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EUV光刻技術(shù) - 即將在芯片上繪制微小特征的下一代技術(shù) – 原來是預(yù)計(jì)在2012年左右投產(chǎn)。但是幾年過去了,EUV已經(jīng)遇到了一些延遲,將技術(shù)從一個(gè)節(jié)點(diǎn)推向下一個(gè)階段,本單元詳細(xì)介紹了EUV光刻機(jī),EUV光刻機(jī)技術(shù)的技術(shù)應(yīng)用,EUV光刻機(jī)的技術(shù)、市場(chǎng)問題,國(guó)產(chǎn)euv光刻機(jī)發(fā)展等內(nèi)容。
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英特爾:今年年中是高性能 10nm 的節(jié)點(diǎn)
目前在幾乎所有的半導(dǎo)體廠商普及7nm,部分甚至進(jìn)入5nm工藝的時(shí)候,英特爾仍然打磨自家的14nm工藝,當(dāng)然打磨了之后還是有成果的,那就是頻率已經(jīng)突破天際...
中芯國(guó)際表示深圳工廠進(jìn)口光刻機(jī)不是EUV光刻機(jī)
據(jù)中國(guó)證券報(bào)報(bào)道,3月6日下午從中芯國(guó)際獲悉,日前中芯國(guó)際深圳工廠從荷蘭進(jìn)口了一臺(tái)大型光刻機(jī),但這是設(shè)備正常導(dǎo)入,用于產(chǎn)能擴(kuò)充,并非外界所稱的EUV光刻機(jī)。
荷蘭巨頭1nm光刻機(jī)迎新突破,預(yù)計(jì)會(huì)在2022年實(shí)現(xiàn)商業(yè)化
? ? 11月30日最新報(bào)道,近日荷蘭光刻機(jī)巨頭阿斯麥(ASML)又送來一則好消息,該司已經(jīng)與比利時(shí)半導(dǎo)體研究機(jī)構(gòu)IMEC共同完成了1nm光刻機(jī)的設(shè)計(jì)工...
三星電子副會(huì)長(zhǎng)李在镕近日參觀正在開發(fā)“全球第一個(gè)3納米級(jí)半導(dǎo)體工藝”的韓國(guó)京畿道華城半導(dǎo)體工廠,并聽取了關(guān)于3納米工藝技術(shù)的報(bào)告,他還與三星電子半導(dǎo)體部...
摩爾定律的三種發(fā)展方向,EUV制程技術(shù)勢(shì)在必行
從2017到2018年,全球IC制造產(chǎn)業(yè)資本投資規(guī)模達(dá)到高峰,近兩年總投資均超過920億美元規(guī)模。目前中國(guó)臺(tái)灣IC制造產(chǎn)業(yè)仍以晶圓代工貢獻(xiàn)最主要產(chǎn)值,隨...
國(guó)產(chǎn)光刻膠市場(chǎng)前景 國(guó)內(nèi)廠商迎來發(fā)展良機(jī)
半導(dǎo)體光刻膠用光敏材料仍屬于“卡脖子”產(chǎn)品,海外進(jìn)口依賴較重,不同品質(zhì)之間價(jià) 格差異大。以國(guó)內(nèi) PAG 對(duì)應(yīng)的化學(xué)放大型光刻膠(主要是 KrF、ArF ...
半導(dǎo)體細(xì)微化技術(shù)陷入瓶頸 EUV成救星
半導(dǎo)體細(xì)微化(Scaling)是目前半導(dǎo)體行業(yè)最熱門的話題之一。隨著DRAM等的芯片元器件在內(nèi)的大部分電子元器件和存儲(chǔ)單元趨于超小型化,對(duì)于高度集成技術(shù)...
需要明確什么是EUV光刻機(jī)。它是一種采用極紫外線光源進(jìn)行曝光的設(shè)備。與傳統(tǒng)的ArF光刻機(jī)相比,EUV光刻機(jī)可以將曝光分辨率提高到7納米以下的超高級(jí)別,從...
2019 年底在舊金山舉辦的年度國(guó)際電子元件會(huì)議(IEDM)上,臺(tái)積電公布的兩個(gè)報(bào)告標(biāo)志著集成電路制造邁入了EUV 光刻時(shí)代。第一個(gè)報(bào)告宣布了應(yīng)用EUV...
ASML一騎絕塵,EUV光刻機(jī)出貨過半!國(guó)產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備發(fā)展提速!
電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/李彎彎)半導(dǎo)體設(shè)備廠商目前的銷售情況如何?今年以來,芯片產(chǎn)能不足之下全球各地加快建廠擴(kuò)產(chǎn),這帶動(dòng)半導(dǎo)體設(shè)備廠商銷售持續(xù)高增長(zhǎng)。近日...
EUV(極紫外光)光刻機(jī),是目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已投入規(guī)模生產(chǎn)使用的最先進(jìn)光刻機(jī)類型。近來,有不少消息都指出,EUV光刻機(jī)耗電量非常大,甚至它還成為困擾臺(tái)積電...
全球三大晶圓代工廠今年將導(dǎo)入極紫外光微影技術(shù) 家登EUV光罩盒將大出貨
全球三大晶圓代工廠臺(tái)積電、英特爾、三星,最快將在2019年導(dǎo)入極紫外光微影技術(shù)(EUV),值得注意的是,全球可提供EUV光罩盒的業(yè)者只有兩家,家登是其中...
中芯國(guó)際CEO趙海軍:EUV將在7nm形成主流 專注生產(chǎn)大技術(shù)
中芯國(guó)際CEO趙海軍表示,摩爾定律現(xiàn)在還在繼續(xù)發(fā)展,EUV將在7nm形成主流,EUV變化非常大,很多環(huán)節(jié)都要重新開始,變化來的太快。28納米工藝如果到7...
ASML放棄EUV光罩防塵薄膜研發(fā)并技轉(zhuǎn)日本三井化學(xué)
ASML將中斷EUV Pellicle(光罩防塵薄膜)技術(shù)的研發(fā),并將該技術(shù)轉(zhuǎn)讓與日本。
半導(dǎo)體技術(shù)微縮,新材料、材料純度和污染控制扮演重要角色
然而,真正讓芯片效能提升的關(guān)鍵,并非只是晶體管越做越小,也可以用 3D 制程取代 2D,或是導(dǎo)入新材料來提升性能,像是 1997 年 IBM 在半導(dǎo)體制...
這幾年,雖然摩爾定律基本失效或者說越來越遲緩,但是在半導(dǎo)體工藝上,幾大巨頭卻是殺得興起。Intel終于進(jìn)入10nm工藝時(shí)代并將在后年轉(zhuǎn)入7nm,臺(tái)積電、...
臺(tái)積電張忠謀細(xì)數(shù)半導(dǎo)體十大發(fā)明
臺(tái)積電(2330)創(chuàng)辦人張忠謀今在國(guó)際半導(dǎo)體展(SEMICON TAIWAN)IC60大師論壇,以《半導(dǎo)體業(yè)的重要?jiǎng)?chuàng)新看半導(dǎo)體公司的盛衰》為題,指出晶圓...
臺(tái)積電EUV設(shè)備明年將超50臺(tái) 劍橋大學(xué)繼續(xù)和華為進(jìn)行5G合作
據(jù)臺(tái)灣媒體消息,全年臺(tái)積電已向ASML下單量約15-16臺(tái),而2021年至少13臺(tái),估計(jì)全年需求約可達(dá)16-17臺(tái)。臺(tái)積電在先進(jìn)制程的優(yōu)勢(shì)逐漸擴(kuò)大,與研...
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