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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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陀螺儀LSM6DSOW開(kāi)發(fā)(10)----陀螺儀校準(zhǔn)
在現(xiàn)代電子設(shè)備中,陀螺儀傳感器被廣泛用于測(cè)量設(shè)備的旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。然而,由于各種環(huán)境因素和制造工藝的影響,陀螺儀通常會(huì)存在零速率偏移(Zero-rate Of...
基于數(shù)字式MEMS加速度傳感器ADXL213的傾角測(cè)量應(yīng)用
本文提出一種基于數(shù)字式MEMS(微電子機(jī)械系統(tǒng))加速度傳感器ADXL213的傾角測(cè)量裝置,該裝置采用占空比調(diào)制電路獲得相應(yīng)的數(shù)字信號(hào)。根據(jù)對(duì)實(shí)際運(yùn)動(dòng)模型...
MEMS氣體傳感器有哪些類(lèi)型優(yōu)勢(shì)又是什么
具有代表性的基于金屬氧化物半導(dǎo)體敏感材料(MOS)氣體傳感器已廣泛應(yīng)用于安全、環(huán)境、樓宇控制等領(lǐng)域的氣體檢測(cè),該類(lèi)傳感器的能耗是制約其大規(guī)模布設(shè)的核心節(jié)...
檢測(cè)監(jiān)控系統(tǒng)中的MEMS加速度振動(dòng)
在現(xiàn)代狀態(tài)監(jiān)控(CM)系統(tǒng)中,MEMS加速度計(jì)用作振動(dòng)傳感器正在日趨成熟。測(cè)量范圍、帶寬和分辨率(噪聲)等性能在近期獲得的擴(kuò)展,使得新概念和系統(tǒng)架構(gòu)成為...
2018-06-12 標(biāo)簽:mems監(jiān)控系統(tǒng)振動(dòng)傳感器 2.6k 0
用于ADC和音頻測(cè)試的高性能源,具有新穎的數(shù)字預(yù)失真
測(cè)試精密儀器需要超低失真和低噪聲高性能信號(hào)發(fā)生器。需要新的概念來(lái)確保高性能水平的表征。ADMX1002等參考設(shè)計(jì)利用高性能精密數(shù)模轉(zhuǎn)換器(DAC)簡(jiǎn)化了...
如何將二氧化碳傳感器設(shè)計(jì)到用于物聯(lián)網(wǎng)(IoT)的智能設(shè)備
要確保室內(nèi)空氣質(zhì)量高,首先要了解空氣中的物質(zhì),以便您可以識(shí)別污染源,然后對(duì)付這些污染源或相應(yīng)地消除它們。智能建筑的空氣質(zhì)量傳感器系統(tǒng)利用了人工智能(AI...
2021-04-25 標(biāo)簽:傳感器mems物聯(lián)網(wǎng) 2.6k 0
STHS34PF80高靈敏度紅外感應(yīng)器(2)----InfraredPD存在感應(yīng)檢測(cè)
InfraredPD 主要作用是通過(guò)與 STHS34PF80 紅外傳感器配合,提供對(duì)存在感應(yīng)和運(yùn)動(dòng)檢測(cè)的支持,同時(shí)對(duì)傳感器獲取的物體溫度數(shù)據(jù)進(jìn)行環(huán)境溫度...
2024-10-14 標(biāo)簽:mems紅外感應(yīng)器 2.6k 0
賽靈思專(zhuān)家:薄化制程良率升級(jí),2.5D硅中介層晶圓成本下降
2.5D硅中介層(Interposer)晶圓制造成本有望降低。半導(dǎo)體業(yè)界已研發(fā)出標(biāo)準(zhǔn)化的制程、設(shè)備及新型黏著劑,可確保硅中介層晶圓在薄化過(guò)程中不會(huì)發(fā)生厚...
MEMS陀螺儀信號(hào)的處理平臺(tái)的硬件系統(tǒng)應(yīng)該包括以下幾個(gè)部分:DSP模塊,數(shù)據(jù)采集模塊,上位機(jī)通信模塊和JTAG調(diào)試接口模塊。數(shù)據(jù)采集模塊由兩部分組成:6...
陀螺儀LSM6DSOW開(kāi)發(fā)(5)----MotionFX庫(kù)解析空間坐標(biāo)
本文將探討如何使用MotionFX庫(kù)解析空間坐標(biāo)。MotionFX庫(kù)是一種用于傳感器融合的強(qiáng)大工具,可以將加速度計(jì)、陀螺儀和磁力計(jì)的數(shù)據(jù)融合在一起,實(shí)現(xiàn)...
