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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>什么是EUV***?

什么是EUV***?

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EUV光刻機(jī)就位后仍需解決的材料問題

對(duì)于如今的半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)而言,EUV光刻機(jī)是打造下一代邏輯和DRAM工藝技術(shù)的關(guān)鍵所在,為了在未來的工藝軍備競(jìng)賽中保持優(yōu)勢(shì),臺(tái)積電、三星和英特爾等廠商紛紛花重金購置EUV光刻機(jī)。 ? 然而,當(dāng)這些來自
2022-07-22 07:49:003666

EUV光刻工藝可用到2030年的1.5nm節(jié)點(diǎn)

推動(dòng)科技進(jìn)步的半導(dǎo)體技術(shù)真的會(huì)停滯不前嗎?這也不太可能,7nm工藝節(jié)點(diǎn)將開始應(yīng)用EUV光刻工藝,研發(fā)EUV光刻機(jī)的ASML表示EUV工藝將會(huì)支持未來15年,部分客戶已經(jīng)在討論2030年的1.5nm工藝路線圖了。
2017-01-22 11:45:423754

一文看懂EUV光刻

極紫外 (EUV) 光刻系統(tǒng)是當(dāng)今使用的最先進(jìn)的光刻系統(tǒng)。本文將介紹這項(xiàng)重要但復(fù)雜的技術(shù)。
2023-06-06 11:23:541996

競(jìng)購EUV機(jī)臺(tái),三星的計(jì)劃真能得逞嗎?

韓媒BusinessKorea昨日?qǐng)?bào)道,三星有意一口氣買下10臺(tái)單價(jià)為1.76億美元的EUV。三星如果真的這樣做,那就會(huì)提升其在7nm等先進(jìn)工藝上的領(lǐng)先優(yōu)勢(shì)。這一方面是由于EUV設(shè)備是未來集成電路
2017-10-24 06:47:006518

沒有EUV設(shè)備的中國芯片制造業(yè)

由于西方的禁運(yùn),中國芯片制造業(yè)無法得到EUV設(shè)備。但是全球能使用EUV的邏輯工藝制程制造商僅只有三家,分別是臺(tái)積電、三星及英特爾。
2021-02-23 18:09:475560

EUV光刻機(jī)何以造出5nm芯片?

作為近乎壟斷的光刻機(jī)巨頭,ASML的EUV光刻機(jī)已經(jīng)在全球頂尖的晶圓廠中獲得了使用。無論是英特爾、臺(tái)積電還是三星,EUV光刻機(jī)的購置已經(jīng)是生產(chǎn)支出中很大的一筆,也成了7nm之下不可或缺的制造設(shè)備
2021-12-01 10:07:4113656

日本的EUV***引進(jìn)之路

電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/周凱揚(yáng))隨著歐美韓等國家均已引進(jìn)EUV光刻機(jī),為其晶圓代工廠提供最先進(jìn)的工藝支持,日本雖然半導(dǎo)體制造水平這些年來提升不大,卻也計(jì)劃引進(jìn)EUV光刻機(jī)來打破這一困局,重回行業(yè)一流
2023-10-10 01:13:002603

能耗成了EUV***的最大掣肘

電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/周凱揚(yáng))隨著雙碳目標(biāo)的提出,越來越多的行業(yè)應(yīng)用開始注意到能耗問題,尤其是在半導(dǎo)體制造設(shè)備上。就拿我們常常提及的EUV光刻機(jī)來說,就是一個(gè)不折不扣的耗電大戶,結(jié)合光刻半導(dǎo)體
2023-10-25 01:14:002523

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EUV Series 42 W 0 to 3.5 A 12 V Waterproof / Damp Resistant LED Driver Module
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EUV Series 42 W 0 to 1.75 A 24 V Waterproof / Damp Resistant LED Driver Module
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EUV Series 76 W 24 V 3.17 A Outdoor Constant Voltage LED Driver Module
2024-06-21 02:46:12

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EUV Series 76 W 2.11 A 36 V Outdoor LED Driver module
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EUV Series 96 W 2 A 48 Vdc Out Max Outdoor Constant Voltage LED Driver
2024-06-21 02:46:17

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EUV series 150 W 36 V 4.17 A Constant Voltage LED Driver Modules
2024-06-21 02:46:04

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EUV Series 150 W 48 V Outdoor Constant Voltage LED Driver Module
2024-06-21 02:46:06

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EUV Series 200 W 15 A 12 Vdc Out Max Outdoor Constant Voltage LED Driver
2024-06-21 02:46:19

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EUV Series 200 W 24 V Outdoor Constant Voltage LED Driver Module
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EUV Series 200 W 5.56 A 36 Vdc Out Max Outdoor Constant Voltage LED Driver
2024-06-21 02:46:14

