電子發(fā)燒友網報道（文/劉靜）8月1日，一家專注半導體薄膜沉積設備研發(fā)的企業(yè)，江蘇微導納米科技股份有限公司成功通過上交所上市委的審核，被評定為符合發(fā)行條件、上市條件和信息披露要求。

2015年成立后，微導納米先后完成了7輪融資，投資方有高瓴資本、中芯聚源、毅達資本、君聯(lián)資本等知名投資機構，國際電池巨頭寧德時代也有參與，雖然交易金額尚未披露，但是在同行內融資數(shù)量還是相對較多的，多家資本都是中國前百強投資機構。

如果這次IPO成功，微導納米將在科創(chuàng)板資本市場融資10億元資金，再次加大研發(fā)投入，用于基于原子層沉積技術的光伏及柔性電子、半導體配套設備的擴產升級等。

目前微導納米的最大股東是萬海盈投資，直接持股56.86%。而現(xiàn)任董事長王磊先生，與王燕清、倪亞蘭組成的家族通過萬海盈投資、聚海盈管理、德厚盈投資間接控制微導納米67.34%的股份，成為微導納米的實際控制人。

2021年增收不增利，超4成營收來自光伏ALD設備，設備改造業(yè)務表現(xiàn)強勁

微導納米聚焦薄膜沉積設備領域的研發(fā)，薄膜沉積設備通常用于在基底上沉積導體、絕緣體或者半導體等材料膜層，使之具備一定的特殊性能，廣泛應用于光伏、半導體等領域的生產制造環(huán)節(jié)。

2015年成立最初，微導納米以光伏電池領域的薄膜沉積設備研發(fā)為主，而后進一步深化原子層沉積（ALD）技術，開發(fā)對技術水平和工藝要求更高的半導體薄膜沉積設備。據(jù)悉，微導納米的半導體ALD設備已突破了28nm集成電路制造工藝制程，光伏ALD量產設備鍍膜速率已突破10000片/小時。

在這7年的時間里，微導納米所處的光伏、半導體行業(yè)快速發(fā)展。我國連續(xù)九年新增光伏發(fā)電裝機量位居世界第一，半導體設備一直保持兩位數(shù)增長。根據(jù)Maximize Market Research統(tǒng)計的數(shù)據(jù)顯示，全球半導體薄膜沉積設備市場規(guī)模從2017年的125億美元擴大至2021年的190億美元，年復合增長率為11.04%。預計2022年市場規(guī)模將突破220億美元。

隨著光伏、半導體市場需求的快速增長，微導納米近三年的業(yè)績規(guī)模也在持續(xù)不斷地增長，但暫時沒有出現(xiàn)翻倍高增長的趨勢，且營收漲幅有所縮小。2021年營收規(guī)模由2020年的3.13億元擴大至4.28億元，同比增速由44.82%降至36.91%。

2019年-2021年微導納米的營業(yè)收入、凈利潤、主營毛利率具體的數(shù)據(jù)如下所示：

凈利潤方面，2020年以4.32%的速度由2019年的0.55億元增長至0.57億元，2021年下滑至0.46億元，首度出現(xiàn)增收不增利的情況。同時主營業(yè)務毛利率出現(xiàn)逐年下滑的趨勢，2019年毛利率為53.97%，2021年降至45.83%。據(jù)了解，這可能跟微導納米光伏領域新推出的PECVD設備和PEALD二合一平臺設備有關，2021年這兩大設備的毛利率分別為18.79%、19.59%，而光伏的ALD設備毛利率達46.83%，半導體的ALD設備更是高達52.20%，由此可見微導納米毛利率逐年下降極有可能是受低毛利率產品拖累。

微導納米的營收主要來源于專用設備業(yè)務，報告期內該業(yè)務收入占總營收的比例分別為93.59%、95.74%、70.29%，2019年、2020年營收貢獻率均在9成以上，2021年降至7成。

專用設備業(yè)務包括光伏領域的 ALD設備、PECVD設備、PEALD二合一平臺設備，以及半導體領域的ALD設備，2021年銷量分別為22臺、19臺、17臺、1臺，銷售均價分別為618.95萬元/臺、374.90萬元/臺、399.27萬元/臺、2520萬元/臺，半導體領域的ALD設備為目前微導納米賣得最貴的產品。2021年專業(yè)設備業(yè)務收入達30047.48萬元，而光伏ALD設備銷售收入占比45.32%，銷售均價最高的半導體ALD設備則占8.39%。

圖：微導納米的半導體薄膜沉積設備

招股書顯示，PECVD設備、PEALD二合一平臺設備以及半導體的ALD設備均是2021年才開始創(chuàng)造營收的產品，微導納米2019年、2020年營收增長完全是依靠光伏的ALD設備產品。

2021年微導納米的配套產品及服務業(yè)務收入強勁增長，漲幅高達854.06%。據(jù)悉，微導納米的配套產品及服務業(yè)務主要包括設備的尺寸改造、工藝改造、備品備件。該項業(yè)務2021年收入高漲，說明當期微導納米所接下的設備改造訂單增長明顯，同時也側面反映了光伏和半導體行業(yè)廠商偏向對原有設備進行改造以適用新工藝制程生產的現(xiàn)象。