隨著微機(jī)電和慣性技術(shù)的發(fā)展,MEMS慣性器件技術(shù)越來(lái)越成熟,MEMS陀螺以其性能高、尺寸小、能耗低、可靠性高、重量輕、價(jià)格低等優(yōu)點(diǎn),在低成本姿態(tài)測(cè)量系統(tǒng)...
如何實(shí)現(xiàn)完整的MEMS信號(hào)鏈模擬
現(xiàn)代MEMS傳感器解決方案的體積小、集成度高,并且放置在振動(dòng)源附近,用于測(cè)量振動(dòng)頻率。
2022-04-06 標(biāo)簽:mems連接器運(yùn)算放大器 2.6k 0
微電子機(jī)械系統(tǒng)加速傳感器瞄準(zhǔn)醫(yī)療領(lǐng)域的應(yīng)用
通過(guò)基于微電子機(jī)械系統(tǒng)(MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM, MEMS)的加速傳感器和陀螺儀的設(shè)計(jì),MEMS技術(shù)已經(jīng)廣泛應(yīng)用...
由于醫(yī)療成本上升,人口老齡化以及早期診斷在治療疾病和挽救生命方面的重要性,傳感器開(kāi)發(fā)在醫(yī)療保健領(lǐng)域發(fā)揮著關(guān)鍵作用。傳感器現(xiàn)在用于一系列醫(yī)療應(yīng)用,從一次性...
為什么硅基MEMS激光雷達(dá)無(wú)法用作汽車(chē)主雷達(dá)
雖然硅基MEMS微振鏡區(qū)別于傳統(tǒng)的金屬機(jī)械結(jié)構(gòu)部件(電機(jī)、轉(zhuǎn)子等),避免了機(jī)械式激光雷達(dá)因內(nèi)部旋轉(zhuǎn)的整體模塊體積和重量都較大引起受沖擊時(shí)慣量太大而容易致...
雖然大部分人對(duì)于MEMS(Microelectromechanical systems,微機(jī)電系統(tǒng)/微機(jī)械/微系統(tǒng))還是感到很陌生,但是其實(shí)MEMS在我...
2016-12-13 標(biāo)簽:傳感器mems可穿戴設(shè)備 2.6k 1
MEMS 振蕩器:實(shí)現(xiàn)更小、更低功耗的物聯(lián)網(wǎng)和可穿戴設(shè)備
SiTime 為 MEMS 振蕩器與基于石英晶體的時(shí)鐘源提供了一個(gè)案例。
用于MEMS陀螺的PCIe實(shí)時(shí)測(cè)控平臺(tái)設(shè)計(jì)
本文主要介紹了一種用于MEMS陀螺的PCIe實(shí)時(shí)測(cè)控平臺(tái)設(shè)計(jì),通過(guò)硬件和軟件優(yōu)化,減少數(shù)據(jù)傳輸延時(shí),并且利用高效的數(shù)據(jù)傳輸時(shí)序,實(shí)現(xiàn)了陀螺驅(qū)動(dòng)頻率閉環(huán)和...
解讀MEMS麥克風(fēng)技術(shù)與設(shè)計(jì)
MEMS(微型機(jī)電系統(tǒng))麥克風(fēng)是提供高保真聲感的微型器件,體積小,可緊密集成于電子產(chǎn)品中,如智能手機(jī)、智能揚(yáng)聲器以及耳機(jī)等電子消費(fèi)品。
2021-05-10 標(biāo)簽:mems麥克風(fēng)泛林集團(tuán) 2.5k 0
一種基于多種MEMS傳感器的嵌入式姿態(tài)測(cè)量系統(tǒng)設(shè)計(jì)詳解
傳統(tǒng)的姿態(tài)測(cè)量因?yàn)椴捎酶呔韧勇輧x和加速度計(jì)等姿態(tài)傳感器,體積龐大并且價(jià)格昂貴。當(dāng)前MEMS產(chǎn)品因其體積小、價(jià)格低、功耗低,被稱為是傳統(tǒng)的慣性測(cè)量組合的...
2018-08-09 標(biāo)簽:嵌入式MEMS測(cè)量系統(tǒng) 2.5k 0
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