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EUV Series 200 W 4.76 A 42 Vdc Out Max Outdoor Constant Voltage LED Driver
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EUV Series 200 W 48 V Outdoor Constant Voltage LED Driver Module
2024-06-21 02:46:05

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EUV Series 250W 48V Constant Voltage LED Driver Module
2024-06-21 02:46:08

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EUV Series 300 W 24 V Outdoor Constant Voltage LED Driver Module
2024-06-21 02:46:17

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EUV Series 300 W 8.33 A 36 V Outdoor LED Driver Module
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EUV Series 300 W 6.25 A 48 Vdc Out Max Outdoor Constant Voltage LED Driver
2024-06-21 02:46:17

EUV熱潮不斷 中國如何推進(jìn)半導(dǎo)體設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展?

ofweek電子工程網(wǎng)訊 國際半導(dǎo)體制造龍頭三星、臺(tái)積電先后宣布將于2018年量產(chǎn)7納米晶圓制造工藝。這一消息使得業(yè)界對(duì)半導(dǎo)體制造的關(guān)鍵設(shè)備之一極紫外光刻機(jī)(EUV)的關(guān)注度大幅提升。此后又有媒體
2017-11-14 16:24:44

MAX1614EUV

MAX1614EUV - High-Side, n-Channel MOSFET Switch Driver Internal On/Off Latch - Maxim Integrated Products
2022-11-04 17:22:44

荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源產(chǎn)品介紹:ISTEQ公司開發(fā)了一種基于激光產(chǎn)生等離子體(LPP)的EUV光源。該光源具有極高的亮度和極高的穩(wěn)定性。它采用可自刷新的材料,無需中斷和更換燃料盒
2023-07-05 16:06:24

荷蘭ISTEQ公司TEUS系列EUV光源

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2023-07-05 16:16:48

分析:450mm,EUV,TSV都將延遲

分析:450mm,EUV,TSV都將延遲 現(xiàn)在不用再期待了,根據(jù)IC insights公司的數(shù)據(jù),看起來兩個(gè)兩個(gè)正在顯現(xiàn)的重要的IC制造技術(shù)都將延遲,包括450mm晶圓和遠(yuǎn)紫外(EUV)光刻
2010-01-26 09:02:25919

EUV極紫外光時(shí)代步伐漸近 或?qū)⒂瓉?50瓦EUV光源

盡管所花的時(shí)間與成本幾乎比所有人預(yù)期得要多,半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)終于還是快要盼到極紫外光(extreme ultraviolet,EUV)微影技術(shù)的大量生產(chǎn)──在近日于美國舊金山舉行的2017年度
2018-06-10 01:39:003719

中國EUV購買受限,半導(dǎo)體面臨難產(chǎn)

 盡管EUV現(xiàn)在還存在各種障礙,但是其未來應(yīng)用前景依然各方被看好。從長(zhǎng)遠(yuǎn)角度來看,發(fā)展EUV技術(shù)是非常必要的。對(duì)此,林雨指出:“自上世紀(jì)九十年代起,中國便開始關(guān)注并發(fā)展EUV技術(shù)。最初開展的基礎(chǔ)性
2017-11-15 10:13:551586

中芯訂購EUV設(shè)備,只為縮小差距

據(jù)知情人士透露,中國最大的晶圓代工廠中芯國際已經(jīng)訂購了一臺(tái)EUV設(shè)備,在中美兩國貿(mào)易緊張的情況下,此舉旨在縮小與市場(chǎng)領(lǐng)先者的技術(shù)差距,確保關(guān)鍵設(shè)備的供應(yīng)。EUV是當(dāng)前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)中最先進(jìn)也最昂貴的芯片制造設(shè)備。
2018-05-27 19:35:004081

EUV技術(shù)量產(chǎn)進(jìn)入最后沖刺階段

盡管極紫外光(EUV)步進(jìn)機(jī)的大量生產(chǎn)面臨復(fù)雜的問題以及緊迫的時(shí)間,專家們?nèi)匀槐С謽酚^態(tài)度...
2018-06-01 16:01:493352

ASML將于明年出貨30臺(tái)EUV光刻機(jī)

臺(tái)積電前不久試產(chǎn)了7nm EUV工藝,預(yù)計(jì)明年大規(guī)模量產(chǎn),三星今天宣布量產(chǎn)7nm EUV工藝,這意味著EUV工藝就要正式商業(yè)化了,而全球最大的光刻機(jī)公司荷蘭ASML為這一天可是拼了20多年。
2018-10-19 10:49:293872

