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電子發(fā)燒友網(wǎng)>制造/封裝>RCA清潔變量對(duì)顆粒去除效率的影響

RCA清潔變量對(duì)顆粒去除效率的影響

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2022-03-25 17:01:255482

過(guò)氧化氫在SC1清潔方案中的作用說(shuō)明

介紹 RCA標(biāo)準(zhǔn)清潔,在去除硅表面污染方面非常有效。RCA清潔包括兩個(gè)順序步驟:標(biāo)準(zhǔn)清潔1(SC-1)和標(biāo)準(zhǔn)清潔2(SC-2)。SC-1溶液由氫氧化銨、過(guò)氧化氫和水的混合物組成,是迄今為止發(fā)現(xiàn)的最有
2022-03-25 17:02:504271

濕臺(tái)清洗中顆粒去除的新概念

對(duì)于亞微米或深亞微米 ULSI 的制造,完全抑制在硅晶片表面產(chǎn)生的顆粒和污染非常重要。清潔需求的傳統(tǒng)概念是使用化學(xué)成分(APM、氨和過(guò)氧化氫混合物)發(fā)揮主要作用。不幸的是,SC-1 (APM) 對(duì)表
2022-03-30 14:29:42816

基于單分散液滴撞擊的顆粒清潔技術(shù)

處理納米級(jí)顆粒污染仍然是半導(dǎo)體器件制造過(guò)程中的主要挑戰(zhàn)之一。對(duì)于越來(lái)越多的關(guān)鍵處理步驟而言尤其如此,在這些步驟中,需要去除顆粒物質(zhì)的殘留物而不會(huì)對(duì)敏感器件圖案造成機(jī)械損壞,同時(shí)實(shí)現(xiàn)盡可能低的基板損失
2022-03-31 14:59:40694

如何成功地清除來(lái)自晶片表面的顆粒污染

為了成功地清除來(lái)自晶片表面的顆粒污染,有必要了解顆粒與接觸的基底之間的附著力和變形,變形亞微米顆粒的粘附和去除機(jī)理在以往的許多研究中尚未得到闡明。亞微米聚苯乙烯乳膠顆粒(0.1-0.5mm)沉積
2022-04-06 16:53:501787

濕法和顆粒去除工藝的簡(jiǎn)要概述

過(guò)程的內(nèi)在能力和局限性。已經(jīng)確定了三種顆粒去除過(guò)程——能夠去除所有顆粒尺寸和類型的通用過(guò)程,甚至來(lái)自圖案晶片,具有相同理論能力但實(shí)際上受到粒子可及性的限制,最后是無(wú)法去除所有顆粒尺寸的清洗。 通過(guò)計(jì)算施加給細(xì)顆粒
2022-04-08 17:22:531958

濕法和顆粒去除工藝詳解

能力和局限性。已經(jīng)確定了三種顆粒去除過(guò)程——能夠去除所有顆粒尺寸和類型的通用過(guò)程,甚至來(lái)自圖案晶片,具有相同理論能力但實(shí)際上受到粒子可及性的限制,最后是無(wú)法去除所有顆粒尺寸的清洗。
2022-04-11 16:48:421429

半導(dǎo)體制造工藝中澆口蝕刻后的感光膜去除方法

通過(guò)使半導(dǎo)體制造工藝中澆口蝕刻后生成的聚合物去除順暢,可以簡(jiǎn)化后處理序列,從而縮短前工藝處理時(shí)間,上述感光膜去除方法是:在工藝室內(nèi)晶片被抬起的情況下,用CF4+O2等離子體去除聚合物的步驟;將晶片安放在板上,然后用O2等離子體去除感光膜的步驟;和RCA清洗步驟。
2022-04-11 17:02:431567

