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微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System),也叫做微電子機(jī)械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機(jī)械等,是在微電子技術(shù)(半導(dǎo)體制造技術(shù))基礎(chǔ)上發(fā)展起來(lái)的,融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機(jī)械加工等技術(shù)制作的高科技電子機(jī)械器件。
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運(yùn)動(dòng)五感:利用MEMS慣性感測(cè)技術(shù)實(shí)現(xiàn)應(yīng)用變革
盡管MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))技術(shù)在氣囊和汽車壓力傳感器中的應(yīng)用已有大約20年,但促使大眾認(rèn)識(shí)到慣性傳感器作用的是Nintendo? Wii?和Apple?...
MEMS傳感器是令人驚奇的小器件,大小僅為幾平方毫米,通常包含兩個(gè)芯片。一個(gè)是傳感器芯片,通常來(lái)說(shuō)MEMS器件提供運(yùn)動(dòng)或壓力信息,但它也可以用作磁性固態(tài)傳感器。
我在上一篇關(guān)于MEMS壓力傳感器的博客中,談到了從手表到復(fù)雜機(jī)械等眾多設(shè)備中的HMI傳感器如何改變了我們獲取信息以及與技術(shù)交互的方式。過(guò)去,許多設(shè)備上只...
看看MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室是如何介紹MEMS的?
東南大學(xué)MEMS教育部重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室是以微電子學(xué)科為主題、結(jié)合電子工程系固體電子學(xué)研究室、工程力學(xué)系和機(jī)械工程系相關(guān)課題組,組建了跨學(xué)科的研究結(jié)構(gòu),于199...
2023-10-12 標(biāo)簽:mems 1.2k 0
基于MEMS和單片機(jī)實(shí)現(xiàn)慣性測(cè)量組件的數(shù)據(jù)采集系統(tǒng)的設(shè)計(jì)
首先簡(jiǎn)介ADISl6355AMLZ型MEMS的原理、構(gòu)成及應(yīng)用。在此基礎(chǔ)上,搭建一個(gè)硬件平臺(tái),采用內(nèi)置USB控制器的AT89C513lA型單片機(jī)作為主控...
2020-07-31 標(biāo)簽:單片機(jī)mems數(shù)據(jù)采集 1.2k 0
傳感器性能如何實(shí)現(xiàn)基于狀態(tài)的監(jiān)控解決方案
下面重點(diǎn)介紹幾種常見(jiàn)故障類型及其特征,以深入了解開(kāi)發(fā)基于狀態(tài)的監(jiān)控解決方案時(shí)必須考慮的一些關(guān)鍵系統(tǒng)要求。這些包括但不限于不平衡、不對(duì)中、齒輪故障和滾動(dòng)軸承缺陷。
2022-07-05 標(biāo)簽:傳感器mems電動(dòng)機(jī) 1.2k 0
二維微機(jī)電陣列為移動(dòng)光譜分析儀打下基礎(chǔ)
使用具有一個(gè)單點(diǎn)探測(cè)器、基于光學(xué)微機(jī)電系統(tǒng) (MEMS) 陣列技術(shù)的全新方法可以克服傳統(tǒng)光譜分析方法中的很多限制。在基于單點(diǎn)探測(cè)器的系統(tǒng)中,一個(gè)固態(tài)光學(xué)...
汽車慣性傳感器供貨啟動(dòng),諧振式壓力傳感器布局加速
人形機(jī)器人市場(chǎng)仍然處于研發(fā)階段,技術(shù)上還沒(méi)有完全收斂,各種技術(shù)、路線、方式、傳感器的性能、精度、使用數(shù)量尚未完全確定。
電氣化和智能化,會(huì)給汽車上的MEMS帶來(lái)什么變化
微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)是一種緊湊型設(shè)備,在單個(gè)硅芯片上組合各種功能,如機(jī)械、光學(xué)、流體和電子,是醫(yī)療、運(yùn)輸和電信領(lǐng)域發(fā)展的主要支持技術(shù)。MEMS加速度計(jì)...
比芯片還落后!中國(guó)千萬(wàn)別再錯(cuò)過(guò)MEMS了!
