國產(chǎn)之光希科半導(dǎo)體：引領(lǐng)SiC外延片量產(chǎn)新時代

?？瓢雽?dǎo)體科技(蘇州)有限公司碳化硅外延片新聞發(fā)布暨投產(chǎn)啟動儀式圓滿成功

中國蘇州，2022年11月23日——希科半導(dǎo)體科技（蘇州）有限公司于蘇州納米科技城召開碳化硅（SiC）外延片投產(chǎn)新聞發(fā)布會。會上公司創(chuàng)始人、總經(jīng)理呂立平宣布，公司采用國產(chǎn)CVD設(shè)備和國產(chǎn)襯底生產(chǎn)的6英寸SiC外延片，已于近期通過兩大權(quán)威機構(gòu)的雙重檢測，性能指標完全媲美國際大廠，為我國碳化硅行業(yè)創(chuàng)下了一個毫無爭議的新紀錄。

蘇州工業(yè)園區(qū)黨工委委員、管委會副主任倪乾，蘇州納米科技發(fā)展有限公司董事長、總裁張淑梅，中國電子材料協(xié)會副理事長袁桐，南京大學(xué)教授、固體微結(jié)構(gòu)物理國家重點實驗室主任陳延峰，中國冶金自動化院教授級高工高達，希科的天使投資方、云懿投資創(chuàng)始人夏玉山，以及十余家投資機構(gòu)代表、客戶和供應(yīng)商代表，應(yīng)邀出席了當天的發(fā)布會，共同見證了中國碳化硅產(chǎn)業(yè)界這一歷史時刻。

發(fā)布會現(xiàn)場照片

發(fā)布會投產(chǎn)儀式

核心材料和裝備近年來已成為我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)“卡脖子”最嚴重的兩個環(huán)節(jié)，如何實現(xiàn)關(guān)鍵技術(shù)突破，完成國產(chǎn)化替代，成為我國高科技產(chǎn)業(yè)升級必須面臨的重要課題?？上驳氖牵S著國家的高度重視和大力扶持，在業(yè)界各方的共同努力下，國產(chǎn)化替代技術(shù)正在不斷涌現(xiàn)。此次?？瓢雽?dǎo)體在SiC外延工藝研發(fā)上取得的突破性進展，就是采用了純國產(chǎn)設(shè)備和完全自主的先進工藝，顯示了國內(nèi)企業(yè)振興我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的信心和決心，也讓與會的專家和領(lǐng)導(dǎo)倍感振奮。

呂立平總經(jīng)理介紹，在過去的一年里，?？瓢雽?dǎo)體從國產(chǎn)水平外延爐調(diào)試成功，到完成國產(chǎn)量測設(shè)備調(diào)試、并實現(xiàn)與進口量測設(shè)備的對標校準，填補了行業(yè)空白；近日公司又進一步完成了國產(chǎn)垂直外延爐調(diào)試，并完成了國產(chǎn)襯底原料與進口襯底同等外延工藝下的對比測試。至此，?？瓢雽?dǎo)體實現(xiàn)了工藝設(shè)備、量測設(shè)備、關(guān)鍵原料的三位一體國產(chǎn)化，完全、干凈、徹底的解決了國外產(chǎn)品的卡脖子問題。這一系列成果填補了我國碳化硅行業(yè)的空白。

?？瓢雽?dǎo)體呂立平總經(jīng)理在會議中致辭

蘇州工業(yè)園區(qū)黨工委委員、管委會副主任倪乾表示，希科半導(dǎo)體碳化硅外延片正式投產(chǎn)必將為園區(qū)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)注入更加強勁的發(fā)展動力。當前，園區(qū)正以建設(shè)世界一流高科技園區(qū)為目標，以建設(shè)蘇州實驗室、國家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心等重大創(chuàng)新載體為抓手，全面學(xué)習(xí)貫徹黨的二十大精神，堅持科技是第一生產(chǎn)力、人才是第一資源、創(chuàng)新是第一動力，全力打造國際一流的第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新集群。長期以來，園區(qū)高度重視半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展，積極探索并出臺相應(yīng)政策支撐產(chǎn)業(yè)做大做強，繼續(xù)加大在半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)方面的支持力度。園區(qū)將持續(xù)營造一流的創(chuàng)新創(chuàng)業(yè)生態(tài)，不斷提升政策體系、人才供給、產(chǎn)業(yè)生態(tài)，更高水平促進創(chuàng)新鏈、產(chǎn)業(yè)鏈、資金鏈、人才鏈、服務(wù)鏈深度融合，做好企業(yè)有求必應(yīng)的“店小二”，全面支持包括?？瓢雽?dǎo)體在內(nèi)的優(yōu)秀企業(yè)加速成長。

