據(jù)悉，德國通快Trumpf將與臺(tái)灣工業(yè)技術(shù)研究院展開合作，在中國臺(tái)灣臺(tái)南建立一個(gè)臺(tái)灣激光應(yīng)用中心。通快、臺(tái)灣工研院與臺(tái)灣機(jī)械公會(huì)的代表于昨日在臺(tái)北簽署一份諒解備忘錄，確立合作關(guān)系。

臺(tái)灣工研院成立于1973年，時(shí)任經(jīng)濟(jì)部長孫運(yùn)璿深信臺(tái)灣唯有擺脫勞力密集，轉(zhuǎn)向技術(shù)密集的工業(yè)，才能徹底讓臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)轉(zhuǎn)型、起飛。因此他將分散在各處的聯(lián)合工業(yè)研究院、聯(lián)合礦業(yè)研究院和金屬工業(yè)研究院合并，成立工業(yè)技術(shù)研究院。工研院不但是臺(tái)灣最大的產(chǎn)業(yè)技術(shù)研發(fā)機(jī)構(gòu)，更是開創(chuàng)臺(tái)灣半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的先鋒。自1980年起，陸續(xù)衍生了包括聯(lián)電、臺(tái)積電、臺(tái)灣光罩、世界先進(jìn)等半導(dǎo)體大廠，奠定了中國臺(tái)灣IC產(chǎn)業(yè)的地位。

工研院經(jīng)理Art Liao表示：“擬議的激光中心將令臺(tái)灣制造商能夠更方便地獲取激光組件，目前這些組件均需要進(jìn)口。我們可以把激光設(shè)備設(shè)想為一輛汽車，而由通快提供的激光源，就是最重要的發(fā)動(dòng)機(jī)。至于其他部件，工研院將提供相當(dāng)于汽車變速器的光學(xué)元件，制造商則只需要完成底盤建造。”

同時(shí)，他表示工研院雖然擁有制造光學(xué)元件的設(shè)施，但臺(tái)灣企業(yè)卻要依靠德國、英國和日本等國進(jìn)口的產(chǎn)品來進(jìn)行大規(guī)模生產(chǎn)。

Liao指出：“若臺(tái)積電制造的晶片是一塊蛋糕，我們就可以用激光把蛋糕切成小塊，然后再包裝出售，甚至可以在中間加上不同的配料?！?/p>

臺(tái)灣機(jī)械公會(huì)董事長Alex Ko表示，獲得高端激光資源將有望催生大量新應(yīng)用，并為臺(tái)灣產(chǎn)業(yè)帶來巨大的推動(dòng)力。Ko說道：“起初，我們計(jì)劃會(huì)將激光應(yīng)用到切割、測(cè)量和3D打印等，但后來我們意識(shí)到精密切割在半導(dǎo)體工業(yè)中的應(yīng)用是巨大的。我們有點(diǎn)落后了，必須要想辦法縮小差距。對(duì)于半導(dǎo)體行業(yè)來說，一臺(tái)激光切割機(jī)相當(dāng)于我們出口的100多種產(chǎn)品。想像一下，要是這些激光切割機(jī)都能在臺(tái)灣生產(chǎn)，然后再出口到世界各地？”

臺(tái)灣經(jīng)濟(jì)部長王美花去年9月曾去德國通快總部參觀，她表示通快是世界三大激光源制造商之一，也是荷蘭半導(dǎo)體設(shè)備制造商ASML的主要供應(yīng)商，持有EUV光刻系統(tǒng)，將成為臺(tái)灣激光設(shè)備工業(yè)發(fā)展的強(qiáng)大戰(zhàn)略合作伙伴。

近年來依靠著與荷蘭企業(yè)ASML在EUV光刻技術(shù)上的合作，荷蘭逐漸反超中國成為通快第三大市場(chǎng)。與此同時(shí)，為了應(yīng)對(duì)世界經(jīng)濟(jì)低迷現(xiàn)狀，通快致力于開拓市場(chǎng)以提振業(yè)績，荷蘭就是一個(gè)很明顯的例子。而由于中國大陸地區(qū)激光市場(chǎng)競(jìng)爭日益激烈，通快也開始將目光瞄到激光產(chǎn)業(yè)尚未完全成熟的中國臺(tái)灣地區(qū)。在19／20年財(cái)報(bào)中，通快透露目前只有EUV光刻機(jī)和電子等少數(shù)幾個(gè)業(yè)務(wù)領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)了銷售增長。很顯然，半導(dǎo)體行業(yè)正是通快所要瞄準(zhǔn)的業(yè)務(wù)。