EUV光刻工藝終于商業(yè)化 新一代EUV光刻工藝正在籌備

隨著三星宣布7nm EUV工藝的量產(chǎn),2018年EUV光刻工藝終于商業(yè)化了,這是EUV工藝研發(fā)三十年來的一個(gè)里程碑。不過EUV工藝要想大規(guī)模量產(chǎn)還有很多技術(shù)挑戰(zhàn),目前的光源功率以及晶圓產(chǎn)能輸出還沒有
2018-10-30 16:28:404245

EUV技術(shù)再度突破 但發(fā)展EUV仍需大力支持

和各種多重成像技術(shù)結(jié)合起來使用,但這在無形中提升了制造成本,拉長(zhǎng)了工藝周期。為了通過提升技術(shù)成本來平衡工序成本和周期成本,廠商們將底牌壓在了EUV***身上,但是EUV真的能夠滿足廠商們的期盼
2019-04-03 17:26:555258

多家DRAM廠商開始評(píng)估采用EUV技術(shù)量產(chǎn)

繼臺(tái)積電、三星晶圓代工、英特爾等國際大廠在先進(jìn)邏輯制程導(dǎo)入極紫外光(EUV)微影技術(shù)后,同樣面臨制程微縮難度不斷增高的DRAM廠也開始評(píng)估采用EUV技術(shù)量產(chǎn)。三星電子今年第四季將開始利用EUV技術(shù)生產(chǎn)1z納米DRAM,SK海力士及美光預(yù)期會(huì)在1α納米或1β納米評(píng)估導(dǎo)入EUV技術(shù)。
2019-06-18 17:20:313118

DRAM開始進(jìn)入EUV時(shí)代?

根據(jù)國外媒體報(bào)導(dǎo),曾表示目前制程技術(shù)還用不上EUV技術(shù)的各大DRAM廠在目前DRAM價(jià)格直直落,短期看不到止跌訊號(hào)的情況下,也頂不住生產(chǎn)成本的壓力,開始考量導(dǎo)入EUV技術(shù),以降低生產(chǎn)成本。南韓三星將在2019 年底前正式導(dǎo)入。
2019-06-21 10:13:344262

助力高級(jí)光刻技術(shù):存儲(chǔ)和運(yùn)輸EUV掩模面臨的挑戰(zhàn)

隨著半導(dǎo)體行業(yè)持續(xù)突破設(shè)計(jì)尺寸不斷縮小的極限,極紫外 (EUV) 光刻技術(shù)的運(yùn)用逐漸擴(kuò)展到大規(guī)模生產(chǎn)環(huán)境中。對(duì)于 7 納米及更小的高級(jí)節(jié)點(diǎn),EUV 光刻技術(shù)是一種能夠簡(jiǎn)化圖案形成工藝的支持技術(shù)。要在如此精細(xì)的尺寸下進(jìn)行可靠制模,超凈的掩模必不可少。
2019-07-03 15:32:372675

ASML最新一代EUV設(shè)備2025年量產(chǎn)

當(dāng)前半導(dǎo)體制程微縮到10納米節(jié)點(diǎn)以下,包括開始采用的7納米制程,以及未來5納米、3納米甚至2納米制程,EUV極紫外光光刻技術(shù)已成為不可或缺的設(shè)備。藉由EUV設(shè)備導(dǎo)入,不僅加快生產(chǎn)效率、提升良率,還能
2019-07-05 15:32:483590

關(guān)于ASML EUV工藝的最新信息進(jìn)展

在上周的Semicon West上,ASML提供了有關(guān)當(dāng)前EUV系統(tǒng)以及正在開發(fā)的0.55高NA系統(tǒng)的最新信息。
2019-07-27 10:37:334337

關(guān)于EUV光刻機(jī)的分析介紹

格芯首席技術(shù)官Gary Patton表示,如果在5nm的時(shí)候沒有使用EUV光刻機(jī),那么光刻的步驟將會(huì)超過100步,這會(huì)讓人瘋狂。所以所EUV光刻機(jī)無疑是未來5nm和3nm芯片的最重要生產(chǎn)工具,未來圍繞EUV光刻機(jī)的爭(zhēng)奪戰(zhàn)將會(huì)變得異常激烈。因?yàn)檫@是決定這些廠商未來在先進(jìn)工藝市場(chǎng)競(jìng)爭(zhēng)的關(guān)鍵。
2019-09-03 17:18:1814886

關(guān)于EUV光刻的優(yōu)勢(shì)和應(yīng)用以及所面臨的的困境

不久之前,半導(dǎo)體行業(yè)還堅(jiān)持認(rèn)為 EUV 掃描儀可以不使用防護(hù)膜,只需要在潔凈的環(huán)境中就可以加工晶圓。之后芯片制造商改變了自己的看法,表示無法保證 EUV 掃描儀或其它工具能在流程中保持百分之分的潔凈。芯片制造商說如果沒有防護(hù)膜,EUV 就很容易受到顆粒物污染,進(jìn)而產(chǎn)生缺陷。
2019-09-05 10:12:0410242

