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中圖儀器

深圳市中圖儀器股份有限公司是一家高新技術企業(yè)，致力于全尺寸鏈精密測量儀器及設備的研發(fā)、生產(chǎn)和銷售。

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白光干涉儀(光學輪廓儀)

型號： SuperViewW1
品牌： 中圖儀器(中圖儀器)

--- 產(chǎn)品參數(shù) ---

  • 注釋 更多詳細產(chǎn)品信息，請聯(lián)系我們獲取

--- 產(chǎn)品詳情 ---

SuperViewW1白光干涉儀(光學輪廓儀)是以白光干涉技術原理，對各種精密器件表面進行納米級測量的儀器，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌，專用于精密零部件之重點部位表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸的非接觸式快速測量。

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SuperViewW1白光干涉儀(光學輪廓儀)可廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、3C電子玻璃屏及其精密配件、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領域中?？蓽y各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面，從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等，提供依據(jù)ISO/ASME/EUR/GBT四大國內外標準共計300余種2D、3D參數(shù)作為評價標準。

 

技術指標

型號

W1

光源白光LED
影像系統(tǒng)1024×1024
干涉物鏡

標配:10×

選配:2.5×、5×、20×、50×、100×

光學ZOOM
 

標配:0.5×

選配:0.375×、0.75×、1×

標準視場0.98×0.98㎜（10×物鏡，光學ZOOM 0.5×）

 

XY位移平臺
 

尺寸
 		320×200㎜
移動范圍

140×100㎜

負載10kg
控制方式電動
Z軸聚焦行程100㎜
控制方式電動
形貌重復性0.1nm
粗糙度RMS重復性0.005nm
 
臺階測量

準確度:0.3%;重復性:0.08%(1σ)

可測樣品反射率0.05%~100%
主機尺寸700×606×920㎜

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

 

產(chǎn)品功能

1）SuperViewW1白光干涉儀(光學輪廓儀)設備提供表征微觀形貌的粗糙度和臺階高、角度等輪廓尺寸測量功能；

2）測量中提供自動對焦、自動找條紋、自動調亮度等自動化輔助功能；

3）測量中提供自動拼接測量、定位自動多區(qū)域測量功能；

4）分析中提供校平、圖像修描、去噪和濾波、區(qū)域提取等四大模塊的數(shù)據(jù)處理功能；

5）分析中提供粗糙度分析、幾何輪廓分析、結構分析、頻率分析、功能分析等五大分析功能；

6）分析中同時提供一鍵分析和多文件分析等輔助分析功能。

應用.jpg

應用領域

對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的平面度、粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。

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