而除了ASML，臺(tái)積電也是半導(dǎo)體行業(yè)里舉足輕重的企業(yè)。在不久前，ASML也剛才決定在臺(tái)灣設(shè)立培訓(xùn)首個(gè)海外培訓(xùn)中心，指導(dǎo)臺(tái)積電芯片工程師如何使用EUV光刻機(jī)。據(jù)《亞洲日經(jīng)評(píng)論》報(bào)道，ASML計(jì)劃于今年出貨的35臺(tái)EUV設(shè)備中，有20臺(tái)將交付給臺(tái)積電。讓更多臺(tái)積電員工熟悉EUV設(shè)備，也有利于ASML日后的產(chǎn)品銷售。

既然叫做光刻機(jī)，光源就是光刻機(jī)的核心之一。為了強(qiáng)化光刻技術(shù)，ASML于2012年收購全球知名準(zhǔn)分子激光器廠商Cymer，以加強(qiáng)光刻機(jī)光源設(shè)備及技術(shù)；三年后的2015年，ASML向通快訂購了15臺(tái)EUV光刻工具。自那以后，通快開始布局用于光刻技術(shù)的極紫外激光器，16年財(cái)報(bào)至今，每年均強(qiáng)調(diào)EUV業(yè)務(wù)為通快集團(tuán)業(yè)務(wù)作出了重大貢獻(xiàn)，近兩年通快更是指出只有EUV和電子產(chǎn)品業(yè)務(wù)實(shí)現(xiàn)了逆勢(shì)增長。2017年，通快宣布成功收購大通激光85％的股權(quán)，后者建立早期專注研發(fā)CO2激光器，利用在定制激光器方面的強(qiáng)大知識(shí)，于2012年成為EUV市場(chǎng)的核心供應(yīng)商。在收購后，通快迅速加強(qiáng)EUV相關(guān)設(shè)備研發(fā)，一舉成為ASML EUV光刻機(jī)光源的獨(dú)門供應(yīng)商。

王美花表示此次通快于中國臺(tái)灣設(shè)立激光應(yīng)用中心，將強(qiáng)化臺(tái)南激光社群發(fā)展，為臺(tái)灣激光設(shè)備產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來新機(jī)遇。同時(shí)，有了這個(gè)激光應(yīng)用中心，將能夠極大方便臺(tái)灣制造商，大大提升半導(dǎo)體廠商制造效率——由于在半導(dǎo)體后段封裝制程當(dāng)中，如何盡可能不損壞晶粒，完成晶圓切割，激光器的好壞將直接影響加工品質(zhì)。但是高端激光器成本很高，廠商財(cái)務(wù)負(fù)擔(dān)大，而且如果要測(cè)試開發(fā)需要國外原廠配合，往往會(huì)與國外廠商在一來一往當(dāng)中喪失商機(jī)。

今年6月，中國臺(tái)灣出臺(tái)了一項(xiàng)100億新臺(tái)幣（合3.34億美元）補(bǔ)貼計(jì)劃，以吸引全球芯片廠商增加在臺(tái)灣的投資，并承諾，如果有半導(dǎo)體公司在臺(tái)灣新建工廠，政府將承擔(dān)企業(yè)高達(dá)一半的研發(fā)成本。雖然通快并非半導(dǎo)體企業(yè)，但由于中國臺(tái)灣是全球最大的EUV安裝地區(qū)，作為ASML EUV光源的供應(yīng)商，在臺(tái)灣地區(qū)拓展業(yè)務(wù)，相信對(duì)企業(yè)和臺(tái)灣地區(qū)來說，都是一個(gè)雙贏的局面。

在當(dāng)前中國大陸、德國、印度和美國等國家及地區(qū)都在努力擴(kuò)增電子元件資源時(shí)，中國臺(tái)灣在技術(shù)復(fù)雜性方面的研究具有明顯優(yōu)勢(shì)，而隨著與ASML、通快進(jìn)一步的緊密合作，這份優(yōu)勢(shì)可能還會(huì)保持下去。
責(zé)編AJX