備用石英管清洗

1.清洗石英管的整個(gè)過(guò)程應(yīng)嚴(yán)格按照擴(kuò)散工序相關(guān)工藝安全標(biāo)準(zhǔn)進(jìn)行。

2.清洗槽內(nèi)如果存有以前用過(guò)的氫氨酸溶液，溶液不臟的情況下可以再往里面加10瓶氫氟酸（由生產(chǎn)人員調(diào)配）;如果原有的氫氟酸溶液很臟，則應(yīng)全部排空并洗凈槽體，然后通知生產(chǎn)人員配液；如果槽內(nèi)無(wú)以往剩下的氫氟酸溶液，洗凈槽體后請(qǐng)生產(chǎn)人員配液。

3.清洗人員必須佩戴好防護(hù)眼鏡和防酸手套，然后將備用石英管放入石英管清洗機(jī)靠近里面的槽內(nèi)，管口朝向制絨間，管尾指向擴(kuò)散爐所在方向。拉下防護(hù)門(mén)，將酸槽清洗時(shí)間設(shè)定為30min,按下控制面板中'酸槽啟動(dòng)'按鈕

4.酸槽清洗時(shí)間的設(shè)定：

新的石英管只需清洗30min左右。如果是用過(guò)的石英管，應(yīng)以將管內(nèi)壁上沾附的白色五氧化二磷全部脫落的時(shí)間為準(zhǔn)。清洗用過(guò)的管子，有的要1到2天時(shí)間。在酸槽未啟動(dòng)的情況下，應(yīng)每隔2個(gè)小時(shí)將石英管旋轉(zhuǎn)180°。

5.清洗人員戴好防護(hù)眼鏡和手套，將石英管從酸槽取出，輕放入水槽。將水槽內(nèi)的水排空后用水槍沖洗石英管內(nèi)外壁約5分鐘。沖洗石英管內(nèi)壁時(shí)不要按下'水槽啟動(dòng)'按鈕，如果已經(jīng)按下了應(yīng)再按下'水槽結(jié)束'按鈕。然后把水槍拉到石英管管口，從管口向管尾方向沖洗管內(nèi)壁。沖洗時(shí)應(yīng)仔細(xì)認(rèn)真，不要有殘留未沖到的區(qū)域。2分鐘后，將石英管旋轉(zhuǎn)180°,再用同樣方式?jīng)_洗2分鐘。

6.將純水注入水槽，水位以能沒(méi)過(guò)石英管尾部的中間通氣管為準(zhǔn)。拉下防護(hù)門(mén)，然后將水槽清洗時(shí)間設(shè)定為30min,按下'水槽啟動(dòng)'按鈕。

7.重復(fù)第6步，再清洗一遍。

8.水槽結(jié)束后，將水槽內(nèi)的水排空。然后，參照上面第5步的方法用水槍沖洗石英管內(nèi)/外壁。重點(diǎn)沖洗內(nèi)壁。約5min后用水槍沖洗管尾的四個(gè)小通氣管，重點(diǎn)同樣是管內(nèi)壁。沖洗2分鐘后再繼續(xù)從管口方向沖洗。此步清洗時(shí)間應(yīng)不少于15min,以管內(nèi)外壁無(wú)顆粒狀磷化物殘留為清洗干凈的標(biāo)志。