一種澆口蝕刻后的感光膜去除方法

本發(fā)明涉及一種感光膜去除方法,通過(guò)使半導(dǎo)體制造工藝中澆口蝕刻后生成的聚合物去除順暢,可以簡(jiǎn)化后處理序列,從而縮短前工藝處理時(shí)間,上述感光膜去除方法是:在工藝室內(nèi)晶片被抬起的情況下,用CF4+O2等離子體去除聚合物的步驟; 將晶片安放在板上,然后用O2等離子體去除感光膜的步驟; 和RCA清洗步驟。
2022-04-12 16:30:26856

IPA和超純水混合溶液中晶圓干燥和污染物顆粒去除的影響

引言 半導(dǎo)體制造過(guò)程中,在每個(gè)過(guò)程前后實(shí)施的清洗過(guò)程約占整個(gè)過(guò)程的30%,是重要的過(guò)程之一。特別是以RCA清潔為基礎(chǔ)的濕式清潔工藝,除了化學(xué)液的過(guò)度使用、設(shè)備的巨大化、廢水造成的環(huán)境污染等問(wèn)題外
2022-04-13 16:47:472260

用于硅晶圓的全新RCA清洗技術(shù)

RCA清洗技術(shù)是用于清洗硅晶圓等的技術(shù),由于其高可靠性,30多年來(lái)一直被用于半導(dǎo)體和平板顯示器(FPD)領(lǐng)域的清洗。其基礎(chǔ)是以除去顆粒為目的的氨水-過(guò)氧化氫溶液組成的SC―1洗滌和以除去金屬雜質(zhì)為
2022-04-21 12:26:572394

EGEE、NMP和THFA的微粒去除和基底損傷性能

的結(jié)果,顯示顆粒去除效率的晶片,清潔性能的順序是水> NMP > EGEE > THFA,在晶片中心觀察到較高的清洗效率,這主要是由于實(shí)驗(yàn)部分中描述的工藝配方幾何因素,根據(jù)這些幾何因素,可以計(jì)算出局部噴霧暴露時(shí)間,作為徑向位置的函數(shù),R(方程式1)。
2022-05-07 13:46:481203

采用臨界粒子雷諾數(shù)方法去除晶圓表面的粘附顆粒

化學(xué)機(jī)械平面化后的葉片清洗,特別是刷子擦洗,是半導(dǎo)體器件制造的一個(gè)關(guān)鍵步驟,尚未得到充分了解。臨界粒子雷諾數(shù)方法用于評(píng)估在刷擦洗過(guò)程中去除晶圓表面的粘附顆粒,或者是否必須發(fā)生刷-粒子接觸??紤]了直徑
2022-05-07 15:48:382539

稀釋SC1過(guò)程中使用兆聲波來(lái)增強(qiáng)顆粒去除效率

,相反氫氧化銨會(huì)慢慢腐蝕這種化學(xué)生長(zhǎng)的氧化物,這兩個(gè)過(guò)程的結(jié)果是化學(xué)氧化層將不斷產(chǎn)生和去除。因此顆粒通過(guò)這種蝕刻和底切作用被去除,顆粒去除效率可以通過(guò)增加二氧化硅的蝕刻速率來(lái)增加。
2022-05-18 17:12:591455

晶片表面沉積氮化硅顆粒的沉積技術(shù)

評(píng)估各種清洗技術(shù)的典型方法是在晶片表面沉積氮化硅(Si,N4)顆粒,然后通過(guò)所需的清洗工藝處理晶片。國(guó)家半導(dǎo)體技術(shù)路線圖規(guī)定了從硅片上去除顆粒百分比的標(biāo)準(zhǔn)挑戰(zhàn),該挑戰(zhàn)基于添加到硅片上的“>
2022-05-25 17:11:382023

柵極氧化物形成前的清洗

半導(dǎo)體器件制造中涉及的一個(gè)步驟是在進(jìn)一步的處理步驟,例如,在形成柵極氧化物之前。進(jìn)行這種清洗是為了去除顆粒污染物、有機(jī)物和/或金屬以及任何天然氧化物,這兩者都會(huì)干擾后續(xù)處理。特別是清潔不充分是對(duì)柵極
2022-06-21 17:07:392771

單晶片背面和斜面清潔(上)

