先進制造領域863課題“汽車電子穩(wěn)定程序（ESP）微傳感器及系統(tǒng)”針對汽車電子應用需求，對MEMS陀螺儀和加速度傳感器的結構進行了優(yōu)化設計，開發(fā)出了基于體硅SOI和圓片級封裝工藝的低成本MEMS微陀螺和微加速度計芯片。
2013-04-22 10:24:01
1587 據麥姆斯咨詢報道，近期，來自南京理工大學的研究人員于《新型工業(yè)化》期刊發(fā)表綜述文章，總結了體微加工技術和表面微加工常用的MEMS加工工藝的原理、加工方法及應用，并基于目前的加工技術與應用現狀對MEMS加工工藝的未來發(fā)展進行了展望。
2022-11-30 09:19:582087 使用熱氧化工藝來微調一維或二維硅結構而生產出來。熱氧化在硅納米線的制造中具有特殊價值，硅納米線被廣泛用作機械和電子組件的MEMS系統(tǒng)。高深寬比（HAR）硅微加工體硅和表面硅微加工都用于傳感器，噴墨噴嘴和其他
2021-01-05 10:33:12
電系統(tǒng)（MEMS），在歐洲也被稱為微系統(tǒng)技術，或在日本被稱為微機械，是一類器件，其特點是尺寸很小，制造方式特殊。MEMS器件的特征長度從1毫米到1微米——1微米可是要比人們頭發(fā)的直徑小很多。 MEMS
2018-11-07 11:00:01
元件抵消了可能出現的衍射效率損失，并且保持系統(tǒng)亮度。制造工藝的進步將對系統(tǒng)對比度的影響降到了最低。Pico投影技術變得越來越小、越來越亮，并且功效越來越高，從而在小外形尺寸產品中實現了創(chuàng)新型高清投影
2018-09-06 14:58:52
和控制電路、直至接口、通信和電源等集成于一塊或多塊芯片上的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。MEMS是用傳統(tǒng)的半導體工藝和材料，以半導體制造技術為
2016-12-09 17:46:21
的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是采用微電子和微機械加工技術制造出來的新型傳感器。MEMS是用傳統(tǒng)的半導體工藝和材料，以半導體制造技術為基礎發(fā)展起來的一種先進的制造技術，學科交叉現象極其明顯，主要
2018-11-12 10:51:35
MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystems)是微機電系統(tǒng)的縮寫，MEMS技術建立在微米/納米基礎上，是對微米/納米材料進行設計、加工、制造、測量和控制的技術，完整的MEMS是由微傳感器、微執(zhí)行器、信號處理和控制電路、通訊接口和電源等部件組成的一體化的微型器件系統(tǒng)。
2019-09-29 09:34:52
器件或系統(tǒng)。MEMS是隨著半導體集成電路微細加工技術和超精密機械加工技術的發(fā)展而發(fā)展起來的，目前MEMS加工技術還被廣泛應用于微流控芯片與合成生物學等領域，從而進行生物化學等實驗室技術流程的芯片集成化
2018-09-07 15:24:09
MEMS磁傳感器的時間?！ ?.2 MEMS磁傳感器制作 通常，MEMS磁場傳感器的制造可以采用體或表面微加工工藝來實現。由于硅具有很好的機械和電學性質而被用來作為其主要加工材料，例如，硅具有最小
2018-11-09 10:38:15
儀器設備、微流控芯片技術培訓、微流控芯片配件耗材等。1.微流控芯片加工汶顥股份具有雄厚的微流控芯片加工能力，保持國內芯片加工領域領先地位，配置了先進的軟刻蝕有機芯片加工系統(tǒng)、光刻-掩膜無機芯片加工系統(tǒng)
2018-06-22 15:59:44
微電子封裝及微連接技術.pdf
2012-08-19 08:30:33
通過基于微電子機械系統(tǒng)(MICRO ELECTRO MECHANICAL SYSTEM, MEMS)的加速傳感器和陀螺儀的設計，MEMS技術已經廣泛應用于導航和游戲軟件領域;但是，微型電磁式感應器技術正越來越多地應用于醫(yī)療領域。
2020-04-20 06:13:27
,Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅
2016-08-04 15:08:50