客戶方面，微導納米已與通威太陽能、隆基股份、晶澳太陽能、阿特斯、天合光能、中輝科技、華恒新能源、龍恒新能源、陽光中科等知名廠商建立長期穩(wěn)定的合作。

半導體ADL設備研發(fā)投入翻倍增長，產能等多項技術指標達到國際大廠水平

目前全球前十大半導體設備制造商主要集中在美國、日本和荷蘭，占據(jù)全球76.63%的市場份額，全球半導體薄膜沉積設備基本被AMAT、ASM、Lam、TEL等國際巨頭壟斷。而我國半導體設備廠商因發(fā)展較晚，2020年半導體薄膜沉積設備國產化率僅達8%，主要廠商是北方華創(chuàng)、中微公司、拓荊科技。

另外在光伏薄膜沉積設備領域，微導納米面臨的主要競爭對手是捷佳偉創(chuàng)、北方華創(chuàng)、無錫松煜、理想晶延、紅太陽以及海外的Centrotherm。

2020年，微導納米在營收規(guī)模與國內同行企業(yè)的對比情況如下：

微導納米的營收規(guī)模與上市企業(yè)北方華創(chuàng)、捷佳偉創(chuàng)的差距較大，與未上市的紅太陽接近，超過未上市的無錫松煜、理想晶延。

在盈利能力方面，近三年微導納米的毛利率均高于同行企業(yè)平均水平，2021年雖然毛利率略有下降，但仍然超過捷佳偉創(chuàng)、北方華創(chuàng)、中微公司等同行企業(yè)。

在研發(fā)投入方面，近三年微導納米保持研發(fā)高投入，每年度的研發(fā)費用始終在銷售費用、管理費用和財務費用之上。具體2019年-2021年的研發(fā)費用分別為0.31億元、0.54億元、0.97億元，2021年研發(fā)投入將近2020年的一半。同期研發(fā)費用分別占總營收的比例為14.41%、17.91%、22.68%，研發(fā)費用占比呈現(xiàn)逐年提升的趨勢。

2020年微導納米開始進軍半導體領域，研發(fā)半導體用的ALD設備，三年累計研發(fā)投入6821.45萬元。2021年微導納米顯著加大對半導體領域的研發(fā)，半導體研發(fā)投入的金額相比2020年增長了112.50%。

招股書顯示，2021年微導納米新啟動的半導體研發(fā)項目主要有新一代化合物半導體Mini LED顯示技術關鍵工藝技術研發(fā)及產業(yè)化、先進化合物半導體及微機電關鍵工藝技術研發(fā)及產業(yè)化、尖端存儲器件原子層沉積設備及工藝開發(fā)、基于300mm晶圓半導體制造高產能自動化真空傳輸技術的研究與產業(yè)化等。

在技術實力上，微導納米光伏應用的Al2O3鍍膜設備生產效率行業(yè)領先，每小時產能最高10000片，而 Centrotherm、捷佳偉創(chuàng)、理想晶延產能分別為6000片/小時、6450片/小時、7200片/小時。

圖：微導納米光伏的Al2O3鍍膜設備技術對比

微導納米的半導體ALD設備在設備產能、平均故障間隔時間、平均破片率、平均修復時間等技術指標上達到國際大廠同類設備的水平。

圖：微導納米半導體ALD設備技術對比

在成立的7年時間里，微導納米不斷強化自身的技術壁壘，先后自主研發(fā)了原子層沉積反應器設計技術、高產能真空鍍膜技術、真空鍍膜設備工藝反應氣體控制技術、納米疊層薄膜沉積技術、高質量薄膜制造技術、工藝設備能量控制技術、基于原子層沉積的高效電池技術等核心技術。

截至2021年底，微導納米已取得94項國家授權專利，其中發(fā)明專利13項、實用新型專利72項、外觀設計專利9項，并擁有軟件著作權19項。

募資10億元，擴產升級半導體配套設備等

先前已完成7輪融資的微導納米，此次沖刺科創(chuàng)板上市，還將募集10億元，保障未來幾年研發(fā)項目的資金投入。

據(jù)悉，微導納米上市后的融資，主要投向“基于原子層沉積技術的光伏及柔性電子設備擴產升級項目”、“基于原子層沉積技術的半導體配套設備擴產升級項目”和“集成電路高端裝備產業(yè)化應用中心項目”。

從募集資金的分配來看，半導體配套設備的擴產升級項目投資規(guī)模最高，從此處也能看到未來相比光伏、柔性電子領域，微導納米更著重半導體行業(yè)的發(fā)展，大幅擴充半導體的ALD設備產能。募投項目實施后，微導納米將新增年產40套ALD設備。據(jù)悉，目前微導納米一臺半導體ALD設備售價高達2520萬元，40臺價值高達10.08億元，為2021年全年營收的2.36倍。

而投入2.5億元募集資金的光伏及柔性電子設備擴產升級項目，將新增年產120臺ALD設備。

投資1.18億元的“集成電路高端裝備產業(yè)化應用中心項目”則主要是針對更先進技術節(jié)點和工藝性能，搭建先進集成電路制造裝備的研發(fā)平臺、高端研發(fā)人才培養(yǎng)平臺，進行高端應用領域的ALD設備研發(fā)。

微導納米通過募投項目擴大應用于半導體、光伏領域的ALD設備生產規(guī)模，提升薄膜沉積設備市場占有率，這將促進國內薄膜沉積設備與技術的發(fā)展，助力半導體、光伏行業(yè)高端裝備的國產化替代。

從募投項目來看，未來微導納米除了繼續(xù)在光伏、半導體領域持續(xù)開拓外，還將向柔性電子等領域進軍，橫向延伸至平板、曲面及柔性顯示器產業(yè)，進入新的領域豐富自身的產品線。