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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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適用于中低真空度測(cè)量的AGP3000皮拉尼真空計(jì)
根據(jù)真空計(jì)測(cè)量原理所采用的不同物理機(jī)制,真空計(jì)主要可分為三類(lèi):利用力學(xué)性能(如波爾登真空計(jì)和薄膜電容規(guī))、利用氣體動(dòng)力學(xué)效應(yīng)(如皮拉尼電阻規(guī)和熱電偶規(guī))...
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計(jì)數(shù)據(jù)手冊(cè)
Analog Devices Inc. ADXL359低功耗3軸MEMS加速度計(jì)是一款低噪聲密度、低0g失調(diào)漂移微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)加速度計(jì),具有可選...
智能汽車(chē)將推動(dòng)CMOS圖像傳感器和傳感器晶圓需求的持續(xù)增長(zhǎng)
移動(dòng)終端產(chǎn)品中的電子元器件應(yīng)用日益增長(zhǎng),受此驅(qū)動(dòng),半導(dǎo)體行業(yè)正面臨著一個(gè)新的時(shí)代,在這個(gè)新時(shí)代,工藝節(jié)點(diǎn)縮小和成本降低將不再延續(xù)過(guò)去幾十年來(lái)的摩爾定律發(fā)...
MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來(lái)的新型傳感器。與傳統(tǒng)的傳感器相比,它具有體積小、重量輕、成本低、功耗低、可靠性高、適于批量化生產(chǎn)、易于...
2015-03-20 標(biāo)簽:汽車(chē)電子MEMS可穿戴設(shè)備 1.6k 0
使用慣性傳感器來(lái)滿足醫(yī)療/健康領(lǐng)域需求
運(yùn)動(dòng)對(duì)生命既是不可或缺的,也是必不可少的。我們這些移動(dòng)的人似乎處于永動(dòng)機(jī)中,對(duì)于那些不動(dòng)的人來(lái)說(shuō),可能需要某種形式的機(jī)械輔助工具來(lái)協(xié)助提供運(yùn)動(dòng)。不難想象...
為工業(yè)4.0實(shí)現(xiàn)強(qiáng)大的有線狀態(tài)監(jiān)控
機(jī)器人和旋轉(zhuǎn)機(jī)械(如渦輪機(jī)、風(fēng)扇、泵和電機(jī))的狀態(tài)監(jiān)控 (CbM) 記錄與機(jī)器運(yùn)行狀況和性能相關(guān)的實(shí)時(shí)數(shù)據(jù),以實(shí)現(xiàn)有針對(duì)性的預(yù)測(cè)性維護(hù)以及優(yōu)化控制。在機(jī)...
超低功耗MCU的發(fā)展創(chuàng)造了一個(gè)巨大且不斷擴(kuò)容的能量收集市場(chǎng),無(wú)論是規(guī)劃便攜式電池供電設(shè)備,還是希望提高大型設(shè)備的能源效率,所有設(shè)計(jì)工程師都在積極將能量收...
如何利用MEMS加速計(jì)進(jìn)一步提高工業(yè)應(yīng)用精度?
隨著高集成度和更精密的加速計(jì)產(chǎn)品的出現(xiàn),系統(tǒng)設(shè)計(jì)師需要了解零件是如何校準(zhǔn)的,因?yàn)檫@決定著他們是購(gòu)買(mǎi)這些校準(zhǔn)方案還是開(kāi)發(fā)自己的校準(zhǔn)程序。本文將討論雙軸加速...
2018-04-11 標(biāo)簽:mems工業(yè)應(yīng)用 1.6k 0
溫度變化及振動(dòng)條件下使用加速度計(jì)測(cè)量?jī)A斜
試圖達(dá)到最佳傾斜精度時(shí),必須采用某種形式的溫度穩(wěn)定或補(bǔ)償。在下面的例子中,假設(shè)恒溫為25℃。
我們都知道,F(xiàn)BAR濾波器就是薄膜腔聲諧振濾波器,它不同于以前的濾波器,是使用硅底板、借助MEMS技術(shù)以及薄膜技術(shù)而制造出來(lái)的,現(xiàn)階段的FBAR濾波器已...
