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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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頻率信號(hào)對(duì)于所有電子產(chǎn)品就像是心跳對(duì)所有動(dòng)物的生命一般重要,所有電子電路的動(dòng)作都以此重復(fù)性且穩(wěn)定的頻率信號(hào)作為參考信號(hào)源。設(shè)計(jì)優(yōu)良的頻率信號(hào),幾乎是系統(tǒng)...
2017-12-10 標(biāo)簽:mems 933 0
比芯片還落后!中國(guó)千萬(wàn)別再錯(cuò)過(guò)MEMS了!
過(guò)去,我們錯(cuò)過(guò)了芯片,華為等公司被卡脖子陷入無(wú)芯可用的境地,慘痛教訓(xùn)就在眼前。 ? 如今,有一項(xiàng)新技術(shù),在全球風(fēng)頭正勁,正在蓬勃發(fā)展,被譽(yù)為21世紀(jì)最有...
MEMS是替代傳統(tǒng)傳感器的唯一選擇?。ㄚ厔?shì)探索)
MEMS傳感器是在微電子技術(shù)基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的多學(xué)科交叉的前沿研究領(lǐng)域。經(jīng)過(guò)四十多年的發(fā)展,已成為世界矚目的重大科技領(lǐng)域之一。它涉及電子、機(jī)械、材料、物理...
MEMS在無(wú)人系統(tǒng)領(lǐng)域有著巨大的應(yīng)用潛力
MEMS慣性導(dǎo)航在過(guò)去數(shù)十年內(nèi)得到了迅速發(fā)展,在無(wú)人系統(tǒng)領(lǐng)域內(nèi)得到了越來(lái)越多的應(yīng)用,其作為未來(lái)慣性導(dǎo)航的主要發(fā)展方向,正在展現(xiàn)出強(qiáng)大的潛力以及良好的應(yīng)用前景。
2020-07-14 標(biāo)簽:mems無(wú)人系統(tǒng) 909 0
MEMS技術(shù)可以被結(jié)合到各種各樣的電子部件中。生產(chǎn)這些組件的公司大概會(huì)認(rèn)為MEMS實(shí)施優(yōu)于MEMS版本問(wèn)世之前所使用的實(shí)施方式。
市場(chǎng)容量持續(xù)擴(kuò)張 從加速度傳感器實(shí)現(xiàn)的功能來(lái)看,無(wú)論是國(guó)際知名品牌的手機(jī),還是普通的手機(jī),其主要功能是通過(guò)傾斜、晃動(dòng)等動(dòng)作來(lái)實(shí)現(xiàn)用戶界面控制、游戲控制...
許多壓力傳感器應(yīng)用都需要具有集成信號(hào)調(diào)理功能的緊湊型 MEMS 器件; 然而,挑戰(zhàn)在于找到一種能夠支持應(yīng)用的體積和成本要求(包括壓力范圍方面的靈活性)的...
利用軟件驅(qū)動(dòng)、安全的預(yù)測(cè)性電機(jī)維護(hù)提高生產(chǎn)力
現(xiàn)在,工業(yè)4.0(也稱為工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)或IIoT)浪潮正如火如荼,工業(yè)客戶更專(zhuān)注于部署解決方案以增加設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間,降低運(yùn)營(yíng)成本,延長(zhǎng)設(shè)備壽命,提高工人生...
