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案例分享第六期:鉭酸鋰晶圓切割實例

西斯特精密加工 ? 2022-06-14 10:15 ? 次閱讀
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鉭酸鋰的材料特性

鉭酸鋰(LiTaO3,簡稱LT)是一種重要的多功能晶體材料,它具有壓電性、介電性、熱釋電性以及電光效應(yīng)、非線性光學效應(yīng)和聲光效應(yīng)等重要特性。鉭酸鋰晶體晶片主要原料是高純氧化鉭和碳酸鋰,是微波聲學器件用的良好材料。

鉭酸鋰晶圓,直徑通常為100±0.2mm,厚度為0.2~0.25mm。

鉭酸鋰的應(yīng)用

經(jīng)過拋光的LT晶片廣泛用于諧振器、濾波器、換能器等電子通訊器件的制造,尤其以它良好的機電耦合、溫度系數(shù)等綜合性能而被用于制造高頻聲表面波器件,并應(yīng)用在手機、對講機、衛(wèi)星通訊、航空航天等許多高端通訊領(lǐng)域。

鉭酸鋰晶圓的切割要點

鉭酸鋰(LiTaO3)晶圓,具有硬脆的明顯特征,受到外力碰撞時容易產(chǎn)生應(yīng)力而導致裂片,在薄片晶圓上表現(xiàn)尤為明顯,所以切割鉭酸鋰晶圓適合采用較粗的金剛石尺寸和較低的金剛石濃度。

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西斯特科技

深圳西斯特科技有限公司 (簡稱西斯特SST) ,以“讓一切磨削加工變得容易”為主旨,倡導磨削系統(tǒng)方法論,2015年金秋創(chuàng)立于深圳,根植于技術(shù)創(chuàng)新的精神,屹立于創(chuàng)造價值、追求夢想的企業(yè)文化。

基于對應(yīng)用現(xiàn)場的深度解讀、創(chuàng)新性的磨具設(shè)計和磨削系統(tǒng)方法論的實際應(yīng)用,西斯特秉承先進的磨削理念,踐行于半導體、消費電子、汽車零部件等行業(yè),提供高端磨具產(chǎn)品以及“切、磨、鉆、拋”系統(tǒng)解決方案,在晶圓與封裝基板劃切、微晶玻璃和功能陶瓷磨削、汽車零部件精密磨削等領(lǐng)域應(yīng)用廣泛。

西斯特科技始終以先進的技術(shù)、創(chuàng)新的產(chǎn)品、優(yōu)質(zhì)服務(wù)的理念,引領(lǐng)產(chǎn)業(yè)革命,創(chuàng)造無限可能。

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