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中圖儀器VT6000光學3d共聚焦顯微鏡以共聚焦技術為原理,主要用于對各種精密器件及材料表面進行微納米級測量。

光學3d共聚焦顯微鏡儀器結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D 建模算法等對器件表面進行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),是一款對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、平面度、粗糙度、波紋度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析的光學檢測儀器。
性能特色
1、高精度、高重復性
1)VT6000光學3d共聚焦顯微鏡以轉(zhuǎn)盤共聚焦光學系統(tǒng)為基礎,結(jié)合高穩(wěn)定性結(jié)構設計和3D重建算法,共同組成測量系統(tǒng),保證儀器的高測量精度;
2)隔震設計能夠消減底面振動噪聲,儀器在嘈雜的環(huán)境中穩(wěn)定可靠,具有良好的測量重復性。
2、精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調(diào)整功能的操縱手柄,可快速完成載物臺平移、Z向聚焦等測量前工作。
3、雙重防撞保護措施
除軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外,另在Z軸上設計有機械電子傳感器,當鏡頭觸碰到樣品表面時,儀器自動進入緊急停止狀態(tài),保護儀器,降低人為操作風險。

自設計之初,VT6000共聚焦顯微鏡便定下了“簡單好用”四字方針的目標。
1)結(jié)構簡單:儀器整體由一臺輕量化的設備主機和電腦構成,控制單元集成在設備主機之內(nèi),亦可采用筆記本電腦驅(qū)動,實現(xiàn)了“拎著走”的便攜式設計;
2)真彩圖像:配備了真彩相機并提供還原的3D真彩圖像,對細節(jié)的展現(xiàn)纖毫畢現(xiàn);
3)操作便捷:采用全電動化設計,并可無縫銜接位移軸與掃描軸的切換,圖像視窗和分析視窗同界面的設計風格,實現(xiàn)了所見即所得的快速檢測效果;
4)安全無憂:采用自研的電動鼻輪塔臺,并對軟件防撞設置與硬件傳感器防撞設置功能進行了優(yōu)化,確保共聚焦顯微鏡在使用高倍物鏡僅不到1mm的工作距離時也能應對。
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