微電子機械系統(tǒng)不僅能夠采集、處理與發(fā)送信息或指令，還能夠按照所獲取的信息自主地或根據外部的指令采取行動。它用微電子技術和微加工技術(包括硅體微加工、硅表面微加工、LIGA和晶片鍵合等技術)相結合的制造
2017-04-06 14:22:11
腔體對齊的精確位置制造光學組件。硅微加工和 MEMS 加工技術都非常適合此類應用，從而能夠創(chuàng)建可以塑造或引導光束的復雜微結構。先前已經開發(fā)出硅體微加工技術并且通常使用多種不同的蝕刻來進行，其中
2021-07-19 11:03:23
什么是RF MEMS？有哪些關鍵技術與器件？微電子機械系統(tǒng)(MicroElectroMechanicalSystem)，簡稱MEMS，是以微電子技術為基礎而興起發(fā)展的，以硅、砷化鎵、藍寶石等為襯底
2019-08-01 06:17:43
, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技
2017-10-09 14:07:25
將微結構的圖形投影于結構層之上的光刻膠。第五步通過刻蝕工藝制備出結構層，然后通過化學腐蝕工藝釋放結構層之下的犧牲層，得到最終的懸臂式微結構。圖.8 表面微加工技術的工藝步驟MEMS器件的驅動
2020-05-12 17:27:14
微電子三級封裝是什么？新型微電子封裝技術介紹
2021-04-23 06:01:30
關于超短脈沖激光微加工技術你想知道的都在這
2021-06-15 09:31:20
當前MEMS技術在傳感器領域已得到廣泛應用并取得了巨大成功。使用硅基微機械加工方法制作的微傳感器不僅體積小，成本低，機械牲好，并且能方便地與IC集成。形成復雜的微系統(tǒng)。
2011-03-22 17:44:34
表面微加工是一種用來構建硅機電結構的技術。 結合板載信號調理電路，可將完整的機電系統(tǒng)經濟高效地構建在單個硅片上。 用于汽車安全氣囊的加速度計是第一款成功商用的表面微加工傳感器。 此后，人們往各個領域
2018-10-15 10:33:54
微型全分析系統(tǒng)的概念由Manz于20世紀90年代初提出，是集進樣、樣品處理、分離檢測為一體的微型檢測和分析系統(tǒng)。微流控芯片是其主要部件，采用微電子機械系統(tǒng)技術集成了微管道、微電極等多種功能元器件。微
2019-08-20 08:31:44
微機電系統(tǒng)(MEMS)感測器制造技術邁入新里程碑。意法半導體(ST)宣布成功結合面型微加工(Surface-micromachining)和體型微加工(Bulk-micromachining)制程
2020-05-05 06:36:14
繼推出硅基MEMS麥克風芯片后，蘇州敏芯微電子技術有限公司日前又推出了1.4mm×1.4mm×0.7mm外形尺寸MEMS絕對壓力傳感器芯片，主要針對量程為15PSI的高度表市場，并已開始提供樣品
2018-11-01 17:16:10
靈動微電子基于arm Cortex-M系列內核開發(fā)的MM32 MCU產品擁有F/L/SPIN/W/P五大系列，200多個型號規(guī)格，累計交付近億顆MCU，在本土通用32位MCU公司中位居前列。靈動微
2020-12-15 07:00:21
`深圳市三佛科技有限公司 供應 芯茂微_芯茂微電子_芯茂微AC-DC電源管理芯片，是芯茂微代理商深圳市芯茂微電子坐落于深圳羅湖，是一家從事高性能模擬及數?；旌霞呻娐吩O計的企業(yè)。公司主要聚焦在
2020-06-07 22:35:19
中生長犧牲層。這些都需要制膜工藝來完成。制膜的方法有很多，如蒸鍍、濺射等物理氣相淀積法、化學氣相淀積法以及外延和氧化等。其中CVD是微電子加工技術中最常用的薄膜制作技術之一，它是在受控氣相條件下，通過
2018-11-05 15:42:42
靈敏度。 具有陣列性?？梢栽谝粔K芯片上集成敏感元件、放大電路和補償線路?？梢园讯鄠€相同的敏感元件集成在同一芯片上；具有良好的兼容性,便于與微電子器件集成與封裝。 利用成熟的硅微半導體工藝加工制造,可以批量生產,成本非常低廉。
2019-07-24 07:13:29
微機電系統(tǒng)（MEMS）技術是通過使用先進的微制造技術將機械器件、傳感器和電子組件部署在單個硅基板上而實現。如今，這些技術已經逐漸取代了汽車市場各種車型使用的大部分傳感裝置，并帶來系統(tǒng)在降低成本、持續(xù)可靠性（由于固有的穩(wěn)健性）、空間利用（由于其緊湊的尺寸）以及工作性能等方面相當大的設計優(yōu)勢。
