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蝕刻作為硅晶片化學鍍前的表面預處理的效果

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半導體行業(yè)需要具有超成品表面和無損傷地下的晶片。因此,了解單晶表面處理過程中的變形機制一直是研究重點。
2021-12-22 17:35:401531

用于化學分析的Si各向異性濕法化學蝕刻

分析化學小型化的一個方便的起點是使用單c:晶體作為起始材料,微加工作為使技術,濕化學蝕刻作為關鍵的微加工工具。在本文中,我們回顧了微加工,并描述了形成可能用于化學分析應用的通道、柱和其他幾何圖案
2021-12-22 17:29:021906

濕法化學蝕刻太陽能電池的光電特性

引言 通過在含有H2O2的HF溶液中蝕刻,在兩步工藝中對商用太陽能電池進行紋理化。銀納米粒子作為催化位點,有助于蝕刻過程。確定了在表面制備納米孔的蝕刻時間。利用光譜儀測量了太陽能電池表面納米結構
2022-01-04 17:15:351141

溫度對KOH溶液中多晶化學紋理化的影響

引言 濕化學蝕刻是制造太陽能電池的關鍵工藝步驟。為了蝕刻單晶,氫氧化鉀溶液被廣泛使用,因為它們可以形成具有隨機金字塔的表面紋理,從而增強單晶晶片的光吸收。對于多晶晶片,表面紋理化通常通過在含
2022-01-13 14:47:191346

關于硝酸濃度對晶片腐蝕速率的影響報告

薄到150米以下。機械研磨仍然會在晶片表面產(chǎn)生殘留缺陷,導致晶片破裂,表面粗糙。因此,化學蝕刻法主要用于生產(chǎn)具有所需厚度的光滑表面的可靠的薄晶片。 在本工作中,我們研究了在硝酸和氫氟酸的混合溶液中,不同硝酸濃度
2022-01-17 11:00:411349

硝酸濃度對晶片腐蝕速率的影響實驗報告

150米以下。機械研磨仍然會在晶片表面產(chǎn)生殘留缺陷,導致晶片破裂,表面粗糙。因此,化學蝕刻法主要用于生產(chǎn)具有所需厚度的光滑表面的可靠的薄晶片。
2022-02-10 15:42:361275

半導體各向異性蝕刻表面化學和電化學

摘要 綜述了半導體各向異性蝕刻表面化學和電化學。描述了對堿性溶液中的各向異性化學蝕刻和 n 型半導體中各向異性孔的電化學蝕刻的最新見解。強調(diào)了電流效應在開路蝕刻中的可能作用。 介紹 由于簡單
2022-03-03 14:16:372047

使用酸性溶液對晶片進行異常各向異性蝕刻

在本文中,我們首次報道了實現(xiàn)111和100晶片的晶體蝕刻的酸性溶液。通過使用六氟硅酸(也稱為氟硅酸)和硝酸的混合物,獲得暴露出各種面外111平面的111的晶體蝕刻。本文描述了用于該研究的溶液的化學組成,隨后是使用電子和光學顯微鏡獲得的結果。蝕刻的機理,雖然沒有完全理解,將在下面的章節(jié)中討論。
2022-03-09 14:35:421074

用于化學分析應用的Si各向異性濕法化學蝕刻

分析化學小型化的一個方便的起點在于使用單晶作為起始材料,微加工作為使能技術,濕化學蝕刻作為關鍵的微加工工具。在這次可行性研究和學習中都起到了關鍵作用。
2022-03-11 13:58:081025

如何利用原子力顯微鏡測量蝕刻速率

本文提出了一種利用原子力顯微鏡(AFM)測量蝕刻速率的簡單方法,應用表面的天然氧化物層作為掩膜,通過無損摩擦化學去除去除部分天然氧化物,暴露地下新鮮。因此,可以實現(xiàn)在氫氧化鉀溶液中對的選擇性蝕刻,通過原子精密的AFM可以檢測到蝕刻深度,從而獲得了氫氧化鉀溶液中精確的蝕刻速率。
2022-03-18 15:39:18954

HF/H2O二元溶液中晶片變薄的蝕刻特性

使用酸性或氟化物溶液對表面進行濕蝕刻具有重大意義,這將用于生產(chǎn)微電子包裝所需厚度的可靠芯片。本文研究了濕蝕刻對浸入48%高頻/水溶液中的硅片厚度耗散、減重、蝕刻速率、表面形貌和結晶性
2022-03-18 16:43:111211

蝕刻法測定晶片表面的金屬雜質(zhì)

