Process Control（E-PC）是Exensio數(shù)據(jù)分析平臺的四大主要模塊之一。作為一款在行業(yè)內(nèi)處于領先地位的實時控制和分析工具，它為集成設備制造商（IDMs）、代工廠（Fab）、中段工藝(bumping)以及基板廠提供了故障檢測與分類（FDC）功能。借助這一功能，企業(yè)能夠在工具和工廠兩個層面，精準地識別、診斷并預防各類工具問題 ，有效保障生產(chǎn)流程的順暢與穩(wěn)定。

助力工業(yè) 4.0，引領半導體制造革新

專為工業(yè)4.0量身打造的 Exensio-Process Control（E-PC）功能模塊，借助實時數(shù)據(jù)分析，企業(yè)在半導體制造過程中，能夠精準達成產(chǎn)能最大化、設備性能最優(yōu)化，以及將浪費降至最低限度。

值得一提的是，E-PC與現(xiàn)有的工藝管控工具能完美協(xié)同并行，彼此運作毫無干擾，實現(xiàn)無縫對接。對于新建FAB（晶圓廠）企業(yè)而言，E-PC更是得力助手，它助力企業(yè)以更高效、便捷的方式，使新建FAB在性能上迅速與成熟FAB看齊，快速提升新建 FAB 的競爭力，為企業(yè)在半導體制造領域的發(fā)展注入強勁動力。

FDC領航者 ：超4W+臺工具管控，支持數(shù)百種制造設備

Process Control模塊是FDC領域的市場領導者，在全球6英寸、8英寸和12英寸晶圓廠中，由E-PC管理的制造工具超過40,000臺。支持數(shù)百種品牌和型號的半導體制造設備。

聚焦Fab核心模型：強大高效，幫助決策

普迪飛擁有獨特的自上而下策略，構建晶圓廠模型。以Fab為中心的流程控制方法，借助DEX（數(shù)據(jù)交換網(wǎng)絡）自動采集并融合前端與后端數(shù)據(jù)，進而實現(xiàn)極為強大的特征剖析以及故障診斷。與 "按工具 "的分散式部署相比，這種方法提高了部署效率，助力企業(yè)精準做出決策，嚴格把控流程 。

制程管控：偏移診斷精準把控與變異優(yōu)化策略

通過FDC工具傳感器水平診斷和深入分析自動檢測偏移事件，以執(zhí)行流程和計量轉(zhuǎn)變、參數(shù)漂移、預防性維護和耗材事件檢測。采用先進的診斷技術進行一步式參數(shù)篩選，以驅(qū)動響應相關性，并反饋給工具控制（動態(tài)SPC），從而提高產(chǎn)量、設備參數(shù)和計量水平。

Process Control功能亮點

工具和工藝偏差最多可減少40%

制程能力指數(shù)（CPK）可提升至多 20%，實現(xiàn)更緊密的分布

強大的語義模型賦能，工作效率提升高達10倍

借助基于追溯的工具匹配，工藝轉(zhuǎn)移及晶圓廠產(chǎn)能提升速度可提前 6 個月

交互式分析環(huán)境，自動可視化數(shù)據(jù)報告

在線控制與離線分析相結合（涵蓋實時、追溯及匯總 FDC）

通過預測性維護降低維護資源成本和需求

協(xié)同AI/ML，提供完整且先進的解決方案（AIM）

FDC數(shù)據(jù)全方位挖掘，提升良率的關鍵鑰匙

FDC 數(shù)據(jù)的運用分為三個層次，層層推進，最終指向良率提升這一核心目標。

首先，Online Control 的階段，E-PC憑借靈活的數(shù)據(jù)采集方式、高效的建模效率、豐富的算法以及簡潔的操作界面，在報警時還能提供raw trace輔助判斷，且后臺服務與數(shù)據(jù)庫具備高可靠性，為生產(chǎn)過程監(jiān)控奠定堅實基礎。

其次，針對 FDC 數(shù)據(jù)進行深層次的挖掘，不僅能為新機臺的發(fā)布設定標準， PM前后的機臺進行有效管理，其報表功能（如 OOC report 等）豐富多樣，支持內(nèi)嵌和自定義報表，并且能自動調(diào)整Control Spec，進一步挖掘數(shù)據(jù)價值，優(yōu)化生產(chǎn)管理。

最終，落腳于良率提升這一關鍵目標。通過跨良率/量測Vs FDC等不同數(shù)據(jù)類型的分析，豐富多樣的分析手段，以及內(nèi)嵌和自建模型等方式，為online control系統(tǒng)提供具有指導意義的spec反饋，從而實現(xiàn)良率的提升。這一過程意義重大，良率提升可直接帶來經(jīng)濟效益的增長，使企業(yè)在市場競爭中更具優(yōu)勢，同時也能促進資源的高效利用，助力企業(yè)可持續(xù)發(fā)展。