首批設(shè)備進(jìn)場(chǎng)！中科飛測(cè)橢偏膜厚量測(cè)儀正式搬入廈門士蘭集科

繼士蘭微電子12英寸特色工藝半導(dǎo)體芯片項(xiàng)目于5月10日宣布正式通電后，工藝設(shè)備也將開始陸續(xù)進(jìn)場(chǎng)。5月20日，深圳中科飛測(cè)科技有限公司（以下簡(jiǎn)稱“中科飛測(cè)”）橢偏膜厚量測(cè)儀作為首批設(shè)備，正式搬入廈門士蘭集科微電子有限公司（以下簡(jiǎn)稱“士蘭集科”）。

中科飛測(cè)是一家以在集成電路設(shè)備領(lǐng)域有多年經(jīng)驗(yàn)的研發(fā)和管理團(tuán)隊(duì)為核心，自主研發(fā)和生產(chǎn)工業(yè)智能檢測(cè)裝備的高科技創(chuàng)新企業(yè)。同時(shí)，中科飛測(cè)也是目前國(guó)內(nèi)唯一一家在Metrology（量測(cè)）和Inspection（缺陷檢測(cè)）兩大領(lǐng)域均在國(guó)內(nèi)一線半導(dǎo)體制造廠商取得批量訂單的半導(dǎo)體光學(xué)檢測(cè)設(shè)備供應(yīng)商。

士蘭集科由廈門半導(dǎo)體投資集團(tuán)有限公司與杭州士蘭微電子股份有限公司共同出資設(shè)立。根據(jù)規(guī)劃，士蘭集科將投資170億元在廈門海滄建設(shè)兩條12英寸特色工藝芯片生產(chǎn)線。

2018年10月18日，士蘭廈門12英寸特色工藝芯片生產(chǎn)線暨先進(jìn)化合物半導(dǎo)體生產(chǎn)線在廈門海滄動(dòng)工，這是國(guó)內(nèi)首條12英寸特色工藝芯片制造生產(chǎn)線和下一代化合物生產(chǎn)線。2020年5月10日，士蘭廈門12英寸特色工藝半導(dǎo)體芯片項(xiàng)目正式通電。隨著該項(xiàng)目的正式通電，工藝設(shè)備將從5月中旬陸續(xù)進(jìn)場(chǎng)，預(yù)計(jì)年底通線。