2023-06-14 標(biāo)簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 889 0
MEMS麥克風(fēng)為中國(guó)精密制造產(chǎn)業(yè)帶來(lái)發(fā)展機(jī)遇
MEMS產(chǎn)品是指尺寸在毫米級(jí)甚至微米級(jí)的微型機(jī)電裝置,主要分為微型傳感器(如MEMS麥克風(fēng)和壓力傳感器)和微型執(zhí)行器(如MEMS揚(yáng)聲器)兩大類(lèi)。
2020-07-21 標(biāo)簽:memsMEMS麥克風(fēng) 871 0
一種聚合物壓電MEMS加速度計(jì)新設(shè)計(jì)方案
MEMS加速度計(jì)通過(guò)微結(jié)構(gòu)內(nèi)發(fā)生的電容、電阻或電荷(壓電)變化來(lái)檢測(cè)機(jī)械加速度,現(xiàn)已成為僅次于壓力傳感器,應(yīng)用量排名第二的MEMS器件。
MEMS技術(shù)實(shí)現(xiàn)平視顯示更亮更高清
基于MEMS的DMD領(lǐng)域內(nèi)的不斷創(chuàng)新正在為開(kāi)發(fā)人員提供更多的機(jī)會(huì),將基于投影的顯示技術(shù)融入到多種針對(duì)工業(yè)、個(gè)人電子器件、可穿戴、數(shù)字標(biāo)牌和企業(yè)市場(chǎng)等應(yīng)用中。
集成光信號(hào)分配、處理和傳感網(wǎng)絡(luò)需要小型化基本光學(xué)元件,如波導(dǎo)、分光器、光柵和光開(kāi)關(guān)。為了實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo),需要能夠?qū)崿F(xiàn)高分辨率制造的方法。
高壓功率放大器在MEMS微結(jié)構(gòu)模態(tài)測(cè)試靜電激勵(lì)技術(shù)中的應(yīng)用
MEMS測(cè)試技術(shù)是微機(jī)電系統(tǒng)技術(shù)的重要組成部分之一,微結(jié)構(gòu)動(dòng)態(tài)特性的測(cè)試對(duì)MEMS器件的性能及其設(shè)計(jì)、仿真、制造、以及質(zhì)量控制和評(píng)價(jià)等方面均具有重要的意...
微小的可變形微加工芯片邊緣微懸臂梁對(duì)于各種表面探測(cè)技術(shù)都非常有用。例如,它們是近場(chǎng)顯微術(shù)的關(guān)鍵元素,在近場(chǎng)顯微術(shù)中,它們?cè)谛隙葼顟B(tài)下的力學(xué)行為被很好的...
2022-11-21 標(biāo)簽:mems 844 0
低壓驅(qū)動(dòng)RF MEMS開(kāi)關(guān)設(shè)計(jì)與改進(jìn)
近年來(lái)射頻微電子系統(tǒng)(RF MEMS)器件以其尺寸小、功耗低而受到廣泛關(guān)注,特別是MEMS開(kāi)關(guān)構(gòu)建的移相器與天線,是實(shí)現(xiàn)上萬(wàn)單元相控陣?yán)走_(dá)的關(guān)鍵技術(shù),在...
紐迪瑞首次公開(kāi)發(fā)布NMP系列MEMS數(shù)字氣壓傳感器
NMP系列數(shù)字氣壓傳感器,基于MEMS技術(shù),通過(guò)蝕刻在硅片上的高精密半導(dǎo)體電阻組成惠斯通電橋以作為機(jī)電變換測(cè)量電路,可用于微小壓力檢測(cè)。
淺談MEMS在狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域的優(yōu)勢(shì)
作為一項(xiàng)基于固態(tài)電子器件和內(nèi)置半導(dǎo)體制造設(shè)施技術(shù),MEMS向狀態(tài)監(jiān)控產(chǎn)品設(shè)計(jì)師提供了幾個(gè)極具吸引力且有價(jià)值的優(yōu)勢(shì)。撇開(kāi)性能因素,我們就來(lái)說(shuō)說(shuō)狀態(tài)監(jiān)控領(lǐng)域...
2018-07-07 標(biāo)簽:傳感器mems狀態(tài)監(jiān)控 829 0
怎樣使用虹科DLO-M1液體密度傳感器進(jìn)行密度測(cè)量呢
亞毫米級(jí)的測(cè)量系統(tǒng)使傳感器的結(jié)構(gòu)更加緊湊。它的尺寸只有80×30×15mm,可以放入非常狹小的空間。測(cè)量值通過(guò)RS232接口和虹科TrueDyne傳感器...
微機(jī)電系統(tǒng)(Micro Electro-Mechanical Systems,簡(jiǎn)稱MEMS)壓力傳感器在汽車(chē)工業(yè)中有著極為廣泛的應(yīng)用。它們小巧高效,能夠...
2024-12-17 標(biāo)簽:mems壓力傳感器微機(jī)電系統(tǒng) 819 0
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