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基于AI的GaN外延片

石飛鵬 ? 來源:CZM陳先生123 ? 作者:CZM陳先生123 ? 2022-07-29 18:19 ? 次閱讀
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GaN是一種寬帶隙半導(dǎo)體,它允許器件在比硅更高的溫度和更高的電壓下工作。此外,GaN 更強(qiáng)的介電擊穿能力可以構(gòu)建更小,因此電阻更低的器件。具有較小電容的較小器件是由較低的特性Rds(on)產(chǎn)生的。IVWorks(韓國)利用基于深度學(xué)習(xí)人工智能 (AI) 外延技術(shù)制造氮化鎵 (GaN) 外延片,這是直流功率器件和 5G 通信設(shè)備的關(guān)鍵材料,已獲得 670 萬美元的 B 輪投資.

因此,IVWorks 現(xiàn)在已獲得總計(jì) 1000 萬美元的資金。三星旗下專業(yè)投資子公司三星風(fēng)險(xiǎn)投資參與了本輪種子輪后續(xù)投資,以及其他新投資者如KB Investment、KDB Bank和Dt & Investment。IVWorks 最近還完成了 1740 萬美元的 C 輪融資,因此總?cè)谫Y額為 2740 萬美元。

外延GaN晶圓具有高效率和高功率輸出的特點(diǎn),是用于功率和RF射頻)器件的基礎(chǔ)材料。它用于IT產(chǎn)品中的快速充電器、電動(dòng)汽車中的電源轉(zhuǎn)換器、5G基站和國防雷達(dá)。

“GaN具有高電子遷移率、高電流密度和高擊穿電壓特性,使得制造在高頻下工作的高效率、高輸出功率器件成為可能。與 Si、SiC 和 GaAs 材料相比,它更小、更快,并且具有更高的效率和更高的功率輸出。然而,GaN 在自支撐晶圓技術(shù)上尚未得到充分發(fā)展,與 Si SiC GaAs 不同,因此需要在異質(zhì)襯底(Si 或 SiC)上進(jìn)行 GaN 外延生長。雖然 Si 可以以低成本接收大直徑晶圓,但與 GaN 的晶格失配和熱膨脹系數(shù)差異很大,需要一種控制應(yīng)力和缺陷密度的技術(shù)。這些技術(shù)的實(shí)施給提高生產(chǎn)力帶來了困難。與 Si 相比,SiC晶格失配小,熱膨脹系數(shù)低,容易實(shí)現(xiàn)高質(zhì)量的GaN外延生長。由于 SiC 襯底的高價(jià)格,其應(yīng)用僅限于需要嚴(yán)格熱管理的大功率射頻設(shè)備,”IVWorks 總裁兼首席執(zhí)行官 Young-Kyun Noh 說。

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8英寸硅基氮化鎵

氮化鎵外延技術(shù)

IVWorks利用自有的高效環(huán)保外延系統(tǒng)技術(shù)和基于人工智能的生產(chǎn)平臺(tái),生產(chǎn)用于功率器件的6-8英寸GaN-Si外延片和用于射頻器件的4-6英寸GaN-SiC外延片。

“外延工藝是自下而上的納米技術(shù)領(lǐng)域,需要在原子層級(jí)精確控制晶體生長?!癉omm”系統(tǒng)可以通過在外延生長過程中在原子層級(jí)實(shí)時(shí)監(jiān)控晶體生長狀態(tài)并通過機(jī)器學(xué)習(xí)監(jiān)控?cái)?shù)據(jù)集來實(shí)時(shí)控制過程,從而最大限度地提高生產(chǎn)力,”Noh 說。

這些資金是通過新的投資籌集的,預(yù)計(jì)將用于擴(kuò)大制造能力和增強(qiáng)基于人工智能的制造平臺(tái)。近期的市場發(fā)展(如蘋果、三星、華為等IT產(chǎn)品中使用GaN快速充電器,以及GaN功率器件在電動(dòng)汽車車載充電器和電源轉(zhuǎn)換器中的擴(kuò)展)已在本輪融資中有所體現(xiàn)輪,表明公司有興趣保持差異化的技術(shù)專長,并專注于響應(yīng)市場需求的大規(guī)模增長。

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6 英寸 GaN on SiC

“這筆資金將用于擴(kuò)大產(chǎn)能和推進(jìn)自主開發(fā)的基于人工智能的生產(chǎn)平臺(tái)的開發(fā)。GaN外延片產(chǎn)量翻倍(4" GaN on SiC的產(chǎn)能為7800片/月或8" GaN on Si為2100片/月)。新建的Fab應(yīng)用AI生產(chǎn)平臺(tái)“Domm”Level 4,展示了“AI生產(chǎn)”階段。它的目標(biāo)是在 2023 年在韓國市場(KOSDAQ)上市,并計(jì)劃利用上市獲得的資金建立一個(gè)應(yīng)用 Domm 5 級(jí)(AI 制造)的全自動(dòng)智能工廠,”Noh 說。

據(jù) Noh 介紹,IVWorks si 目前正在生產(chǎn)具有競爭力的 4 英寸 SiC 上 GaN,并已完成 6 英寸原型開發(fā)。在 GaN on Si 的情況下,正在生產(chǎn) 8 英寸 GaN on Si。2022 年,12 英寸 GaN on Si 有望發(fā)布。

審核編輯 黃昊宇

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