7nm節(jié)點(diǎn)后光刻技術(shù)從DUV轉(zhuǎn)至EUV,設(shè)備價(jià)值劇增

芯片行業(yè)從20世紀(jì)90年代開始就考慮使用13.5nm的EUV光刻(紫外線波長(zhǎng)范圍是10~400nm)用以取代現(xiàn)在的193nm。EUV本身也有局限,比如容易被空氣和鏡片材料吸收、生成高強(qiáng)度的EUV也很困難。
2019-10-01 17:12:009156

摩爾定律漸遠(yuǎn)下的提升,EUV被稱為“突破摩爾定律的救星”

前,行業(yè)DRAM三巨頭都沒有大規(guī)模使用EUV,但隨著制程工藝的提升,節(jié)點(diǎn)的進(jìn)一步微縮,同時(shí),EUV的性能和成本也在不斷優(yōu)化,DRAM將迎來EUV爆發(fā)期。
2020-01-18 16:11:002757

半導(dǎo)體巨頭為什么追捧EUV光刻機(jī)

近些年來EUV光刻這個(gè)詞大家應(yīng)該聽得越來越多,三星在去年發(fā)布的Exynos 9825 SoC就是首款采用7nm EUV工藝打造的芯片,臺(tái)積電的7nm+也是他們首次使用EUV光刻的工藝,蘋果的A13
2020-02-29 10:58:473867

EUV光刻機(jī)到底是什么?為什么這么貴?

近些年來EUV光刻這個(gè)詞大家應(yīng)該聽得越來越多,三星在去年發(fā)布的Exynos 9825 SoC就是首款采用7nm EUV工藝打造的芯片,臺(tái)積電的7nm+也是他們首次使用EUV光刻的工藝,蘋果的A13
2020-02-29 11:42:4531024

三星EUV技術(shù)成功應(yīng)用于DRAM生產(chǎn)

據(jù)ZDnet報(bào)道,三星宣布,已成功將EUV技術(shù)應(yīng)用于DRAM的生產(chǎn)中。
2020-03-25 16:24:393360

EUV光刻機(jī)全球出貨量達(dá)57臺(tái)

與此同時(shí), 他指出,EUV繼續(xù)為ASML的客戶提高產(chǎn)量,迄今為止,他們的客戶已經(jīng)使用EUV光刻機(jī)曝光了超過1100萬個(gè)EUV晶圓,并交付了57個(gè)3400x EUV系統(tǒng)(3400平臺(tái)是EUV生產(chǎn)平臺(tái))。
2020-08-14 11:20:553039

EUV光刻機(jī)的數(shù)量有望成為三星半導(dǎo)體成長(zhǎng)的關(guān)鍵

據(jù)悉,ASML是全球唯一能夠生產(chǎn)EUV光刻機(jī)的廠商,年產(chǎn)量為40余臺(tái),臺(tái)積電方面希望獲得全數(shù)供應(yīng)。EUV光刻機(jī)的價(jià)格昂貴,每臺(tái)要價(jià)約1.3億美元,由于是EUV制程必需的關(guān)鍵設(shè)備,臺(tái)積電與三星電子的競(jìng)爭(zhēng)日益激烈。
2020-10-13 13:51:522542

EUV光刻機(jī)還能賣給中國嗎?

ASML的EUV光刻機(jī)是目前全球唯一可以滿足22nm以下制程芯片生產(chǎn)的設(shè)備,其中10nm及以下的芯片制造,EUV光刻機(jī)必不可缺。一臺(tái)EUV光刻機(jī)的售價(jià)為1.48億歐元,折合人民幣高達(dá)11.74億元
2020-10-19 12:02:4910752

EUV光刻機(jī)加持,SK海力士宣布明年量產(chǎn)EUV工藝內(nèi)存

ASML公司的EUV光刻機(jī)全球獨(dú)一份,現(xiàn)在主要是用在7nm及以下的邏輯工藝上,臺(tái)積電、三星用它生產(chǎn)CPU、GPU等芯片。馬上內(nèi)存芯片也要跟進(jìn)了,SK海力士宣布明年底量產(chǎn)EUV工藝內(nèi)存。
2020-10-30 10:54:212202

三星EUV專利首次超過國外公司

在半導(dǎo)體工藝進(jìn)入7nm之后,EUV光刻機(jī)就成為兵家必備大殺器了,全球也只有ASML公司能生產(chǎn),單價(jià)達(dá)到10億人民幣一臺(tái)。不過在EUV技術(shù)上,ASML還真不一定就是第一,專利比三星還少。
2020-11-17 09:33:371816

極紫外(EUV)光刻技術(shù)將如何影響掩模收入?

