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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子資料>化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)的發(fā)展、應(yīng)用及存在問(wèn)題

      化學(xué)機(jī)械拋光(CMP)技術(shù)的發(fā)展、應(yīng)用及存在問(wèn)題

      2021-06-04 | rar | 0.10 MB | 次下載 | 免費(fèi)

      資料介紹

      　　在亞微米半導(dǎo)體制造中 ， 器件互連結(jié)構(gòu)的平坦化正越來(lái)越廣泛采用化學(xué)機(jī)械拋光 （CMP） 技術(shù) ， 這幾乎是目前唯一的可以提供在整個(gè)硅圓晶片上全面平坦化的工藝技術(shù)。本文綜述了化學(xué)機(jī)械拋光的基本工作原理、發(fā)展?fàn)顩r及存在問(wèn)題。

      CMP 機(jī)械拋光
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