中國電子科技集團有限公司傳出好消息，該公司旗下裝備子集團再度攻克一系列“卡脖子”技術。

很多人都知道，離子注入機是集成電路制造前工序中的關鍵設備，而中國電子科技集團有限公司旗下裝備子集團就是在離子注入機方面取得了重大突破，其成功實現(xiàn)了離子注入機全譜系產(chǎn)品國產(chǎn)化，包括中束流、大束流、特種應用及第三代半導體等離子注入機，工藝段覆蓋至28nm，累計形成了413項核心發(fā)明專利。

相信不久的將來，在芯片方面，我國在芯片“卡脖子”技術將會各個擊破，其中包括光刻機技術，目前，中科院已“跑步”進場，宣布將把光刻機等列入其科研清單中。

說到光刻機，直線電機與之密切相關，直線電機主要作為掩模臺系統(tǒng)的驅(qū)動裝置，光刻機掩模臺系統(tǒng)中直線電機運動工況分為掃描運動和定位運動，其中掃描運動主要完成硅片曝光處理，該運動對未定精度以及速度穩(wěn)定性有很高要求，在穩(wěn)定基礎上追求時間的優(yōu)化。

昆山同茂電子有限公司作為一家擁有十余年歷史經(jīng)驗的直線電機生產(chǎn)廠家，其自研自產(chǎn)自銷的直線電機在光刻機中已有實際應用，上海微電子（國產(chǎn)光刻設備智造商）就是咱同茂的合作客戶。
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