園區(qū)黨工委委員、管委會副主任倪乾在會議中致辭

疫情下遠道而來的中國電子材料協(xié)會副理事長袁桐表示，當前我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)經(jīng)歷了巨大的挑戰(zhàn)，從國內(nèi)看是疫情下經(jīng)濟面臨著下行壓力，從國際看美國芯片法案對我國半導(dǎo)體企業(yè)的制裁進一步擴大化。但是，在國家支持發(fā)展半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的大框架和大背景下，整個行業(yè)仍然迎難而上，取得了前所未有的發(fā)展。數(shù)以萬億計的資本投入、也為行業(yè)注入了巨大活力，吸引了全球半導(dǎo)體行業(yè)的英才，這也使得我國從半導(dǎo)體工藝設(shè)備，到材料、設(shè)計、晶圓制造等各個關(guān)鍵產(chǎn)業(yè)鏈環(huán)節(jié)，都涌現(xiàn)出了初步具有全球競爭力的企業(yè)，國產(chǎn)化率顯著提高，在許多關(guān)鍵設(shè)備、關(guān)鍵材料和先進工藝方面打破了國外壟斷。她說，當下行業(yè)已經(jīng)進入了最有利于半導(dǎo)體優(yōu)質(zhì)企業(yè)跨越式發(fā)展的新階段，她很高興看到年輕的?？瓢雽?dǎo)體在成立僅僅一年多時間就展現(xiàn)了驚人的發(fā)展勢能，也欣喜地看到在蘇州產(chǎn)業(yè)園及周邊聚集了中國規(guī)模最大、品類最全的半導(dǎo)體材料下游產(chǎn)業(yè)集群。她代表中國電子材料協(xié)會，以及中國電器工業(yè)協(xié)會電力電子分會的肖向鋒副理事長，祝福希科半導(dǎo)體順利投產(chǎn)，期待?？茷橹袊雽?dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展做出新的貢獻。

中國電子材料協(xié)會副理事長袁桐會議中致辭

早在今年9月底，?？瓢雽?dǎo)體就以獨有的產(chǎn)業(yè)化工藝生產(chǎn)出6英寸外延片，經(jīng)兩家行業(yè)權(quán)威機構(gòu)的雙重檢測，結(jié)果顯示完全可以媲美國際上的頭部友商。隨著?？瓢雽?dǎo)體本次規(guī)模化投產(chǎn)，將改變目前碳化硅外延這一碳化硅芯片的核心原材料一直依賴進口設(shè)備和進口襯底的現(xiàn)狀，不但品質(zhì)更優(yōu)、成本更低，而且能夠保障供應(yīng)、按需擴產(chǎn)，將為我國新能源產(chǎn)業(yè)發(fā)展和雙碳戰(zhàn)略的實施做出應(yīng)有的貢獻。

據(jù)了解，SiC外延是從碳化硅長晶到芯片生產(chǎn)的各工藝環(huán)節(jié)中承前啟后的關(guān)鍵一環(huán)。所謂SiC外延片，是指在碳化硅襯底上生長一層更高晶格品質(zhì)的單晶薄膜（外延層），在實際應(yīng)用中一個個碳化硅芯片都是采用光刻、掩膜、摻雜等半導(dǎo)體制程工藝在這個外延層上得以實現(xiàn)，而碳化硅晶片本身是作為襯底實現(xiàn)支撐作用。因此碳化硅外延片的質(zhì)量對下一步芯片晶圓劃片封裝后的碳化硅器件性能的影響，是最為直接和巨大的。而外延的質(zhì)量又受到外延工藝、設(shè)備和襯底品質(zhì)的影響，處在整個產(chǎn)業(yè)的中間環(huán)節(jié)，其技術(shù)和工藝進步對碳化硅整體產(chǎn)業(yè)的發(fā)展起到非常關(guān)鍵的作用。長期以來，SiC外延生產(chǎn)設(shè)備被歐美日發(fā)達國家壟斷，近年來國內(nèi)業(yè)界開始在國產(chǎn)設(shè)備和生產(chǎn)工藝上積極投入研發(fā)，以解決這一“卡脖子”問題。