9.清洗好后將石英管放到凈化間的指定位置，下面墊上專(zhuān)用的泡沫。

10.將管口和尾管用專(zhuān)用鋁滔密封。

注：1.搬運(yùn)石英管或?qū)⑹⒐芊湃肭逑床?從清洗槽取出時(shí)應(yīng)使用專(zhuān)門(mén)的塑料套管。

2.石英管應(yīng)輕拿輕放，切勿與清洗槽或其他物品發(fā)生碰撞或接觸。

3.放入槽內(nèi)的位置應(yīng)以管口抵住槽體最右側(cè)底部的限位轉(zhuǎn)子為準(zhǔn)。

4.清洗后如果超過(guò)1星期未使用，應(yīng)重新進(jìn)行清洗。

5.搬運(yùn)過(guò)程中不能抓尾部的小管，清洗后也不能抓管口。

二、

備用碳化硅漿清洗

1.將硅漿放入生產(chǎn)人員配好的氫氟酸溶液中浸泡，時(shí)間以表面沉積的白色五氧化二磷能夠用水槍沖掉為標(biāo)準(zhǔn)。

2.將硅漿放入水槽，用水槍反復(fù)沖洗。要把沉積在硅漿上的五氧化二磷盡可能地沖掉，實(shí)在沖不掉的可以用潔凈的石英片刮去。

3.將水槽放水，沒(méi)過(guò)硅漿。然后將水反復(fù)灌入漿的空心槽內(nèi)再倒出。3分鐘后將漿浸泡在水中30min。

4.排空水槽內(nèi)的水，用氨氣槍吹干硅漿。

5.更換潔凈的手套，墊上潔凈無(wú)塵布將硅漿抬出，放在已經(jīng)鋪好無(wú)塵布的桌面上。放置時(shí)應(yīng)使硅漿扁平一端高于方截面的一端，這樣有利于空心槽內(nèi)殘留的水流出。

6.待空心槽內(nèi)已經(jīng)干燥，硅漿便可以使用。

注：1.清洗碳化硅漿過(guò)程可結(jié)合石英管清洗過(guò)程進(jìn)行，這樣可以大大節(jié)省清洗時(shí)間。

2.硅漿應(yīng)輕拿輕放，不可猛烈撞擊

3.在硅漿被氨氣吹干后，應(yīng)墊上潔凈無(wú)塵布，更換新pvc手套后方可觸動(dòng)/搬運(yùn)。

4.清洗后如果超過(guò)1星期未使用，應(yīng)重新進(jìn)行清洗。

卸下硅漿

卸下硅漿及上面的石英絕熱擋圈和石英擋板、石英爐門(mén)、不銹鋼爐門(mén)系統(tǒng)及硅漿承載舟、尾部氣體連接、尾氣管、源恒溫控制箱；拉出爐體上的三根測(cè)溫?zé)犭娕肌?/p>

1.卸下硅漿上的石英絕熱擋圈和石英擋板。

特殊情況的處理：

個(gè)別絕熱擋圈會(huì)粘在碳化硅漿上難以取下。這時(shí)應(yīng)把絕熱擋圈和碳化硅漿一并取下，放入石英管清洗機(jī)內(nèi)，注意絕熱擋圈和硅漿結(jié)合槽部位朝下放置。然后用石英片將硅漿兩端墊起，不要使絕熱擋圈和周?chē)锲方佑|。這些都準(zhǔn)備好后將槽內(nèi)放水，水位沒(méi)過(guò)硅漿和擋圈結(jié)合槽1cm左右即可。每隔一段時(shí)間輕微搬動(dòng)一下?lián)跞?，直至擋圈能順利從硅漿上脫落為止。此過(guò)程應(yīng)注意不要將水灌到擋圈側(cè)面的小圓孔內(nèi)。

2.將硅漿、石英爐門(mén)、不銹鋼爐門(mén)系統(tǒng)及硅漿承載舟卸下。

1.可將上述部件一并卸下，然后再將硅漿和石英爐門(mén)拆下用氨氟酸浸泡清洗；不銹鋼爐門(mén)系統(tǒng)用濕抹布擦洗，長(zhǎng)期積累下的綠色鐵的氯化物可用砂紙或者鐵絲團(tuán)除去。