介紹 在IC制造中,從晶圓背面(BS)去除顆粒變得與從正面(FS)去除顆粒一樣重要。例如,在光刻過(guò)程中,; BS顆粒會(huì)導(dǎo)致頂側(cè)表面形貌的變化。由于焦深(DOF)的處理窗口減小,這可能導(dǎo)致焦點(diǎn)故障
2022-06-27 18:54:411626

基于晶圓鍵合的三維集成應(yīng)用中的高效單片清洗

本文描述了我們?nèi)A林科納單晶片超電子清洗方法的開(kāi)發(fā)、測(cè)試和驗(yàn)證,該傳感器設(shè)計(jì)滿足極端顆粒中性、顆粒去除效率(PRE)和生產(chǎn)規(guī)模晶片粘合的可重復(fù)性要求,以及其他需要極低顆粒水平的應(yīng)用。不同的微電子過(guò)程
2022-06-28 17:25:041401

濕法清洗中去除硅片表面的顆粒

用半導(dǎo)體制造中的清洗過(guò)程中使用的酸和堿溶液研究了硅片表面的顆粒去除
2022-07-05 17:20:172988

RCA清洗中晶片表面的顆粒粘附和去除

溶液中顆粒和晶片表面之間發(fā)生的基本相互作用是范德華力(分子相互作用)和靜電力(雙電層的相互作用)。近年來(lái),與符合上述兩種作用的溶液中的晶片表面上的顆粒粘附機(jī)制相關(guān)的研究蓬勃發(fā)展,并為闡明顆粒粘附機(jī)制做了大量工作。
2022-07-13 17:18:442382

RCA清潔變量對(duì)顆粒去除的影響

集成設(shè)備制造的縮小圖案要求濕化學(xué)加工的表面清潔度和表面光滑度,特別是對(duì)于常見(jiàn)的清潔技術(shù)RCA清潔(SC-1和SC-2)。本文討論了表面制備參數(shù)的特性和影響。
2023-05-06 14:25:041432

用紫外線/臭氧源對(duì)硅表面進(jìn)行簡(jiǎn)單的清潔和調(diào)節(jié)

由于成本優(yōu)化工藝是光伏行業(yè)的主要目標(biāo),簡(jiǎn)單的、具有內(nèi)聯(lián)能力的清潔可以替代成本和時(shí)間密集型的濕化學(xué)清潔方法,如來(lái)自微電子應(yīng)用的RCA清潔。
2023-05-06 11:06:401715

顆粒管控產(chǎn)品在航天零部件中的應(yīng)用

中特計(jì)量檢測(cè)研究院的顆粒管控業(yè)務(wù)群為中國(guó)航天事業(yè)添磚加瓦,顆粒管控業(yè)務(wù)群技術(shù)及產(chǎn)品遍布航天飛行器的各個(gè)研制單位,代表其新技術(shù)、新產(chǎn)品的工業(yè)4.0清潔管控系統(tǒng),可以對(duì)各類液體的顆粒度、清潔度、污染物進(jìn)行管理、控制、監(jiān)測(cè)和分析;
2022-07-29 10:20:251398

電解液顆粒管控為什么不用激光粒度儀

是粒子粒徑的大小和數(shù)量的多少。從這一點(diǎn)來(lái)看,顆粒計(jì)數(shù)器在液體清潔度判定里更占優(yōu)勢(shì),通過(guò)粒子的大小和數(shù)量的多少參照標(biāo)準(zhǔn)來(lái)判定液樣的清潔程度,從而給產(chǎn)線提供符合標(biāo)準(zhǔn)的
2023-01-03 15:45:371256

通過(guò)檢測(cè)金剛石線鋸硅片表面顆粒負(fù)荷來(lái)評(píng)價(jià)清洗工藝的新方法

高效硅太陽(yáng)能電池的加工在很大程度上取決于高幾何質(zhì)量和較低污染的硅晶片的可用性。在晶圓加工結(jié)束時(shí),有必要去除晶圓表面的潛在污染物,例如有機(jī)物、金屬和顆粒。當(dāng)前的工業(yè)晶圓加工過(guò)程包括兩個(gè)清潔步驟。第一個(gè)
2023-11-01 17:05:58774

