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      電子發(fā)燒友網(wǎng)>電子資料下載>電子論文>模擬數(shù)字論文>GaAs的濕法蝕刻和光刻

      GaAs的濕法蝕刻和光刻

      2022-06-29 | pdf | 0.80 MB | 次下載 | 2積分

      資料介紹

      本文報(bào)道了InGaP/GaAsNPNHBTs在噴霧濕化學(xué)蝕刻過程中修復(fù)光刻膠粘附失敗的實(shí)驗(yàn)結(jié)果。我們確定了幾個(gè)可能影響粘附性的因素，并采用實(shí)驗(yàn)設(shè)計(jì)(DOE)方法研究了所選因素的影響和相互作用。最顯著的粘附改善是在光刻膠涂層之前加入天然氧化物蝕刻。除了改善粘附性，這種預(yù)涂層處理還改變了（100）砷化鎵的濕蝕刻輪廓，使反應(yīng)限制蝕刻與未經(jīng)表面處理的晶片相比更具各向同性；輪廓在[011‘]和[011]方向
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