顯微光學(xué)成像是指透過樣品或從樣品反射回來的可見光，通過一個或多個透鏡后，能夠得到微小樣品的放大圖像的技術(shù)，其中大行程、高精度機(jī)構(gòu)放大式壓電促動器可帶動樣品做Z向超精密運動，可使觀測精度達(dá)到納米級。

機(jī)構(gòu)放大式壓電促動器是一種通過機(jī)械放大結(jié)構(gòu)將預(yù)載的低壓壓電陶瓷疊堆產(chǎn)生的位移進(jìn)行放大并垂直輸出的促動器。

機(jī)械放大結(jié)構(gòu)為橢圓形機(jī)械殼體，它的材料一般為鋼，它對壓電疊堆陶瓷除了提供優(yōu)化預(yù)緊力外，也對疊堆陶瓷起到保護(hù)作用，使其免于承受拉力，拉力對壓電疊堆陶瓷會產(chǎn)生不可逆甚至致命的損壞。橢圓機(jī)械放大結(jié)構(gòu)也為用戶提供了易于集成的機(jī)械接口。

技術(shù)參數(shù)

型號：P06.X500R

位移行程：560μm

運動方向出力：100N

剛度：0.25N/μm

靜電容量：10.8μF

空載諧振頻率：170Hz

開環(huán)曲線

典型應(yīng)用

? 探針掃描

? 光開關(guān)、快門/快門防抖

? 激光腔調(diào)諧

? 光纖拉伸

? 器件疲勞度監(jiān)測

? 測流技術(shù)

? 液滴發(fā)生器

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