2019-08-02 06:35:04
,Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械
2016-07-27 11:46:44
雷射微加工技術:半導體技術在20 世紀獨領風騷，帶動了電子計算機相關產業(yè)的蓬勃發(fā)展。而未來脫穎而出的將是另一嶄新領域─ ─ 微機電技術(Micro-Electro-Mechanical-System, MEMS)
2008-11-01 14:54:41
18 微電子機械系統(tǒng)(MEMS ———Micro Electro Mechanical Systems) ,是指運用微電子加工技術和微機械加工技術,在較小的物理尺寸上,集成了微機械元件,微傳感器,微機械執(zhí)行器,微電子元件、電路
2009-07-11 14:54:5512 微加工系統(tǒng)設計與控制課程內容介紹1.主要目的: a.在于培育學生微加工系統(tǒng)各項模塊組件組成、設計、感測原理與機電接口控制技術。 b.了解
2010-03-20 16:36:440 MEMS是融合了硅微加工,LIGA和精密機械加工等多種加工技術,并應用現代信息技術構成的微型系統(tǒng).
2010-11-15 20:23:0256 創(chuàng)建靈敏的MEMS結構的工藝技術介紹
表面微加工技術可用于創(chuàng)建微機電傳感器及激勵器系統(tǒng)，它能夠通過高適應度的彈性，形成錨
2010-03-11 14:20:49931 蘇州敏芯微電子成功研發(fā)面向 MEMS 微硅傳感器制程的 SENSA 工藝。敏芯目前已經將此工藝應用于公司生產的微硅壓力傳感芯片 MSP 系列產品中
2011-04-28 09:05:351922 MEMS表面微機械加工工藝是指所有工藝都是在圓片表面進行的 MEMS 制造工藝。表面微加工中，采用低壓化學氣相淀積(LPCVD)這一類方法來獲得作為結構單元的薄膜。表面微加工工藝采用若
2011-11-01 11:45:2312755 本文重點描述運用MEMS微機械加工工藝技術設計、加工、生產胎壓傳感器IC芯片，希望對大家學習MEMS有所幫助
2012-12-11 14:17:268619 微機電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-MechanicSystem）是一種先進的制造技術平臺。它是以半導體制造技術為基礎發(fā)展起來的。MEMS更側重于超精密機械加工，并要涉及微電子、材料、力學、化學、機械學諸多學科領域。
2013-01-22 16:50:122930 微機械加工工藝分為硅基加工和非硅基加工。下面主要介紹體加工工藝、硅表面微機械加工技術、結合加工、逐次加工。
2013-01-30 13:53:5211582 
微機電系統(tǒng)（MEMS， Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕
2017-06-01 15:19:4713 甚至納米量級，是一個獨立的智能系統(tǒng)。微機電系統(tǒng)是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。微機電系統(tǒng)是集微傳感器、微執(zhí)行器、微機械結構、微電源微能源、信號
2017-09-14 09:43:436 激光微加工技術具有非接觸、加工材料范圍廣、精度高、重復率高、熱影響區(qū)域小、形狀與尺寸加工柔性高等優(yōu)點，廣泛應用于微機械、微電子器件、醫(yī)療器械、航空精密制造等領域。目前，研究超短脈沖激光的微加工
2017-10-25 11:38:1114 電子集成微系統(tǒng)技術是微電子技術和系統(tǒng)技術發(fā)展到新歷史階段的必然結果，也是應用創(chuàng)新與技術創(chuàng)新融合發(fā)展的典范。電子集成微系統(tǒng)概念自上世紀九十年代出現以來，就以其強大的生命力強力推動專業(yè)整合和產業(yè)融合，被