體上,三分之二的調(diào)查參與者認(rèn)為這將產(chǎn)生積極的影響。前往EUV時(shí),口罩的數(shù)量減少了。這是因?yàn)?b class="flag-6" style="color: red">EUV將整個(gè)行業(yè)帶回單一模式。具有多個(gè)圖案的193nm浸入需要在高級(jí)節(jié)點(diǎn)處使用更多的掩模。
2020-11-23 14:42:091584

三星擴(kuò)大部署EUV光刻工藝

繼SK海力士日前宣布在M14和建設(shè)中的M16工廠均引入EUV光刻機(jī)后,三星也坐不住了。 按照三星的說法,自2014年以來,EUV光刻參與的晶圓超過了400萬片,公司積累了豐富的經(jīng)驗(yàn),也比其它廠商掌握
2020-12-04 18:26:542674

消息稱美光或開發(fā)EUV應(yīng)用技術(shù)

根據(jù)韓國媒體《Etnews》報(bào)導(dǎo)指出,目前全球3大DRAM存儲(chǔ)器中尚未明確表示采用EUV極紫外光刻機(jī)的美商美光(Micron),因日前招聘網(wǎng)站開始征求EUV工程師,揭露美光也在進(jìn)行EUV運(yùn)用于DRAM先進(jìn)制程,準(zhǔn)備與韓國三星、SK海力士競(jìng)爭(zhēng)
2020-12-25 14:33:101952

美光科技開始提速EUV DRAM開發(fā)速度

美國美光科技開始提速EUV DRAM。加入到三星電子、SK海力士等全球第一、第二EUV廠商選擇的EUV陣營后,后續(xù)EUV競(jìng)爭(zhēng)或?qū)⒏鼮榧ち摇?/div>
2020-12-25 14:43:132324

ASML累計(jì)賣出100臺(tái)EUV光刻機(jī)

***是在硅晶片上雕刻集成電路的機(jī)器,決定著晶體管的尺寸。想要在指甲大小的硅晶片上,集成數(shù)公里廠的導(dǎo)線、上億的晶體管器件,難度相當(dāng)大。 由此,目前能生產(chǎn)出EUV***的廠商,僅ASML一家
2021-01-07 15:27:452132

為何EUV光刻機(jī)會(huì)這么耗電呢

EUV(極紫外光)光刻機(jī),是目前半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)已投入規(guī)模生產(chǎn)使用的最先進(jìn)光刻機(jī)類型。近來,有不少消息都指出,EUV光刻機(jī)耗電量非常大,甚至它還成為困擾臺(tái)積電的一大難題。 為何EUV光刻機(jī)會(huì)這么耗電呢
2021-02-14 14:05:004746

日本的EUV實(shí)力如何?

近期三星為爭(zhēng)搶EUV設(shè)備,高層頻頻傳出密訪ASML,EUV的重要性早已不言而喻。提到EUV,大家首先想到的就是ASML,ASML并不是一個(gè)家喻戶曉的名字,但他卻是現(xiàn)代技術(shù)的關(guān)鍵。因?yàn)樗峁┝酥圃?/div>
2021-01-16 09:43:113120

三星EUV設(shè)備將會(huì)出現(xiàn)再度升級(jí)

近期三星為爭(zhēng)搶EUV設(shè)備,高層頻頻傳出密訪ASML,EUV的重要性早已不言而喻。提到EUV,大家首先想到的就是ASML,ASML并不是一個(gè)家喻戶曉的名字,但他卻是現(xiàn)代技術(shù)的關(guān)鍵。因?yàn)樗峁┝酥圃彀雽?dǎo)體必不可少的“光刻”機(jī)器,在摩爾定律即將發(fā)展到盡頭的現(xiàn)在,可以說,得EUV者得先進(jìn)工藝。
2021-01-16 09:44:472694

日本在EUV光刻機(jī)部件地位上不可忽略

近期三星為爭(zhēng)搶EUV設(shè)備,高層頻頻傳出密訪ASML,EUV的重要性早已不言而喻。提到EUV,大家首先想到的就是ASML,ASML并不是一個(gè)家喻戶曉的名字,但他卻是現(xiàn)代技術(shù)的關(guān)鍵。因?yàn)樗峁┝酥圃彀雽?dǎo)體必不可少的“光刻”機(jī)器,在摩爾定律即將發(fā)展到盡頭的現(xiàn)在,可以說,得EUV者得先進(jìn)工藝。
2021-01-16 10:32:575193

為什么都搶著買價(jià)格更昂貴的EUV光刻機(jī)?

