中國(guó)電子科技集團(tuán)有限公司傳出好消息，該公司旗下裝備子集團(tuán)再度攻克一系列“卡脖子”技術(shù)。

很多人都知道，離子注入機(jī)是集成電路制造前工序中的關(guān)鍵設(shè)備，而中國(guó)電子科技集團(tuán)有限公司旗下裝備子集團(tuán)就是在離子注入機(jī)方面取得了重大突破，其成功實(shí)現(xiàn)了離子注入機(jī)全譜系產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化，包括中束流、大束流、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機(jī)，工藝段覆蓋至28nm，累計(jì)形成了413項(xiàng)核心發(fā)明專利。

相信不久的將來(lái)，在芯片方面，我國(guó)在芯片“卡脖子”技術(shù)將會(huì)各個(gè)擊破，其中包括光刻機(jī)技術(shù)，目前，中科院已“跑步”進(jìn)場(chǎng)，宣布將把光刻機(jī)等列入其科研清單中。

說(shuō)到光刻機(jī)，直線電機(jī)與之密切相關(guān)，直線電機(jī)主要作為掩模臺(tái)系統(tǒng)的驅(qū)動(dòng)裝置，光刻機(jī)掩模臺(tái)系統(tǒng)中直線電機(jī)運(yùn)動(dòng)工況分為掃描運(yùn)動(dòng)和定位運(yùn)動(dòng)，其中掃描運(yùn)動(dòng)主要完成硅片曝光處理，該運(yùn)動(dòng)對(duì)未定精度以及速度穩(wěn)定性有很高要求，在穩(wěn)定基礎(chǔ)上追求時(shí)間的優(yōu)化。

昆山同茂電子有限公司作為一家擁有十余年歷史經(jīng)驗(yàn)的直線電機(jī)生產(chǎn)廠家，其自研自產(chǎn)自銷的直線電機(jī)在光刻機(jī)中已有實(shí)際應(yīng)用，上海微電子（國(guó)產(chǎn)光刻設(shè)備智造商）就是咱同茂的合作客戶。
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