2.石英爐門(mén)清洗前要把橡膠密封圈取下，石英爐門(mén)浸泡時(shí)間以上面的黑色碳粘污能夠用水槍沖洗掉為準(zhǔn)。

3.石英爐門(mén)從氫氟酸中取出后要用水槍反復(fù)沖洗15min左右。有些難以去除的黑色污染物可用小石英片刮去。

4.沖洗干凈后用氨氣槍將爐門(mén)吹干放入凈化櫥內(nèi)備用。

3.拆下?tīng)t口的不銹鋼擋板，用自來(lái)水沖洗，長(zhǎng)期積累下的綠色鐵的氯化物可用砂紙或者坐刀除去。

4.拆下?tīng)t管尾部的氣體連接，取出尾氣管和校準(zhǔn)熱電偶（長(zhǎng)沙管子沒(méi)有）。

注：1.尾氣管非常長(zhǎng)，在取出和放入過(guò)程中要十分小心，要絕對(duì)保證石英尾氣管能夠輕松滑入/滑出。

2.石英尾氣管取下后應(yīng)和螺旋尾氣管一并放入氫氟酸中浸泡，時(shí)間應(yīng)不低于兩小時(shí)。取出后用純水清洗步驟同大石英管清洗步驟。

3.石英尾氣管在清洗潔凈后安裝時(shí)，不能用手直接觸摸，要戴上潔凈PVC手套，墊上新無(wú)塵布拿放。

5.拉出爐體管壁上的測(cè)溫?zé)犭娕疾?biāo)記位置。

注：測(cè)溫?zé)犭娕际遣逶跔t體側(cè)面的，很短，長(zhǎng)度只有10厘米左右；而校準(zhǔn)熱電偶是插在石英管尾部的長(zhǎng)度大約150厘米的，外部有細(xì)石英管保護(hù)。目前長(zhǎng)沙擴(kuò)散爐沒(méi)有校準(zhǔn)熱電偶。

6.抬下源溫控制箱，更換源溫控制箱內(nèi)的冷卻水。

注：長(zhǎng)沙源溫控制箱為冷卻水外接方式，在取下源溫控制箱之前要先將冷卻水入口與出口用接頭對(duì)接密閉，防止冷卻水噴出損壞電氣設(shè)備。

四、

拆卸石英管

抬出石英管。

注：1.抬石英管過(guò)程要十分小心，多人配合。千萬(wàn)不要用蠻勁，不要使石英管觸碰倒周?chē)考?/p>

2.北京擴(kuò)散爐爐腔內(nèi)沒(méi)有石英棉保護(hù)，拉/放石英管過(guò)程中石英管會(huì)直接與爐絲摩擦。所以在拉石英管過(guò)程中應(yīng)先將石英管拉出約20cm,然后將滑動(dòng)墊片從管尾的底部插入，以避免管壁底部與爐絲摩擦。

清理爐口

六、

清洗從大石英管尾部

清洗從大石英管尾部拔出的校準(zhǔn)熱電偶外部的石英保護(hù)管、絕熱擋圈和穩(wěn)流板。注：1.清洗校準(zhǔn)熱電偶外部的石英管時(shí)，應(yīng)當(dāng)注意不要損壞熱電偶，也不要把熱電偶及其接頭直接浸入水或氫氟酸溶液當(dāng)中?？梢园褵犭娕嫉慕宇^一端架在溶液外面。在沒(méi)有把握完好恢復(fù)原樣的情況下，不要把熱電偶從石英管中抽出來(lái)。

2.穩(wěn)流板清洗步驟和其他石英物品相同，只是在氫氟酸中浸泡時(shí)間為30min。

3.絕熱擋圓不能直接浸泡在氫氟酸中，可將擋圓開(kāi)小孔的一面朝上，小孔用攝子將PVC手套塞入。然后用無(wú)塵布蘸氨氟酸溶液擦拭。待無(wú)污物后用水槍沖洗15min,用氣槍吹干后放入凈化柜內(nèi)備用。

七、

安裝石英管

安裝石英管、石英爐門(mén)、硅漿、尾氣管、校準(zhǔn)熱電偶、尾部氣體連接、源溫控制箱。并把爐體側(cè)面的三個(gè)測(cè)溫?zé)犭娕疾迦氲揭越佑|到石英管外壁，緊固。

1.將石英管放回爐膛。

注：此過(guò)程操作要點(diǎn)參考第四步。

2.安裝硅漿承載舟、不銹鋼爐門(mén)系統(tǒng)、石纏爐門(mén)和硅漿。

*注：1.此過(guò)程絕對(duì)不能用手直接觸碰硅漿，戴手套也不可以。應(yīng)該勤換手套，將硅漿墊上潔凈無(wú)塵布才能觸碰、拿放。

2.石英爐門(mén)位置應(yīng)調(diào)整到和石英管口正對(duì)，在上料過(guò)程結(jié)束后爐門(mén)和管口密封良好，爐門(mén)和管口之間不能有肉眼可見(jiàn)的縫隙或偏斜。和管口之間不能有肉眼可見(jiàn)的縫隙或偏斜。