目前,還有ASML有能力生產(chǎn)最先進(jìn)的EUV光刻機(jī),三星、臺(tái)積電都是ASML的客戶。但受《瓦森納協(xié)定》的制約,中國大陸沒有從ASML買來一臺(tái)EUV光刻機(jī)。
2021-01-21 08:56:185443

哈工大的史詩級(jí)成果:DPP-EUV光源

哈工大在國家急需時(shí)刻從不缺席,現(xiàn)在國家急需光刻機(jī)。哈工大的DPP-EUV光源出來,真的是史詩級(jí)成果,一流大學(xué)就應(yīng)該有世界頂尖水平,這是哈工大在超精密加工,超精密測(cè)量領(lǐng)域幾十年積累的結(jié)果! 中科院
2021-02-01 10:41:4731333

SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機(jī)

隨著半導(dǎo)體工藝進(jìn)入10nm節(jié)點(diǎn)以下,EUV光刻機(jī)成為制高點(diǎn),之前臺(tái)積電搶購了全球多數(shù)的EUV光刻機(jī),率先量產(chǎn)7nm、5nm工藝,現(xiàn)在內(nèi)存廠商也要入場(chǎng)了,SK海力士豪擲4.8萬億韓元搶購EUV光刻機(jī)。
2021-02-25 09:28:552324

廠商們“慌慌張張”,不過EUV幾臺(tái)

因此除了臺(tái)積電、三星及英特爾等晶圓廠爭(zhēng)搶EUV,后續(xù)包含美光、SK海力士也需要大量EUV設(shè)備。乘著5G普及的“順風(fēng)”,半導(dǎo)體微縮化需求逐步高漲,半導(dǎo)體廠家加速導(dǎo)入EUV,EUV設(shè)備成為炙手可熱的產(chǎn)品。
2021-05-18 09:49:512713

EUV光刻機(jī)何以造出5nm芯片

電子發(fā)燒友網(wǎng)報(bào)道(文/周凱揚(yáng))作為近乎壟斷的光刻機(jī)巨頭,ASML的EUV光刻機(jī)已經(jīng)在全球頂尖的晶圓廠中獲得了使用。無論是英特爾、臺(tái)積電還是三星,EUV光刻機(jī)的購置已經(jīng)是生產(chǎn)支出中很大的一筆,也成了
2021-12-07 14:01:1012038

關(guān)于EUV光刻機(jī)的缺貨問題

臺(tái)積電和三星從7nm工藝節(jié)點(diǎn)就開始應(yīng)用EUV光刻層了,并且在隨后的工藝迭代中,逐步增加半導(dǎo)體制造過程中的EUV光刻層數(shù)。
2022-05-13 14:43:203214

EUV照片源

先進(jìn)光刻工藝EUV相關(guān)知識(shí),適合對(duì)半導(dǎo)體工藝有興趣的人員,或者是從事光刻工藝的工程師
2022-06-13 14:48:231

HVM中用于光刻的EUV源:歷史和前景

HVM中的EUV光刻 ?背景和歷史 ?使用NXE的EUV光刻:3400B ?EUV生成原理 ?EUV來源:架構(gòu) ?現(xiàn)場(chǎng)EUV源 ?電源展望 ?總結(jié)
2022-06-13 14:45:450

euv光刻機(jī)三大核心技術(shù) 哪些公司有euv光刻機(jī)

中國芯的進(jìn)步那是有目共睹,我國在光刻機(jī),特別是在EUV光刻機(jī)方面,更是不斷尋求填補(bǔ)空白的途徑。
2022-07-05 10:38:3518612

euv光刻機(jī)出現(xiàn)時(shí)間 ASML研發(fā)新一代EUV光刻機(jī)

EUV光刻機(jī)是在2018年開始出現(xiàn),并在2019年開始大量交付,而臺(tái)積電也是在2019年推出了7nm EUV工藝。
2022-07-07 09:48:445306

euv光刻機(jī)是哪個(gè)國家的

說到芯片,估計(jì)每個(gè)人都知道它是什么,但說到光刻,許多人可能不知道它是什么。光刻機(jī)是制造芯片的機(jī)器和設(shè)備。沒有光刻機(jī)的話,就無法生產(chǎn)芯片,因此每個(gè)人都知道光刻機(jī)對(duì)芯片制造業(yè)的重要性。那么euv光刻機(jī)
2022-07-10 11:42:278556

euv光刻機(jī)是干什么的

可以生產(chǎn)出納米尺寸更小、功能更強(qiáng)大的芯片。 小于5 nm的芯片晶片只能由EUV光刻機(jī)生產(chǎn)。 EUV光刻機(jī)有光源系統(tǒng)、光學(xué)鏡頭、雙工作臺(tái)系統(tǒng)三大核心技術(shù)。 目前,最先進(jìn)的光刻機(jī)是荷蘭ASML公司的EUV光刻機(jī)。預(yù)計(jì)在光路系統(tǒng)的幫助下,能
2022-07-10 14:35:067938

