在現(xiàn)代工業(yè)與科研中，薄膜厚度是決定材料腐蝕性能、半導體器件特性以及光學與電學性質(zhì)的關(guān)鍵參數(shù)。精準測量此參數(shù)對于工藝優(yōu)化、功能材料理解及反向工程都至關(guān)重要。

其中，臺階儀通過直接測量薄膜與暴露基底之間的物理高度差，為實現(xiàn)厚膜層的簡單、直接測量提供了經(jīng)典方案。而光譜橢偏儀則利用光與薄膜相互作用的偏振態(tài)變化，兼具非破壞性、快速測量與提取材料光學常數(shù)的優(yōu)勢，成為表征透明與半透明薄膜層狀體系的重要光學技術(shù)。

因此，針對不同的材料特性和測量需求，選擇合適的技術(shù)至關(guān)重要。在「費曼儀器FlexFilm」，我們提供精準的膜厚測試，一站式解決您的薄膜材料表征需求，助力研發(fā)創(chuàng)新與品質(zhì)把控。

綜上所述，薄膜厚度的測量并無一種萬能的技術(shù)，而是需要根據(jù)薄膜的厚度范圍、光學特性、基底條件以及對樣品破壞性的容忍度等因素來綜合選擇。臺階儀提供了一種直接、可靠的物理高度測量方法，尤其適用于具有臺階結(jié)構(gòu)的樣品。而橢偏儀則能提供非接觸、無損且富含光學特性的測量，對于透明、半透明薄膜的多層結(jié)構(gòu)分析表現(xiàn)出色。實際應用中，需根據(jù)樣品的具體條件和測量需求來為特定的材料或應用尋找厚度測量解決方案。

Flexfilm探針式臺階儀

flexfilm

在半導體、光伏、LED、MEMS器件、材料等領(lǐng)域，表面臺階高度、膜厚的準確測量具有十分重要的價值，尤其是臺階高度是一個重要的參數(shù)，對各種薄膜臺階參數(shù)的精確、快速測定和控制，是保證材料質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率的重要手段。

• 配備500W像素高分辨率彩色攝像機
• 亞埃級分辨率，臺階高度重復性1nm
• 360°旋轉(zhuǎn)θ平臺結(jié)合Z軸升降平臺
• 超微力恒力傳感器保證無接觸損傷精準測量

費曼儀器作為國內(nèi)領(lǐng)先的薄膜厚度測量技術(shù)解決方案提供商，Flexfilm探針式臺階儀可以對薄膜表面臺階高度、膜厚進行準確測量，保證材料質(zhì)量、提高生產(chǎn)效率。

原文參考：《COVALENT ACADEMY Industrial Applications of Advanced Metrology Episode 42》

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