在濕臺(tái)工藝中使用RCA清洗技術(shù)

半導(dǎo)體制造業(yè)依賴復(fù)雜而精確的工藝來(lái)制造我們需要的電子元件。其中一個(gè)過(guò)程是晶圓清洗,這個(gè)是去除硅晶圓表面不需要的顆粒或殘留物的過(guò)程,否則可能會(huì)損害產(chǎn)品質(zhì)量或可靠性。RCA清洗技術(shù)能有效去除硅晶圓表面的有機(jī)和無(wú)機(jī)污染物,是一項(xiàng)標(biāo)準(zhǔn)的晶圓清洗工藝。
2023-12-07 13:19:141633

rca輸出是低電平還是高電平

RCA輸出(也稱為RCA插座或RCA連接器)通常指的是一種用于音頻和視頻信號(hào)傳輸?shù)耐S電纜連接器。RCA連接器有多種類型,包括用于音頻的單聲道RCA(如紅色和白色插頭)和用于視頻的復(fù)合視頻RCA
2024-10-17 11:01:503879

rca音頻輸出是直接喇叭嗎

RCA音頻輸出,也被稱為“蓮花插頭”或“視頻音頻插頭”,是一種廣泛使用的模擬音頻和視頻信號(hào)傳輸接口。RCA音頻輸出并不是直接連接到喇叭的,而是需要通過(guò)一個(gè)中間設(shè)備來(lái)轉(zhuǎn)換信號(hào),以便喇叭能夠播放
2024-10-17 11:05:448803

rca輸出和平衡輸出有什么區(qū)別

RCA輸出和平衡輸出是兩種不同的音頻信號(hào)傳輸方式,它們?cè)谝糍|(zhì)、抗干擾能力、連接方式等方面存在一些區(qū)別。 RCA輸出和平衡輸出的區(qū)別 在音頻設(shè)備的世界里,RCA輸出和平衡輸出是兩種常見(jiàn)的信號(hào)傳輸方式
2024-10-17 11:07:5412074

去除晶圓表面顆粒的原因及方法

本文簡(jiǎn)單介去除晶圓表面顆粒的原因及方法。   在12寸(300毫米)晶圓廠中,清洗是一個(gè)至關(guān)重要的工序。晶圓廠會(huì)購(gòu)買(mǎi)大量的高純度濕化學(xué)品如硫酸,鹽酸,雙氧水,氨水,氫氟酸等用于清洗。
2024-11-11 09:40:022294

RCA清洗機(jī)配置設(shè)置有哪些

RCA清洗機(jī)是一種用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中的濕法清洗設(shè)備,主要用于去除晶圓表面的有機(jī)和無(wú)機(jī)污染物。雖然知道它的重要性,但是大家也好奇,這臺(tái)機(jī)器配置設(shè)置是什么樣的? RCA清洗機(jī)配置設(shè)置參數(shù)詳解 主要
2024-11-11 10:44:261302

RCA接口的定義和應(yīng)用

RCA接口,全稱為Radio Corporation Of America接口,因其外觀類似蓮花,俗稱蓮花插座或AV接口。以下是對(duì)RCA接口的定義和應(yīng)用的介紹: 一、定義 RCA接口是一種音視頻接線
2025-02-17 15:25:1510893

如何連接RCA接口的設(shè)備

連接RCA接口的設(shè)備通常涉及將音頻和視頻信號(hào)從一個(gè)設(shè)備傳輸?shù)搅硪粋€(gè)設(shè)備。以下是一些具體的步驟和注意事項(xiàng),幫助您正確連接RCA接口的設(shè)備: 一、準(zhǔn)備工具和材料 RCA同軸線纜:這種線纜通常具有紅、白
2025-02-17 15:30:503665