本研究為了將晶片中設備激活區(qū)的金屬雜質(zhì)分析為ICP-MS或GE\AS,利用HF和HNQ混酸對晶片進行不同厚度的重復蝕刻,在晶片內(nèi)表面附近,研究了定量分析特定區(qū)域中金屬雜質(zhì)的方法。
2022-03-21 16:15:07739

局部陽極氧化和化學蝕刻表面的自然光刻

利用作為掩模的陽極多孔氧化鋁的模式轉移,制備了具有100nm周期性自有序結構的孔和柱陣列納米結構,納米圖案的轉移是通過一個涉及的局部陽極化和隨后的化學蝕刻的組合過程來實現(xiàn)的。利用這一方法,可以通過改變蝕刻條件來制造負圖案和正圖案。
2022-03-23 11:05:54840

詳解單晶的各向異性蝕刻特性

為了形成膜結構,單晶硅片已經(jīng)用氫氧化鉀和氫氧化鉀-異丙醇溶液進行了各向異性蝕刻,觀察到蝕刻速率強烈依賴于蝕刻劑溫度和濃度,用于蝕刻實驗的掩模圖案在晶片的主平面上傾斜45°。根據(jù)圖案方向和蝕刻劑濃度
2022-03-25 13:26:344201

晶片表面組織工藝優(yōu)化研究

本文章將對表面組織工藝優(yōu)化進行研究,多晶晶片表面組織化工藝主要分為干法和濕法,其中利用酸或堿性溶液的濕法蝕刻工藝在時間和成本上都比較優(yōu)秀,主要適用于太陽能電池量產(chǎn)工藝。本研究在多晶晶片表面組織化
2022-03-25 16:33:491013

濕法蝕刻的GaAs表面研究

為了能夠使用基于 GaAs 的器件作為化學傳感器,它們的表面必須進行化學改性。GaAs 表面上液相中分子的可重復吸附需要受控的蝕刻程序。應用了幾種分析方法,包括衰減全反射和多重內(nèi)反射模式 (ATR
2022-03-31 14:57:031412

晶圓蝕刻過程中的流程和化學反應

引言 晶圓作為半導體制造的基礎材料,是極其重要的,將作為鑄錠成長的硅單晶加工成晶圓階段的切斷、研磨、研磨中,晶圓表面會產(chǎn)生加工變質(zhì)層。為了去除該加工變質(zhì)層,進行化學蝕刻,在晶片的制造工序中,使
2022-04-08 17:02:102777

單晶晶片的超聲輔助化學蝕刻

用氟化氫-氯化氫-氯氣混合物進行各向異性酸性蝕刻是一種有效的方法 單晶晶片紋理化的替代方法 在晶片表面形成倒金字塔結構[1,2]形貌取決于以下成分 蝕刻混合物[3]在HF-HCl[1]Cl2
2022-04-12 14:10:22717

晶圓蝕刻過程中的化學反應研究

晶圓作為半導體制造的基礎材料,是極其重要的,將作為鑄錠成長的硅單晶加工成晶圓階段的切斷、研磨、研磨中,晶圓表面會產(chǎn)生加工變質(zhì)層。為了去除該加工變質(zhì)層,進行化學蝕刻,在晶片的制造工序中,使共有
2022-04-12 15:28:161531

晶片蝕刻預處理方法包括哪些

晶片蝕刻預處理方法包括:對角度聚合的晶片進行最終聚合處理,對上述最終聚合的晶片進行超聲波清洗后用去離子水沖洗,對上述清洗和沖洗的晶片進行SC-1清洗后用去離子水沖洗,對上述清洗和沖洗的晶片進行佛山清洗后用去離子水沖洗的步驟,對所有種類的晶片進行蝕刻預處理,特別是P(111)。
2022-04-13 13:35:461415

濕式化學清洗過程對晶片表面微粒度的影響

本文利用CZ、FZ和EPI晶片,研究了濕式化學清洗過程對晶片表面微粒度的影響。結果表明,表面微粗糙度影響了氧化物的介電斷裂~特性:隨著基底的微粗糙度的增加,氧化物的微電擊穿會降解。利用
2022-04-14 13:57:201074

利用蝕刻法消除晶片表面金屬雜質(zhì)?