duv光刻機(jī)和euv光刻機(jī)區(qū)別是什么

目前,光刻機(jī)主要分為EUV光刻機(jī)和DUV光刻機(jī)。DUV是深紫外線,EUV是非常深的紫外線。DUV使用的是極紫外光刻技術(shù),EUV使用的是深紫外光刻技術(shù)。EUV為先進(jìn)工藝芯片光刻的發(fā)展方向。那么duv
2022-07-10 14:53:1087066

euv光刻機(jī)原理是什么

euv光刻機(jī)原理是什么 芯片生產(chǎn)的工具就是紫外光刻機(jī),是大規(guī)模集成電路生產(chǎn)的核心設(shè)備,對(duì)芯片技術(shù)有著決定性的影響。小于5 nm的芯片只能由EUV光刻機(jī)生產(chǎn)。那么euv光刻機(jī)原理是什么呢? EUV
2022-07-10 15:28:1018347

深度解析EUV光刻工藝技術(shù)

光刻是半導(dǎo)體工藝中最關(guān)鍵的步驟之一。EUV是當(dāng)今半導(dǎo)體行業(yè)最熱門的關(guān)鍵詞,也是光刻技術(shù)。為了更好地理解 EUV 是什么,讓我們仔細(xì)看看光刻技術(shù)。
2022-10-18 12:54:056458

EUV的壟斷終將結(jié)束 EUV***逐步走向“落末”

從出貨量的不斷增多,再到產(chǎn)品的更新?lián)Q代。ASML嘗到了EUV帶給他的紅利,但是ASML的首席技術(shù)官透露EUV即將走到盡頭,之后的技術(shù)可能根本實(shí)現(xiàn)不了。
2023-01-30 16:31:493020

淺談EUV光刻的基礎(chǔ)知識(shí) EUV光刻如何制造芯片?

大多數(shù)人沒有意識(shí)到芯片制造是國家經(jīng)濟(jì)的核心。通過閱讀您的書,EUV 的開發(fā)過程始于美國的英特爾,然后完全脫離了英特爾。一家荷蘭公司如何擁有這項(xiàng)關(guān)鍵的芯片制造技術(shù)?
2023-02-15 10:34:061465

國產(chǎn)***EUV與DUV的分類

DUV是深紫外線(Deep Ultraviolet Lithography),EUV是極深紫外線(Extreme Ultraviolet Lithography)。前者采用極紫外光刻技術(shù),后者采用深紫外光刻技術(shù)。
2023-03-20 14:23:2413751

EUV光刻技術(shù)優(yōu)勢(shì)及挑戰(zhàn)

EUV光刻技術(shù)仍被認(rèn)為是實(shí)現(xiàn)半導(dǎo)體行業(yè)持續(xù)創(chuàng)新的關(guān)鍵途徑。隨著技術(shù)的不斷發(fā)展和成熟,預(yù)計(jì)EUV光刻將在未來繼續(xù)推動(dòng)芯片制程的進(jìn)步。
2023-05-18 15:49:044249

ASML的EUV***研發(fā)歷程

asml是euv技術(shù)開發(fā)的領(lǐng)先者。asml公司是半導(dǎo)體領(lǐng)域光刻機(jī)生產(chǎn)企業(yè)的領(lǐng)頭羊,也是全球市場(chǎng)占有率最大的光刻機(jī)生產(chǎn)企業(yè)。2012年,asml推出了世界上第一個(gè)euv試制品,并于2016年推出了euv第一個(gè)商用顯卡制造機(jī)asmlnxe:3400b。
2023-06-08 09:37:555060

EUV***市場(chǎng):增長(zhǎng)趨勢(shì)、競(jìng)爭(zhēng)格局與前景展望

EUV(Extreme Ultraviolet)光刻機(jī)是一種高級(jí)光刻設(shè)備,用于半導(dǎo)體制造業(yè)中的微電子芯片生產(chǎn)。EUV光刻機(jī)是目前最先進(jìn)的光刻技術(shù)之一,它采用極端紫外光作為曝光光源,具有更短的波長(zhǎng)
2023-07-24 18:19:472366

EUV光刻市場(chǎng)高速增長(zhǎng),復(fù)合年增長(zhǎng)率21.8%

EUV掩膜,也稱為EUV掩?;?b class="flag-6" style="color: red">EUV光刻掩膜,對(duì)于極紫外光刻(EUVL)這種先進(jìn)光刻技術(shù)至關(guān)重要。EUV光刻是一種先進(jìn)技術(shù),用于制造具有更小特征尺寸和增強(qiáng)性能的下一代半導(dǎo)體器件。
2023-08-07 15:55:021237

高數(shù)值孔徑EUV的技術(shù)要求是什么

今年的大部分討論都集中在 EUV 的下一步發(fā)展以及高數(shù)值孔徑 EUV 的時(shí)間表和技術(shù)要求上。ASML戰(zhàn)略營銷高級(jí)總監(jiān)Michael Lercel表示,目標(biāo)是提高EUV的能源效率,以及他們下一代高數(shù)值孔徑EUV工具的開發(fā)狀況。
2023-08-11 11:25:251167

EUV光刻膠開發(fā)面臨哪些挑戰(zhàn)?