RCA接口的常見(jiàn)故障及解決方法

RCA接口在音視頻設(shè)備連接中廣泛應(yīng)用,但也存在一些常見(jiàn)的故障。以下是對(duì)RCA接口常見(jiàn)故障及解決方法的介紹: 一、常見(jiàn)故障 接觸不良 : RCA接口由于插拔次數(shù)過(guò)多或接口內(nèi)部彈性片磨損,可能導(dǎo)致
2025-02-17 15:33:032691

RCA接口音視頻傳輸?shù)脑?/a>

RCA接口連接電視和音響的方法

使用RCA接口連接電視和音響的方法相對(duì)簡(jiǎn)單,以下是詳細(xì)的步驟: 一、準(zhǔn)備工具和材料 RCA音頻線:這種線纜通常具有紅、白兩個(gè)插頭,紅色插頭用于傳輸右聲道音頻信號(hào),白色插頭用于傳輸左聲道音頻
2025-02-17 15:39:125575

RCA接口在音頻設(shè)備中的應(yīng)用

RCA接口在音頻設(shè)備中的應(yīng)用非常廣泛,其歷史可以追溯到近一個(gè)世紀(jì)以前,最初是由美國(guó)無(wú)線電公司(RCA)開(kāi)發(fā)并命名的。以下是對(duì)RCA接口在音頻設(shè)備中應(yīng)用的分析: 一、應(yīng)用背景與特點(diǎn) 應(yīng)用背景
2025-02-17 15:42:113612

RCA接口適用哪些設(shè)備

RCA接口,因其廣泛的兼容性和易用性,被應(yīng)用于多種音視頻設(shè)備中。以下是一些常見(jiàn)的適用設(shè)備: 一、音頻設(shè)備 音響系統(tǒng) : RCA接口常用于連接功放、接收器與音頻源設(shè)備(如CD播放器、MP3播放器、手機(jī)
2025-02-17 15:46:592266

RCA接口的種類與特點(diǎn)

RCA接口,全稱為Radio Corporation of America接口,因其發(fā)明者美國(guó)無(wú)線電公司而得名,俗稱蓮花插座,又叫AV端子、AV接口。以下是對(duì)RCA接口種類與特點(diǎn)的分析: 一、種類
2025-02-17 15:50:015454

RCA接口與標(biāo)清和高清信號(hào)的關(guān)系

RCA接口與標(biāo)清和高清信號(hào)的關(guān)系主要體現(xiàn)在其傳輸能力和應(yīng)用場(chǎng)景上。 一、RCA接口的傳輸能力 標(biāo)清信號(hào)傳輸 : RCA接口最初設(shè)計(jì)用于傳輸模擬信號(hào),包括標(biāo)清視頻和音頻信號(hào)。在標(biāo)清視頻傳輸方面,RCA
2025-02-17 15:52:441356

RCA接口使用注意事項(xiàng)

使用RCA接口時(shí),需要注意以下幾點(diǎn): 一、接口識(shí)別與匹配 顏色識(shí)別 : RCA接口通常有紅、白(或黑)、黃三種顏色,分別代表右聲道、左聲道和復(fù)合視頻信號(hào)。在連接時(shí),要確保插頭與插孔的顏色相匹配,以避
2025-02-17 15:55:351842

RCA接口的優(yōu)缺點(diǎn)分析

RCA接口的優(yōu)缺點(diǎn)分析如下: 優(yōu)點(diǎn) 兼容性強(qiáng) : RCA接口廣泛應(yīng)用于各種音視頻設(shè)備,包括電視機(jī)、音響系統(tǒng)、DVD播放器、游戲機(jī)等。這種廣泛的兼容性使得用戶能夠輕松地將不同品牌、不同型號(hào)的設(shè)備
2025-02-17 15:57:493369