2017-11-28 15:51:522 納米量級，是一個獨立的智能系統(tǒng)。它是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來的，融合了光刻、腐蝕、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密機械加工等技術制作的高科技電子機械器件。
2018-04-02 11:34:399069 
本文首先介紹了微流控芯片的發(fā)展，其次介紹了微流控芯片的原理與特點，最后詳細介紹了微流控芯片加工技術。
2018-05-10 16:27:5211268 
微電子機械系統(tǒng)(MEMS)技術利用IC加工技術實現微納米尺度加工，在加工精度、加工手段、EDA(計算機輔助設計)等方面具有先天優(yōu)勢，因此石英晶體技術與MEMS技術的結合成為必然趨勢。
2018-05-24 17:29:439419 
微全分析系統(tǒng)的概念是在1990年首欠由瑞士Ciba2Geigy公司的Manz與Widmer提出的，當時主要強調了分析系統(tǒng)的微與全，及微管道網絡的MEMS加工方法，而并未明確其外型特征。次年Manz等即在平板微芯片上實現了毛細管電泳與流動。
2018-09-05 09:44:008156 2015年開始，以集成微系統(tǒng)任務需求為牽引，通過問題定位、技術分解，確立了基于PZT材料的MEMS微執(zhí)行器研究，目前取得的研究進展包括以下幾個方面：壓電 MEMS 多自由度微振動臺技術、MEMS慣性傳感器自標定技術、MEMS壓電微馬達技術與PZT材料與微執(zhí)行器長期穩(wěn)定性研究。
2018-09-05 15:49:565212 MEMS（微機電系統(tǒng)）是一門綜合學科，其涉及微加工技術、機械學、電子學等等。MEMS器件的大小從1毫米到1微米不等，其主要優(yōu)點是體積小、重量輕、功耗低、可靠性高、靈敏度高、易于集成等，是微型傳感器
2019-07-22 10:56:015533 MEMS技術基于已經是相當成熟的微電子技術、集成電路技術及其加工工藝。它與傳統(tǒng)的IC工藝有許多相似之處，如光刻、薄膜沉積、摻雜、刻蝕、化學機械拋光工藝等，但是有些復雜的微結構難以用IC工藝實現，必須采用微加工技術制造。
2019-12-25 10:03:093236 微電子機械系統(tǒng)（MicroElectroMechanicalSystem），簡稱MEMS，是以微電子技術為基礎而興起發(fā)展的，以硅、砷化鎵、藍寶石等為襯底材料，將常規(guī)集成電路工藝和微機械加工獨有的特殊
2020-09-18 10:45:000 MEMS全稱為微型電子機械系統(tǒng)（Micro-Electro-MechanicalSystem），是在微電子技術（半導體制造技術）基礎上發(fā)展起來，融合了微電子加工工藝和精密機械加工等技術制作的微米級電子機械器件。
2020-07-14 11:51:162637 
MEMS器件利用半導體加工技術來制造三維機械結構，三種最常用的MEMS制造技術包括體微加工（Bulk Micro Machining）、表面微加工（Surface Micro Machining）和LIGA。
2020-07-29 17:42:588760 MEMS被認為是21世紀最有前途的技術之一，如果半導體微制造被視為第一次微制造革命，MEMS則是第二次革命。通過結合硅基微電子技術和微機械加工技術，MEMS具有革命性的工業(yè)和消費產品的潛力。
2020-08-25 09:49:076134 加工領域的應用也越來越廣泛。日常生活中，激光微加工工藝隨處可見，電子產品打標、電器外殼標記、食品藥品生產日期的標記、消費電子微加工、手機金屬外殼的切割、 焊接都有激光微加工工藝的身影，另外，激光加工也應用于
2021-02-14 09:25:005651 MEMS表面微機械加工工藝是指所有工藝都是在圓片表面進行的MEMS制造工藝。表面微加工中，采用低壓化學氣相淀積（LPCVD）這一類方法來獲得作為結構單元的薄膜。表面微加工工藝采用若干淀積層來制作結構
2021-02-11 17:38:0010409 （Micro-Electro-Mechanical Systems）稱為微機電系統(tǒng)，或微電子和微機電系統(tǒng)，是為利用機械手段實現特定功能而建造的小型化結構和設備。MEMS最早是在1960年代提出的，但是直到1980年代才商業(yè)化。其實在現實生活中MEMS技術實際離普通人很近，它包括MEMS麥克風，微馬達，me