EUV光刻膠材料是光敏物質(zhì),當(dāng)受到EUV光子照射時(shí)會(huì)發(fā)生化學(xué)變化。這些材料在解決半導(dǎo)體制造中的各種挑戰(zhàn)方面發(fā)揮著關(guān)鍵作用,包括提高靈敏度、控制分辨率、減少線邊緣粗糙度(LER)、降低釋氣和提高熱穩(wěn)定性。
2023-09-11 11:58:421622

EUV薄膜容錯(cuò)成本高 成芯片良率的關(guān)鍵

近20年來,EUV光源、EUV掩模和EUV光刻膠一直是EUV光刻的三大技術(shù)挑戰(zhàn)。
2023-09-14 09:45:122263

什么是EUV光刻?EUV與DUV光刻的區(qū)別

EUV 光是指用于微芯片光刻的極紫外光,涉及在微芯片晶圓上涂上感光材料并小心地將其曝光。這會(huì)將圖案打印到晶圓上,用于微芯片設(shè)計(jì)過程中的后續(xù)步驟。
2023-10-30 12:22:555084

高數(shù)值孔徑 EUV技術(shù)路線圖

高數(shù)值孔徑EUV 今年的大部分討論都集中在EUV的下一步發(fā)展以及高數(shù)值孔徑EUV的時(shí)間表和技術(shù)要求上。ASML戰(zhàn)略營銷高級(jí)總監(jiān)Michael Lercel表示,其目標(biāo)是提高EUV的能源效率,以及下一代高數(shù)值孔徑EUV工具的發(fā)展?fàn)顩r。
2023-11-23 16:10:271573

ASML為什么能在EUV領(lǐng)域獲勝?

在討論ASML以及為何復(fù)制其技術(shù)如此具有挑戰(zhàn)性時(shí),分析通常集中在EUV機(jī)器的極端復(fù)雜性上,這歸因于競(jìng)爭(zhēng)對(duì)手復(fù)制它的難度。
2024-01-17 10:46:131105

日本大學(xué)研發(fā)出新極紫外(EUV)光刻技術(shù)

近日,日本沖繩科學(xué)技術(shù)大學(xué)院大學(xué)(OIST)發(fā)布了一項(xiàng)重大研究報(bào)告,宣布該校成功研發(fā)出一種突破性的極紫外(EUV)光刻技術(shù)。這一創(chuàng)新技術(shù)超越了當(dāng)前半導(dǎo)體制造業(yè)的標(biāo)準(zhǔn)界限,其設(shè)計(jì)的光刻設(shè)備能夠采用更小巧的EUV光源,并且功耗僅為傳統(tǒng)EUV光刻機(jī)的十分之一,從而實(shí)現(xiàn)了能源消耗的顯著降低。
2024-08-03 12:45:362296

日本首臺(tái)EUV光刻機(jī)就位

據(jù)日經(jīng)亞洲 12 月 19 日?qǐng)?bào)道,Rapidus 成為日本首家獲得極紫外 (EUV) 光刻設(shè)備的半導(dǎo)體公司,已經(jīng)開始在北海道芯片制造廠內(nèi)安裝極紫外光刻系統(tǒng)。 它將分四個(gè)階段進(jìn)行安裝,設(shè)備安裝預(yù)計(jì)在
2024-12-20 13:48:201498

清洗EUV掩膜版面臨哪些挑戰(zhàn)

本文簡(jiǎn)單介紹了極紫外光(EUV)掩膜版的相關(guān)知識(shí),包括其構(gòu)造與作用、清洗中的挑戰(zhàn)以及相關(guān)解決方案。
2024-12-27 09:26:161308

EUV光刻技術(shù)面臨新挑戰(zhàn)者

? EUV光刻有多強(qiáng)?目前來看,沒有EUV光刻,業(yè)界就無法制造7nm制程以下的芯片。EUV光刻機(jī)也是歷史上最復(fù)雜、最昂貴的機(jī)器之一。 EUV光刻有哪些瓶頸? EUV光刻技術(shù),存在很多難點(diǎn)。 1.1
2025-02-18 09:31:242258

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