MEMS傳感器是采用微電子和微機(jī)械加工技術(shù)制造出來的新型傳感器。它具有體積小、質(zhì)量輕、成本低、功耗低、可靠性高、技術(shù)附加值高,適于批量化生產(chǎn)、易于集成和實(shí)現(xiàn)智能化等特點(diǎn)。
下面是MEMS傳感器七大分類:
1、壓力傳感器:絕對壓力傳感器和計(jì)量壓力的傳感器。
2、熱學(xué)傳感器:溫度和熱量傳感器。
3、力學(xué)傳感器:力、壓強(qiáng)、速度和加速度傳感器。
4、化學(xué)傳感器:化學(xué)濃度、化學(xué)成分和反應(yīng)率傳感器。
5、磁學(xué)傳感器:磁場強(qiáng)度、磁通密度和磁化強(qiáng)度傳感器。
6、輻射傳感器:電磁波強(qiáng)度傳感器。
7、電學(xué)傳感器:電壓、電流和電荷傳感器。
除了上面介紹的幾種典型MEMS傳感器外,還有許許多多的MEMS傳感器,如用于微觀判斷的MEMS觸覺傳感器、MEMS生物傳感器、MEMS圖像傳感器等在不同環(huán)境中,MEMS傳感器的技術(shù)應(yīng)用也是不同的。
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