動(dòng)態(tài)
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發(fā)布了文章 2022-07-12 14:56
劃片機(jī)：晶圓加工第四篇—刻蝕的兩種方法
刻蝕在晶圓上完成電路圖的光刻后，就要用刻蝕工藝來去除任何多余的氧化膜且只留下半導(dǎo)體電路圖。要做到這一點(diǎn)需要利用液體、氣體或等離子體來去除選定的多余部分?？涛g的方法主要分為兩種，取決于所使用的物質(zhì)：使用特定的化學(xué)溶液進(jìn)行化學(xué)反應(yīng)來去除氧化膜的濕法刻蝕，以及使用氣體或等離子體的干法刻蝕。1、濕法刻蝕使用化學(xué)溶液去除氧化膜的濕法刻蝕具有成本低、刻蝕速度快和生產(chǎn)率高3k瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2022-07-11 10:35
劃片機(jī)：晶圓加工第三篇—光刻技術(shù)分為三個(gè)步驟
光刻光刻是通過光線將電路圖案“印刷”到晶圓上，我們可以將其理解為在晶圓表面繪制半導(dǎo)體制造所需的平面圖。電路圖案的精細(xì)度越高，成品芯片的集成度就越高，必須通過先進(jìn)的光刻技術(shù)才能實(shí)現(xiàn)。具體來說，光刻可分為涂覆光刻膠、曝光和顯影三個(gè)步驟。1、涂覆光刻膠在晶圓上繪制電路的第一步是在氧化層上涂覆光刻膠。光刻膠通過改變化學(xué)性質(zhì)的方式讓晶圓成為“相紙”。晶圓表面的光刻膠層2.4k瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2022-07-09 13:45
劃片機(jī)：晶圓加工第二篇—關(guān)于晶圓氧化過程，這些變量會(huì)影響它的厚度
氧化氧化過程的作用是在晶圓表面形成保護(hù)膜。它可以保護(hù)晶圓不受化學(xué)雜質(zhì)影響、避免漏電流進(jìn)入電路、預(yù)防離子植入過程中的擴(kuò)散以及防止晶圓在刻蝕時(shí)滑脫。氧化過程的第一步是去除雜質(zhì)和污染物，需要通過四步去除有機(jī)物、金屬等雜質(zhì)及蒸發(fā)殘留的水分。清潔完成后就可以將晶圓置于800至1200攝氏度的高溫環(huán)境下，通過氧氣或蒸氣在晶圓表面的流動(dòng)形成二氧化硅（即“氧化物”）層。氧氣2.1k瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2022-07-08 10:58
劃片機(jī)：晶圓加工第一篇—所有半導(dǎo)體工藝都始于一粒沙子！
一、晶圓加工所有半導(dǎo)體工藝都始于一粒沙子！因?yàn)樯匙铀墓枋巧a(chǎn)晶圓所需要的原材料。晶圓是將硅(Si)或砷化鎵(GaAs)制成的單晶柱體切割形成的圓薄片。要提取高純度的硅材料需要用到硅砂，一種二氧化硅含量高達(dá)95%的特殊材料，也是制作晶圓的主要原材料。晶圓加工就是制作獲取上述晶圓的過程。1、鑄錠首先需將沙子加熱，分離其中的一氧化碳和硅，并不斷重復(fù)該過程直至獲1.1w瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2022-07-05 11:01
「陸芯半導(dǎo)體」精密劃片機(jī)在鉭酸鋰晶圓切割案例
鉭酸鋰是重要的多功能晶體材料，具有壓電、介電、熱電、電光效應(yīng)、非線性光學(xué)效應(yīng)和聲光效應(yīng)等重要特性。鉭酸鋰晶圓的主要原料是高純度氧化鉭和碳酸鋰，它們是制作微波聲學(xué)器件的良好材料。鉭酸鋰晶圓，鉭酸鋰的直徑為100±0.2mm，厚度為0.2～0.25mm。應(yīng)用：拋光LT芯片因其良好的機(jī)電耦合，廣泛用于制造諧振器、濾波器、傳感器等電子通信器件，尤其是高頻表面波器件，1.1w瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2022-06-28 14:10
6英寸劃片機(jī) 陸芯3252半自動(dòng)單軸晶圓切割機(jī)
公司創(chuàng)辦至今，一直將自主創(chuàng)新放在重要位置，并高度重視研發(fā)工作。2018年，國(guó)內(nèi)外主流6英寸劃片機(jī)一直采用同步帶、渦輪蝸桿等機(jī)械輔助傳動(dòng)轉(zhuǎn)臺(tái)方案。經(jīng)過數(shù)月的調(diào)查和不斷的試驗(yàn)，通過大量的數(shù)據(jù)積累和不斷的設(shè)計(jì)改進(jìn)，陸芯團(tuán)隊(duì)成功地攻克了直驅(qū)電機(jī)轉(zhuǎn)角結(jié)構(gòu)方案，使轉(zhuǎn)角定位精度及穩(wěn)定性大幅度提高，一舉達(dá)到國(guó)際先進(jìn)水平。在以公司精密劃片機(jī)型號(hào)LX-6366為代表（兼容6?11.1w瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2022-06-21 08:57
陸芯半導(dǎo)體-精密劃片機(jī)切割工藝案例應(yīng)用
陸芯精密劃片機(jī)設(shè)備有多種類型：LX32526英寸精密劃片機(jī)、LX335212英寸精密劃片機(jī)、LX33568-12英寸兼容精密劃片機(jī)、LX6366全自動(dòng)雙軸劃片機(jī)、LX6636全自動(dòng)單軸劃片機(jī)。晶圓劃片機(jī)切割應(yīng)用行業(yè)主要用于半導(dǎo)體晶圓、集成電路、QFN、發(fā)光二極管、miniLED、太陽能電池、電子基片等的劃切，適用于包括硅、石英、氧化鋁、氧化鐵、砷化鎵、鈮酸鋰1.2k瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2022-06-16 10:34
陸芯LX3352系列精密劃片機(jī)滿足各種劃切需求
陸芯LX3352系列精密劃片機(jī)滿足各種劃切需求可用于加工最大邊長(zhǎng)為300mm的方形工作物（特殊選配）。該設(shè)備標(biāo)準(zhǔn)配置了輸出功率為1.8kW的主軸，還將高扭矩主軸（2.2kW）作為特殊選配供用戶選擇，使用2.2kW主軸，可裝配58mm或定制切割刀片，旋轉(zhuǎn)軸采用DD馬達(dá)驅(qū)動(dòng)，采用進(jìn)口超高精密滾柱型導(dǎo)軌和研磨級(jí)絲桿，雙鏡頭自動(dòng)影像識(shí)別系統(tǒng)，能夠?qū)杌螂y加工材料進(jìn)行1w瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2022-06-13 09:25
陸芯半導(dǎo)體切割機(jī)：精密劃片機(jī)維護(hù)及保養(yǎng)
精密劃片機(jī)是一種高精密設(shè)備，精度的穩(wěn)定性、使用的安全性及可靠性都與工作的環(huán)境、維護(hù)保養(yǎng)息息相關(guān)。1.5k瀏覽量 -
發(fā)布了文章 2022-05-30 08:57
