測、超精密實驗設(shè)備控制。

服務(wù)與支持
定制化方案:根據(jù)需求提供探頭配置、量程拓展、環(huán)境補償單元等靈活選配。
專業(yè)認證:提供中國計量院或深圳市計量院出具的激光校準證書,確保數(shù)據(jù)性。
全球服務(wù)網(wǎng)絡(luò):1年質(zhì)保,技術(shù)支持團隊7×24小時響應(yīng),快速解決現(xiàn)場問題。
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