2021-02-20 11:05:317595 中心占地面積1000平方米，擁有凈化面積達500平方米的4英寸MEMS工藝線，配置了國際一流的微納加工、測試、封裝設備，具備硅基MEMS矢量水聽器、MEMS壓阻式壓力傳感器、MEMS加速度計、熱電堆紅外探測器等全套工藝加工能力
2021-04-06 11:06:235719 MEMS工藝——半導體制造技術說明。
2021-04-08 09:30:41252 摘要 MEMS已被認為是最有前途的技術之一。在21世紀，它具有革命性的工業(yè)和結合以硅為基礎的微電子產品微加工技術。它的技術和微系統(tǒng)電子設備有可能極大地影響我們的生活。本文介紹了微機電系統(tǒng)文章全部詳情
2023-04-24 09:21:001098 、通信等于一體的微型器件或系統(tǒng)。而MEMS傳感器就是在微電子和微機械加工技術基礎上，根據各種需求結合電子、機械、材料、物理學、化學、生物學、醫(yī)學等多種學科與技術制造出來的新型傳感器。
2022-06-08 11:33:2810565 贊助商廣告展示 原文標題：MEMS芯片制造工藝流程詳解 文章出處：【微信公眾號：今日半導體】歡迎添加關注！文章轉載請注明出處。 ? ? ? 審核編輯：彭靜
2022-07-11 16:20:187553 今天，長電科技旗下“長電微電子晶圓級微系統(tǒng)集成高端制造項目”在長電科技江陰城東新廠區(qū)正式開工。無錫市、江陰市主要領導出席開工儀式，并為項目奠基。
2022-07-30 10:09:312553 所以以微電子、光電子、微機電系統(tǒng)(MEMS)為基礎，結合體系架構和算法，運用微納系統(tǒng)工程方法，將傳感、通信、處理、執(zhí)行、微能源等功能單元，在微納尺度上采用異構、異質等方法集成在一起的微型系統(tǒng)。
2022-08-01 10:01:278735 委常委、江陰市委書記許峰,長電科技董事、首席執(zhí)行長鄭力分別致辭。 “長電微電子晶圓級微系統(tǒng)集成高端制造項目”是長電科技進一步整合全球高端技術資源,瞄準芯片成品制造尖端領域,提升客戶服務能力的重大戰(zhàn)略舉措。該項目總投資100億元,未
2022-08-01 15:03:532292 
玻璃和硅微流控芯片是通過采用一些著名的微機電系統(tǒng)（MEMS）和半導體技術制造的。光刻或電子束光刻、薄膜沉積、干濕蝕刻、晶圓鍵合和激光加工等工藝通常用于制造像 Sensera， Inc. 這樣的微晶圓廠代工廠的微流體器件。
2022-11-30 16:10:14928 
MEMS制造工藝可以在微小的生物芯片中加工微納米級別的泵、閥、管道、容器等，將生物傳感器的復雜功能集成內置在芯片中，同時可以實現生物芯片的高靈敏度、高準確性、微創(chuàng)應用及低成本、大批量生產。
2023-01-13 11:01:053024 。 MEMS制造工藝可以在微小的生物芯片中加工微納米級別的泵、閥、管道、容器等，將生物傳感器的復雜功能集成內置在芯片中，同時可以實現生物芯片的高靈敏度、高準確性、微創(chuàng)應用及低成本、大批量生產。 自2020年9月通線以來，賽微電子北京FAB3產線已經成功
2023-01-14 01:18:051520 隨著微加工技術的發(fā)展，基于MEMS微橋結構技術制造的微測輻射熱計器件，具備與半導體讀出電路單芯片集成并實現大規(guī)模生產的能力，逐漸成為非制冷紅外探測器的主流制造技術。
2023-02-21 17:10:223606 印刷電子是利用打印的方法制造電子產品的新興技術，滿足了新一代電子產品柔性與個性化的特征需求，將為微電子行業(yè)帶來新的技術革命。
2023-03-17 12:41:381481 隨著微電子技術的飛速發(fā)展，微電子機械系統(tǒng)（MEMS）逐漸成為眾多領域的研究熱點。MEMS器件在諸如傳感器、執(zhí)行器等方面表現出卓越的性能，但要實現這些優(yōu)越特性，對其封裝結構和制造工藝要求極高。本文將詳細介紹MEMS器件真空封裝結構及其制造工藝。
2023-04-21 14:18:183884 
多個區(qū)域。項目建成后，可擁有年產60億顆高端先進封裝芯片的生產能力。 長電科技旗下“長電微電子晶圓級微系統(tǒng)集成高端制造項目”未來產品將集中在高密度晶圓級技術和高密度倒裝技術相結合的微系統(tǒng)集成應用，屬于高性能封測領域。