RCA接口在專業(yè)音頻領(lǐng)域的應(yīng)用

RCA接口在專業(yè)音頻領(lǐng)域有著廣泛的應(yīng)用,以下是對(duì)其應(yīng)用分析: 一、接口特點(diǎn)與優(yōu)勢(shì) 模擬音頻傳輸 : RCA接口最初是為模擬音頻信號(hào)設(shè)計(jì)的,它采用同軸傳輸信號(hào)的方式,中軸用于傳輸信號(hào),外沿一圈的接觸層
2025-02-17 16:01:132792

RCA接口轉(zhuǎn)換為其他接口的方案

RCA接口轉(zhuǎn)換為其他接口的方案多種多樣,具體取決于需要轉(zhuǎn)換的目標(biāo)接口類型以及應(yīng)用場(chǎng)景。以下是一些常見(jiàn)的轉(zhuǎn)換方案: 1. RCA轉(zhuǎn)3.5毫米接口 應(yīng)用場(chǎng)景 :常用于將老式音頻設(shè)備(如CD播放器、磁帶機(jī)
2025-02-17 16:52:372497

超聲波除油清洗設(shè)備是否可以有效去除難以清潔的油漬?

可以解決這個(gè)問(wèn)題——超聲波除油清洗設(shè)備。這種設(shè)備利用高頻超聲波振動(dòng)技術(shù),能夠高效、徹底地去除難以清潔的油漬。接下來(lái),我們將詳細(xì)探討超聲波除油清洗設(shè)備的工作原理和優(yōu)
2025-04-23 16:48:06846

半導(dǎo)體rca清洗都有什么藥液

半導(dǎo)體RCA清洗工藝中使用的主要藥液包括以下幾種,每種均針對(duì)特定類型的污染物設(shè)計(jì),并通過(guò)化學(xué)反應(yīng)實(shí)現(xiàn)高效清潔:SC-1(堿性清洗液)成分組成:由氫氧化銨(NH?OH)、過(guò)氧化氫(H?O?)和去離子水
2025-09-11 11:19:131330

汽車(chē)零部件“技術(shù)清潔度”定義全流程指南

01引言什么是清潔組件?如何評(píng)估組件的清潔度等級(jí)?何時(shí)認(rèn)為組件受到嚴(yán)重污染?這些問(wèn)題長(zhǎng)期以來(lái)一直是機(jī)械零件制造中的問(wèn)題。什么是清潔組件?隨著電子組件變得越來(lái)越小,這個(gè)問(wèn)題變得越來(lái)越重要,因?yàn)榻饘?b class="flag-6" style="color: red">顆粒可能導(dǎo)致短路,非金屬顆粒可能
2025-09-16 08:20:00511

晶圓去除污染物有哪些措施

中產(chǎn)生空化效應(yīng),形成微小氣泡破裂時(shí)釋放的能量可剝離晶圓表面的顆粒物和有機(jī)膜層。該方法對(duì)去除光刻膠殘?jiān)葹橛行?,且能穿透?fù)雜結(jié)構(gòu)如溝槽和通孔進(jìn)行深度清潔。高壓噴淋沖洗
2025-10-09 13:46:43476

如何提高RCA清洗的效率

在半導(dǎo)體制造中,RCA清洗作為核心工藝,其效率提升需從化學(xué)、物理及設(shè)備多維度優(yōu)化。以下是基于技術(shù)文獻(xiàn)的系統(tǒng)性策略: 一、化學(xué)體系精準(zhǔn)調(diào)控 螯合劑強(qiáng)化金屬去除 在SC-1/SC-2溶液中添加草酸等
2025-11-12 13:59:59283

革新半導(dǎo)體清洗工藝:RCA濕法設(shè)備助力高良率芯片制造

、核心化學(xué)品、常見(jiàn)問(wèn)題及創(chuàng)新解決方案等維度,解析RCA濕法設(shè)備如何為晶圓表面凈化提供全周期保障。 一、RCA濕法設(shè)備核心工藝流程 華林科納RCA清洗技術(shù)通過(guò)多步驟化學(xué)反應(yīng)的協(xié)同作用,系統(tǒng)清除晶圓表面的顆粒、有機(jī)物及金屬污染物
2025-12-24 10:39:08136

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