?？瓢雽?dǎo)體呂立平總經(jīng)理帶領(lǐng)嘉賓參觀產(chǎn)線

與會的中國冶金自動化院教授級高級工程師高達稱，?？瓢雽?dǎo)體的產(chǎn)業(yè)化技術(shù)突破是對業(yè)界的一大貢獻，認為?？茖崿F(xiàn)“關(guān)鍵工藝機臺全部國產(chǎn)化”和“量測機臺全部本土替代”將為碳化硅產(chǎn)業(yè)提供新的推動力。他說，本次?？瓢雽?dǎo)體在先進工藝研發(fā)和產(chǎn)業(yè)化、國產(chǎn)化方面的一系列突破，對公司自身的發(fā)展和行業(yè)整體擺脫對國外技術(shù)和設(shè)備的依賴都打下了扎實的基礎(chǔ)。

中國冶金自動化院教授級高級工程師高達在會議中致辭

?？瓢雽?dǎo)體的天使投資方、云懿投資創(chuàng)始人夏玉山在發(fā)言中難掩激動之情。云懿投資從2017年涉足第三代半導(dǎo)體投資，分別入股了瞻芯電子、山東天岳（688234），以及本次發(fā)布會的主角?？瓢雽?dǎo)體，其中山東天岳在今年順利成為碳化硅行業(yè)的第一家上市公司，瞻芯電子也成長為業(yè)界公認的碳化硅芯片頭部企業(yè)。他表示，從當初入股希科半導(dǎo)體到如今投入量產(chǎn)，?？埔詤瘟⑵娇偨?jīng)理為代表的團隊非常高效和務(wù)實，發(fā)展過程中的各項決策包括全面國產(chǎn)化的決策，云懿投資都參與其中，可以說是與創(chuàng)業(yè)團隊互相成就，這種如同團隊一分子般共同創(chuàng)業(yè)的感受非常難得。

會上夏玉山先生還透露了?？莆磥淼娜谫Y計劃，并歡迎看中碳化硅產(chǎn)業(yè)前景的眾多投資機構(gòu)積極參與，共同支持希科完成近期年產(chǎn)能達到十萬片、成為行業(yè)前三的目標。

?？瓢雽?dǎo)體的天使投資方、云懿投資創(chuàng)始人夏玉山發(fā)言

?？瓢雽?dǎo)體公司成立于2021年8月，坐落于蘇州工業(yè)園區(qū)納米城三區(qū)第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)園，也是蘇州納米城引入的重點企業(yè)和標桿項目。公司自成立以來專注于碳化硅外延片的關(guān)鍵工藝研發(fā)，核心團隊擁有十余年的研發(fā)、量產(chǎn)經(jīng)驗，以及世界級大廠的管理經(jīng)驗，并已儲備了多項自主知識產(chǎn)權(quán)。其中公司創(chuàng)始人、總經(jīng)理呂立平是國內(nèi)最早從事SiC技術(shù)和工藝研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化的領(lǐng)軍型人才，擁有多項發(fā)明專利和實用新型專利。

發(fā)布會上，呂立平總經(jīng)理對冒著疫情管控蒞臨發(fā)布會的諸位領(lǐng)導(dǎo)及各方嘉賓表達了衷心感謝。他表示，?？瓢雽?dǎo)體公司能夠在成立后的短短一年多時間里取得跨越式高速進展，是站在中國芯片行業(yè)大發(fā)展的時代背景上實現(xiàn)的，離不開產(chǎn)業(yè)界和各級政府主管部門的大力支持，其中最直接和最重要的就是來自蘇州工業(yè)園區(qū)及蘇州納米城發(fā)展有限公司各位領(lǐng)導(dǎo)的支持。

希科半導(dǎo)體所在地園區(qū)納米城III區(qū)

近年來，隨著新能源和雙碳產(chǎn)業(yè)的崛起，碳化硅行業(yè)正面臨著井噴式的市場機遇，蘇州納米城各級領(lǐng)導(dǎo)憑借著對半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的整體前瞻性領(lǐng)悟，大力支持碳化硅、MEMS等先進半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，搭建了完善的產(chǎn)業(yè)基礎(chǔ)和配套設(shè)施，目前這里和周邊已經(jīng)成為了我國芯片產(chǎn)業(yè)上下游最大的聚集地。蘇州納米城地理位置優(yōu)越，交通便利，加上整體規(guī)劃科學(xué)合理，教育、醫(yī)療、商貿(mào)等生活配套非常到位，吸引著越來多的半導(dǎo)體高端技術(shù)人才和創(chuàng)業(yè)者。