2023-06-28 14:47:551290 
微納加工技術是先進制造的前沿技術，但是受到基礎裝備、工藝技術、行業(yè)基礎等多方面影響，中國的超精密加工技術與應用與世界先進水平之間仍有巨大差距。為解決微型零件加工需求，速科德創(chuàng)新研發(fā)了超高精密設備KASITE-SKD系列微納加工中心，加工余量范圍20nm-100μm。
2023-07-18 14:11:052375 
1 乘風智能制造，MEMS傳感器工藝逐漸成熟 什么是MEMS 微機電系統(tǒng)（MEMS, Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微電子機械系統(tǒng)、微系統(tǒng)、微機械等，指尺
2023-08-02 08:40:041170 
- mechanical systems）的縮寫，即微電子機械系統(tǒng)（簡稱微機電系統(tǒng)）通過工藝為客戶制造的MEMS微振鏡完成了少量試生產階段。
2023-09-14 14:46:291798 了國內外微系統(tǒng)技術的現狀和發(fā)展趨勢，其技術創(chuàng)新點在于多功能芯片一體化、智能傳感、異質集成、堆疊式系統(tǒng)級封裝技術的突破和新型半導體材料的應用;文末總結了微系統(tǒng)技術發(fā)展的意義，并提出展望。?微系統(tǒng)技術融合了微電子、微
2023-10-11 17:54:273563 
賽微電子深入mems微系統(tǒng)領域，2015年在創(chuàng)業(yè)板上市，主要從事導航業(yè)務和航空電子業(yè)務。2016年收購了mems委托生產領域龍頭企業(yè)silex的股份，同年計劃在北京建設fab38英寸mems量產工廠。
2023-10-30 09:41:451792 MEMS傳感器是當今最炙手可熱的傳感器制造技術，也是傳感器小型化、智能化的重要推動了，MEMS技術促進了傳感器的極大發(fā)展。 MEMS主要采用微電子技術，在微納米的體積下塑造傳感器的機械結構。本文以
2023-11-02 08:37:093152 
自20世紀中期以來，微電子技術及其加工工藝得到迅速的發(fā)展。在此基礎上，微機械加工技術 (Micromachining Technology），特別是針對微型傳感器與微型執(zhí)行器的研究也取得顯著的進步
2023-11-14 09:25:033805 
激光微納加工技術利用激光脈沖與材料的非線性作用，可以<100nm精度實現傳統(tǒng)方法難以實現的復雜功能結構和器件的增材制造。而激光直寫（DLW）光刻是一項具有空間三維加工能力的微納加工技術，在微納集成器件制造中發(fā)揮著重要作用。
2023-12-22 10:34:203391 
微納制造技術是利用激光的高能量、高聚焦性和高定位精度，通過控制激光束的能量和位置，對材料進行加工、切割、成型等操作的技術。激光微納制造技術主要包括激光光刻、激光切割和激光打印等多種方法。 激光光刻是利用激光束
2024-09-13 06:22:121274 MEMS傳感器基本構成MEMS被認為是21世紀最有前途的技術之一，如果半導體微制造被視為第一次微制造革命，MEMS則是第二次革命。通過結合硅基微電子技術和微機械加工技術，MEMS具有革命性的工業(yè)
2024-09-24 08:07:481488 
特殊工藝(如高溫鍵合、濺射、電鍍等)形成金屬導電層(通常為銅箔)，并經激光蝕刻、鉆孔等微加工技術制成精密電路的電子封裝核心材料。它兼具陶瓷的優(yōu)異物理特性和金屬的導電能力，是高端功率電子器件的關鍵載體。下面我們將通過基本原理及特性、工藝對比、工藝價值等方向進行拓展。
2025-06-20 09:09:451531 在高端制造領域，激光微加工技術正發(fā)揮著日益重要的作用。從半導體、3C電子，到新能源、醫(yī)療器械，精密、高效的激光解決方案，已成為提升設備性能和生產效率的關鍵。 伴隨制造業(yè)的不斷升級，微米級加工需求隨之
2025-08-07 17:16:26710 
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工商網監(jiān)
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