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      怎么測量碳化硅？臺階儀 0.5mg測力解決易損、干涉測量難題

      2025-12-11 | docx | 0.39 MB | 次下載 | 免費

      資料介紹

      在半導(dǎo)體制造圈，這幾年大家談?wù)撟疃嗟哪^于“第三代半導(dǎo)體”——SiC（碳化硅）和GaN（氮化鎵）。我們都在談?wù)搶捊麕Р牧蠋淼母吣蛪?、高頻性能。但對于身處Fab廠一線工藝或從事量測設(shè)備的工程師來說，材料屬性的變化，往往意味著新的工藝挑戰(zhàn)。
      怎么測量碳化硅？晶圓應(yīng)力怎么測？比如，SiC非常硬，莫氏硬度非常高；同時它又是透明的，且往往生長在異質(zhì)襯底上。傳統(tǒng)的測量邏輯在這里經(jīng)常行不通：
      1.看不清：光學(xué)測量在透明多層膜結(jié)構(gòu)上容易遇到復(fù)雜的干涉問題，數(shù)據(jù)往往存在噪點。
      2.不敢碰：傳統(tǒng)的接觸式測量如果力度控制不好，很容易劃傷昂貴的光刻膠或晶圓表面。

      ?

      當(dāng)摩爾定律的戰(zhàn)場轉(zhuǎn)移到微觀結(jié)構(gòu)的“縱深”和“新材料”上，我們的測量工具在如何升級？結(jié)合最近應(yīng)用的NS系列臺階儀，我想聊聊在亞埃級尺度下，這種被戲稱為“微觀畫師”的設(shè)備，是如何解決新材料研發(fā)中三個關(guān)鍵難題的。

      wKgZPGk6PzuAXwP8AAVT9d-L-SY941.pngwKgZO2k6Pz6Aa-jWAACDGhH59A4950.png
      半導(dǎo)體 測量
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