根據(jù)被測(cè)量的介質(zhì)和組件的設(shè)計(jì),這種類(lèi)型的傳感器可能會(huì)成為由介質(zhì)本身引起的故障的受害者。 一個(gè)常見(jiàn)的問(wèn)題是浮子吸收了它浸沒(méi)在其中的介質(zhì),這將導(dǎo)致人為的低液...
單軸MEMS偏航陀螺儀結(jié)構(gòu)應(yīng)用
陀螺儀能夠測(cè)量沿一個(gè)軸或幾個(gè)軸運(yùn)動(dòng)的角速度,而MEMS加速計(jì)則能測(cè)量線性加速度,因此這兩者是一對(duì)理想的互補(bǔ)技術(shù)。事實(shí)上,如果組合使用加速計(jì)和陀螺儀這...
如何將低功耗應(yīng)用利用在系統(tǒng)設(shè)計(jì)上
低功耗可利用MEMS加速計(jì)(Accelerometer)傳感器來(lái)增加電池壽命。傳感器變得越來(lái)越省電,所嵌入的各種功能也有助于減少整體系統(tǒng)能耗。舉例來(lái)說(shuō),...
你怎么知道你在哪里?什么是真實(shí)的?這是傳感器融合應(yīng)該回答的問(wèn)題。不是以哲學(xué)的方式,而是字面上的“我會(huì)自動(dòng)撞入白宮嗎?因?yàn)槲冶桓嬷灰@樣做”,這種方式內(nèi)...
封裝是MEMS制造過(guò)程的重要環(huán)節(jié),決定了MEMS器件的可靠性和成本。開(kāi)口封封裝技術(shù)是智芯傳感在封裝工藝上的一次創(chuàng)新突破。這一創(chuàng)新技術(shù)不僅攻克了MEMS壓...
利用MEMS陀螺儀實(shí)現(xiàn)低噪聲反饋控制設(shè)計(jì)
MEMS陀螺儀提供了測(cè)量旋轉(zhuǎn)角速度的一種簡(jiǎn)單方法,其封裝很容易連接印刷電路板,因此被廣泛用于許多不同類(lèi)型的運(yùn)動(dòng)控制系統(tǒng)中作為反饋檢測(cè)元件。
解讀傳感器設(shè)計(jì)的四個(gè)注意事項(xiàng)
一般理解傳感器是將一種物理量經(jīng)過(guò)電路轉(zhuǎn)換成一種能以另外一種直觀的可表達(dá)的物理量的描述。比如轉(zhuǎn)換成僅依賴(lài)于此測(cè)物理量的較高的電壓電流等信號(hào),再顯示出來(lái)。...
2016-01-19 標(biāo)簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 1.6k 0
基于GTI的1x3波長(zhǎng)復(fù)用/解復(fù)用器的系統(tǒng)級(jí)性能分析
波分復(fù)用器和解復(fù)用器幾乎是所有WDM系統(tǒng)和網(wǎng)絡(luò)的主要組成部分。從傳統(tǒng)意義上講,多路復(fù)用/解復(fù)用器(de/mux)都屬于靜態(tài)器件,隨著溫度的變化波長(zhǎng)范圍會(huì)...
當(dāng)今的科學(xué)技術(shù)如翩翩起舞的蝴蝶,追求著微型化、集成化及智能化的新境界。隨著微機(jī)電系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical System,M...
MEMS振蕩器的特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)及為應(yīng)用提供計(jì)時(shí)方案
MEMS振蕩器、諧振器和時(shí)鐘產(chǎn)品是計(jì)時(shí)市場(chǎng)中新的、迅速成長(zhǎng)的一部分。這些產(chǎn)品正在取代傳統(tǒng)的石英和時(shí)鐘芯片,它在單芯片上結(jié)合了上述兩者的功能。不但如此,同...
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