為了將晶片中設備激活區(qū)的金屬雜質(zhì)分析為ICP-MS或GE\AS,利用HF和HNQ混酸對晶片進行不同厚度的重復蝕刻,在晶片內(nèi)表面附近,研究了定量分析特定區(qū)域中消除金屬雜質(zhì)的方法。
2022-04-24 14:59:231124

晶片化學蝕刻工藝研究

拋光的硅片是通過各種機械和化學工藝制備的。首先,通過切片將單晶錠切成圓盤(晶片),然后進行稱為研磨的平整過程,該過程包括使用研磨漿擦洗晶片。 在先前的成形過程中引起的機械損傷通過蝕刻是本文的重點。在準備用于器件制造之前,蝕刻之后是各種單元操作,例如拋光和清潔。
2022-04-28 16:32:371285

化學鍍NiP-Pd沉積過程中銅和鎳的腐蝕

(Cu)互連所取代。與鋁不同,銅易受環(huán)境退化的影響,并且由于可靠性問題而不能用于金(Au)引線鍵合。因此,對于Cu互連技術,IC制造商要么用Al覆蓋Cu,要么用Al 成最后的互連層。 本文介紹了我們?nèi)A林科納半導體使用化學鍍鎳-磷/鈀(NiP-Pd)來覆蓋銅焊
2022-06-09 16:50:393737

硅片表面染色對銅輔助化學蝕刻的影響

基光伏產(chǎn)業(yè)鏈中,晶片的制造是最基本的步驟。金剛石切片是主要的硅片切片技術,采用高速線性摩擦將切割成薄片。在硅片切片過程中,由于金剛石線和硅片的反復摩擦,硅片表面發(fā)生了大量的脆性損傷和塑性損傷。
2023-05-15 10:49:381689

晶片的酸基蝕刻:傳質(zhì)和動力學效應

拋光晶片是通過各種機械和化學工藝制備的。首先,硅單晶錠被切成圓盤(晶片),然后是一個稱為拍打的扁平過程,包括使用磨料清洗晶片。通過蝕刻消除了以往成形過程中引起的機械損傷,蝕刻之后是各種單元操作,如拋光和清洗之前,它已經(jīng)準備好為設備制造。
2023-05-16 10:03:001595

印制板化學鍍鎳/浸金(ENIG)鍍覆性能規(guī)范

IPC-4552B-中文版-sm TOC印制板化學鍍鎳 浸金(ENIG)鍍覆性能規(guī)范
2023-12-25 09:44:0730

半導體資料丨化學鍍鎳沉積,鈣鈦礦薄膜,III 族氮化物半導體

通過化學鍍鎳沉積增強納米多孔光電陰極的光電化學性能 可再生能源,特別是太陽能,是我們脫碳努力的關鍵。本文研究了納米多孔及其Ni涂層雜化體系的光電化學行為。這些方法包括將Ni涂層應用于NPSi
2024-01-12 17:06:13866

pcb表面處理 什么是化學鍍

化學鍍鎳-化學鍍鈀浸金是一種在金屬表面形成鎳、鈀、金等金屬層的工藝方法。廣泛應用于電子、航空、汽車等領域。本文將對化學鍍鎳-化學鍍鈀浸進行詳細介紹。 化學鍍金材料具有銅-鎳-鈀-金層結構,可以直接
2024-01-17 11:23:032760

化學鍍鎳鈀金電路板金絲鍵合可靠性分析

共讀好書 張路非,閆軍政,劉理想,王芝兵,吳美麗,李毅 (貴州振華群英電器有限公司) 摘要: 在微組裝工藝應用領域,為保證印制電路板上裸芯片鍵合后的產(chǎn)品可靠性,采用化學鍍鎳鈀金工藝(ENEPIG
2024-03-27 18:23:132672

處理工藝步驟 鎳與鍍鉻的區(qū)別

處理工藝步驟 鎳是一種表面處理技術,用于提高金屬零件的耐腐蝕性、耐磨性和裝飾性。以下是鎳的基本工藝步驟: 處理 : 除油 :使用化學或電解除油劑去除金屬表面的油脂。 除銹 :使用酸洗液去除
2024-12-10 14:43:565571

探秘化學鍍鎳金:提升電子元件可靠性的秘訣

在高端電子制造領域,化學鍍鎳金工藝猶如一位精工巧匠,為高難度PCB披上華麗而實用的外衣。這項表面處理技術不僅賦予PCB優(yōu)雅的外觀,更重要的是提供了卓越的電氣性能和可靠的焊接特性。捷多邦小編整理
2025-03-05 17:06:08942

芯片制造“”金術:化學鍍技術的前沿突破與未來藍圖

隨著芯片技術的飛速發(fā)展,對芯片制造中關鍵工藝的要求日益提高。化學鍍技術作為一種重要的表面處理技術,在芯片制造中發(fā)揮著不可或缺的作用。本文深入探討了化學鍍技術在芯片制造中的應用現(xiàn)狀,分析了其原理、優(yōu)勢
2025-05-29 11:40:561502

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