3.插入尾氣管和校準(zhǔn)熱電偶。

注：進(jìn)行此步操作時(shí)應(yīng)更換新PVC手套，墊上潔凈無(wú)塵布后取放石英管。

4.連接尾部氣體管路。

5.將爐體側(cè)面的測(cè)溫?zé)犭娕驾p輕插入，當(dāng)接觸到石英管外壁時(shí)將固定螺絲旋緊。

八、

安裝其他石英配件

1.將洗凈的絕熱擋圈放在硅漿上，使其左端距石英爐門(mén)8cm。

2.將石英擋板放到硅漿上，第一塊擋板放在距擋圈15cm處；第二塊擋板和第一塊擋板之間距離為6cm;第三塊擋板的兩個(gè)槽大小不同，將其放在硅漿上使兩個(gè)槽和硅漿之間的橫向隆隙約為3mm;第四塊擋板放在距離硅漿末端（靠近爐口端）4cm處。

九、

將拆下的石英管

將拆下的石英管和碳化硅漿放入HF內(nèi)浸泡、清洗。清洗過(guò)程同備用件清洗。注：1.石英管清洗后放到凈化間的空地上，下面墊上專(zhuān)用的泡沫。并將管口和尾管用專(zhuān)用鋁陷密封。

2.碳化硅漿放到備件柜中，下次使用前仍需進(jìn)行清洗。如果在清洗后一兩天內(nèi)使用，則將其保存在石英管清洗機(jī)內(nèi)，注意不要被弄臟。升溫（200度，400600800各2小時(shí)）

1.放入潔凈石英舟后關(guān)閉爐門(mén)，將溫度設(shè)定為200°,持續(xù)時(shí)間為2小時(shí)。2.將溫度設(shè)定為400°,持續(xù)時(shí)間為2小時(shí)。3.將溫度設(shè)定為600°,持續(xù)時(shí)間為2小時(shí)。4.將溫度設(shè)定為800°,持續(xù)時(shí)間為2小時(shí)。5.將溫度設(shè)定為940℃。

十一、

TCA清洗、飽和

1.?清洗和飽和程序見(jiàn)下表：

2.北京擴(kuò)散爐清洗和飽和程序另有詳細(xì)說(shuō)明。

3.北京擴(kuò)散爐由于氧氣流量最大只能到3slpm,所以將TCA清洗的小氨流量降為0.15slpm,時(shí)間延長(zhǎng)至四個(gè)小時(shí)。

4.長(zhǎng)沙擴(kuò)散爐目前溫度設(shè)定不能超過(guò)950℃，所以在TCA清洗和飽和時(shí)把溫度設(shè)定在940℃。

5.TCA清洗之前要用TCA源瓶替換擴(kuò)散源瓶，在清洗結(jié)束后將擴(kuò)散源瓶換回。

十二、

清洗后首次擴(kuò)散，注：首次擴(kuò)散時(shí)工藝人員應(yīng)當(dāng)監(jiān)控其方塊電阻、少子壽命和擴(kuò)散爐工作是否正常，待確認(rèn)一切正常之后可交付生產(chǎn)人員正常使用。注：1.石英管更換清洗過(guò)程中石英物品和碳化硅漿都是高值易碎品，所以操作過(guò)程中需格外小心，不要由于粗心大意而導(dǎo)致不必要的損失。

1.?擴(kuò)散工藝是太陽(yáng)電池制造過(guò)程中對(duì)潔凈度要求最高的環(huán)節(jié)。參與擴(kuò)散爐清洗的人員務(wù)必嚴(yán)格按照標(biāo)準(zhǔn)操作。如果清洗過(guò)程中任一環(huán)節(jié)引入了額外污染，都會(huì)給電池效率帶來(lái)致命影響。

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