摘要

高效薄膜太陽能電池需要具有高吸收、低缺陷、透明導(dǎo)電的吸收層 氧化物(TCO)薄膜，透過率超過80%，導(dǎo)電率高。 此外，光可以通過玻璃捕獲并送至光吸收層以提高效率。 本文研究了玻璃表面形貌的形式利用HF對(duì)基片進(jìn)行了研究，主要分為隨機(jī)蝕刻和周期性蝕刻。 我們討論了蝕刻的問題機(jī)理、蝕刻速率、硬掩膜材料、周期性光俘獲結(jié)構(gòu)。

介紹

玻璃，由于其獨(dú)特的性能，被廣泛地應(yīng)用于光學(xué)器件、MEMS器件、太陽能電池等。 光學(xué)透明且能承受大量光散，此影響可以被認(rèn)為是最顯著的屬性。在這方面，玻璃的組合是相對(duì)容易的。薄膜硅太陽能電池是一種具有巨大潛力的光伏器件。 這個(gè)生產(chǎn)在大規(guī)模的全自動(dòng)生產(chǎn)中進(jìn)行方式允許玻璃基板和低材料用量，低成本在薄膜中，硅太陽能電池，氫化非晶硅(a-Si:H)或作為吸收層的微晶硅(μc-Si:H)。要使太陽能電池有效地吸收光，光對(duì)于高效率的太陽能電池來說，紋理表面的管理是必不可少的。 表面紋理可以增強(qiáng)效果從透射光散射，然后低反射在 入射光的表面。

本文還講述了關(guān)于玻璃隨機(jī)蝕刻的類型 ，濕化學(xué) ，應(yīng)用程序和結(jié)論等問題

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　　審核編輯：湯梓紅