過(guò)去,我們錯(cuò)過(guò)了芯片,華為等公司被卡脖子陷入無(wú)芯可用的境地,慘痛教訓(xùn)就在眼前。 ? 如今,有一項(xiàng)新技術(shù),在全球風(fēng)頭正勁,正在蓬勃發(fā)展,被譽(yù)為21世紀(jì)最有...
傳感器和數(shù)字技術(shù)的進(jìn)步如何幫助改善患者護(hù)理
這讓我們能夠在醫(yī)院以外實(shí)施醫(yī)療監(jiān)測(cè)和檢驗(yàn),可以在本地醫(yī)療機(jī)構(gòu)(例如GP practices)或患者家中執(zhí)行。為了給患者帶來(lái)更大的便利,可穿戴設(shè)備(例如貼...
為了提高流體機(jī)械的效率,需要表征曲面上的近壁流動(dòng),以抑制這種流動(dòng)分離。不過(guò),實(shí)現(xiàn)這一目標(biāo)需要解決多方面的挑戰(zhàn)。
因此,急救人員的位置確定仍然是當(dāng)今最復(fù)雜的位置應(yīng)用之一。沒(méi)有一種銀彈傳感器可以實(shí)現(xiàn)預(yù)期目標(biāo),但需要多個(gè)技術(shù)節(jié)點(diǎn),每個(gè)節(jié)點(diǎn)都處于能力的前沿。此外,它還涉及...
一文解析MEMS戰(zhàn)場(chǎng)導(dǎo)航
低成本的GPS干擾和欺騙技術(shù)的可用性使得僅GPS的定位和導(dǎo)航解決方案對(duì)于在戰(zhàn)場(chǎng)環(huán)境中的士兵而言,成為日益危險(xiǎn)的選擇。
利用軟件驅(qū)動(dòng)、安全的預(yù)測(cè)性電機(jī)維護(hù)提高生產(chǎn)力
現(xiàn)在,工業(yè)4.0(也稱為工業(yè)物聯(lián)網(wǎng)或IIoT)浪潮正如火如荼,工業(yè)客戶更專注于部署解決方案以增加設(shè)備正常運(yùn)行時(shí)間,降低運(yùn)營(yíng)成本,延長(zhǎng)設(shè)備壽命,提高工人生...
2023-06-14 標(biāo)簽:傳感器MEMS物聯(lián)網(wǎng) 1.1k 0
基于MEMS技術(shù)的機(jī)器健康解決方案 全面催動(dòng)全球走向工業(yè) 4.0
全球工業(yè)正迎來(lái)新一輪變革。無(wú)論是德國(guó)提出的“工業(yè)4.0”,美國(guó)的“工業(yè)互聯(lián)網(wǎng)”,還是中國(guó)的“中國(guó)制造2025”,三者本質(zhì)上都指向一個(gè)核心——智能制造。
智能傳感器這一概念是由國(guó)外引進(jìn)的,通常定義為“帶有微處理器,具有信息處理功能的傳感器”,傳感器很大程度上能讓物體慢慢變得活了起來(lái)。筆者獲悉,隨著物聯(lián)網(wǎng)技...
2015-08-17 標(biāo)簽:MEMS物聯(lián)網(wǎng)智能傳感器 1.1k 0
基于法拉第電磁感應(yīng)定律的單片集成MEMS三軸磁場(chǎng)傳感器
該研究中對(duì)傳感器進(jìn)行的相關(guān)測(cè)試仍采用開(kāi)環(huán)驅(qū)動(dòng)電路,閉環(huán)驅(qū)動(dòng)電路由于電路匹配問(wèn)題仍在優(yōu)化過(guò)程中。預(yù)計(jì)采用閉環(huán)驅(qū)動(dòng)電路進(jìn)行測(cè)試后,傳感器的靈敏度將得到提高,...
2022-12-05 標(biāo)簽:mems磁場(chǎng)傳感器 1.1k 0
MEMS模型由系統(tǒng)和IC 設(shè)計(jì)師使用,因此模型應(yīng)當(dāng)盡可能緊密地集成到用戶的設(shè)計(jì)流程。對(duì)于IC 設(shè)計(jì)師,這需要模型支持所有模擬器,具有設(shè)計(jì)流程中的各種實(shí)體...
2013-01-24 標(biāo)簽:轉(zhuǎn)換器MEMS 1.1k 0
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