據(jù)悉，德國通快Trumpf將與臺灣工業(yè)技術研究院展開合作，在中國臺灣臺南建立一個臺灣激光應用中心。通快、臺灣工研院與臺灣機械公會的代表于昨日在臺北簽署一份諒解備忘錄，確立合作關系。

臺灣工研院成立于1973年，時任經(jīng)濟部長孫運璿深信臺灣唯有擺脫勞力密集，轉向技術密集的工業(yè)，才能徹底讓臺灣經(jīng)濟轉型、起飛。因此他將分散在各處的聯(lián)合工業(yè)研究院、聯(lián)合礦業(yè)研究院和金屬工業(yè)研究院合并，成立工業(yè)技術研究院。工研院不但是臺灣最大的產(chǎn)業(yè)技術研發(fā)機構，更是開創(chuàng)臺灣半導體產(chǎn)業(yè)的先鋒。自1980年起，陸續(xù)衍生了包括聯(lián)電、臺積電、臺灣光罩、世界先進等半導體大廠，奠定了中國臺灣IC產(chǎn)業(yè)的地位。

工研院經(jīng)理Art Liao表示：“擬議的激光中心將令臺灣制造商能夠更方便地獲取激光組件，目前這些組件均需要進口。我們可以把激光設備設想為一輛汽車，而由通快提供的激光源，就是最重要的發(fā)動機。至于其他部件，工研院將提供相當于汽車變速器的光學元件，制造商則只需要完成底盤建造?！?/p>

同時，他表示工研院雖然擁有制造光學元件的設施，但臺灣企業(yè)卻要依靠德國、英國和日本等國進口的產(chǎn)品來進行大規(guī)模生產(chǎn)。

Liao指出：“若臺積電制造的晶片是一塊蛋糕，我們就可以用激光把蛋糕切成小塊，然后再包裝出售，甚至可以在中間加上不同的配料。”

臺灣機械公會董事長Alex Ko表示，獲得高端激光資源將有望催生大量新應用，并為臺灣產(chǎn)業(yè)帶來巨大的推動力。Ko說道：“起初，我們計劃會將激光應用到切割、測量和3D打印等，但后來我們意識到精密切割在半導體工業(yè)中的應用是巨大的。我們有點落后了，必須要想辦法縮小差距。對于半導體行業(yè)來說，一臺激光切割機相當于我們出口的100多種產(chǎn)品。想像一下，要是這些激光切割機都能在臺灣生產(chǎn)，然后再出口到世界各地？”

臺灣經(jīng)濟部長王美花去年9月曾去德國通快總部參觀，她表示通快是世界三大激光源制造商之一，也是荷蘭半導體設備制造商ASML的主要供應商，持有EUV光刻系統(tǒng)，將成為臺灣激光設備工業(yè)發(fā)展的強大戰(zhàn)略合作伙伴。

近年來依靠著與荷蘭企業(yè)ASML在EUV光刻技術上的合作，荷蘭逐漸反超中國成為通快第三大市場。與此同時，為了應對世界經(jīng)濟低迷現(xiàn)狀，通快致力于開拓市場以提振業(yè)績，荷蘭就是一個很明顯的例子。而由于中國大陸地區(qū)激光市場競爭日益激烈，通快也開始將目光瞄到激光產(chǎn)業(yè)尚未完全成熟的中國臺灣地區(qū)。在19／20年財報中，通快透露目前只有EUV光刻機和電子等少數(shù)幾個業(yè)務領域實現(xiàn)了銷售增長。很顯然，半導體行業(yè)正是通快所要瞄準的業(yè)務。

而除了ASML，臺積電也是半導體行業(yè)里舉足輕重的企業(yè)。在不久前，ASML也剛才決定在臺灣設立培訓首個海外培訓中心，指導臺積電芯片工程師如何使用EUV光刻機。據(jù)《亞洲日經(jīng)評論》報道，ASML計劃于今年出貨的35臺EUV設備中，有20臺將交付給臺積電。讓更多臺積電員工熟悉EUV設備，也有利于ASML日后的產(chǎn)品銷售。

既然叫做光刻機，光源就是光刻機的核心之一。為了強化光刻技術，ASML于2012年收購全球知名準分子激光器廠商Cymer，以加強光刻機光源設備及技術；三年后的2015年，ASML向通快訂購了15臺EUV光刻工具。自那以后，通快開始布局用于光刻技術的極紫外激光器，16年財報至今，每年均強調(diào)EUV業(yè)務為通快集團業(yè)務作出了重大貢獻，近兩年通快更是指出只有EUV和電子產(chǎn)品業(yè)務實現(xiàn)了逆勢增長。2017年，通快宣布成功收購大通激光85％的股權，后者建立早期專注研發(fā)CO2激光器，利用在定制激光器方面的強大知識，于2012年成為EUV市場的核心供應商。在收購后，通快迅速加強EUV相關設備研發(fā)，一舉成為ASML EUV光刻機光源的獨門供應商。

王美花表示此次通快于中國臺灣設立激光應用中心，將強化臺南激光社群發(fā)展，為臺灣激光設備產(chǎn)業(yè)發(fā)展帶來新機遇。同時，有了這個激光應用中心，將能夠極大方便臺灣制造商，大大提升半導體廠商制造效率——由于在半導體后段封裝制程當中，如何盡可能不損壞晶粒，完成晶圓切割，激光器的好壞將直接影響加工品質。但是高端激光器成本很高，廠商財務負擔大，而且如果要測試開發(fā)需要國外原廠配合，往往會與國外廠商在一來一往當中喪失商機。

今年6月，中國臺灣出臺了一項100億新臺幣（合3.34億美元）補貼計劃，以吸引全球芯片廠商增加在臺灣的投資，并承諾，如果有半導體公司在臺灣新建工廠，政府將承擔企業(yè)高達一半的研發(fā)成本。雖然通快并非半導體企業(yè)，但由于中國臺灣是全球最大的EUV安裝地區(qū)，作為ASML EUV光源的供應商，在臺灣地區(qū)拓展業(yè)務，相信對企業(yè)和臺灣地區(qū)來說，都是一個雙贏的局面。

在當前中國大陸、德國、印度和美國等國家及地區(qū)都在努力擴增電子元件資源時，中國臺灣在技術復雜性方面的研究具有明顯優(yōu)勢，而隨著與ASML、通快進一步的緊密合作，這份優(yōu)勢可能還會保持下去。
責編AJX