MEMS制造中玻璃的刻蝕方法
在MEMS中,玻璃因具有良好的絕緣性、透光性、化學(xué)穩(wěn)定性及可鍵合性(如與硅陽(yáng)極鍵合),常被用作襯底、....
CMP工藝中的缺陷類型
CMP是半導(dǎo)體制造中關(guān)鍵的平坦化工藝,它通過(guò)機(jī)械磨削和化學(xué)腐蝕相結(jié)合的方式,去除材料以實(shí)現(xiàn)平坦化。然....
晶圓制造中的WAT測(cè)試介紹
Wafer Acceptance Test (WAT) 是晶圓制造中確保產(chǎn)品質(zhì)量和可靠性的關(guān)鍵步驟。....
鋁絲鍵合的具體步驟
鋁絲鍵合常借助超聲楔焊技術(shù),通過(guò)超聲能量實(shí)現(xiàn)鋁絲與焊盤(pán)的直接鍵合。由于鍵合所用劈刀工具頭為楔形,使得....
半導(dǎo)體激光器的三種驅(qū)動(dòng)模式
ACC(Automatic Current Control)是恒電流驅(qū)動(dòng),通過(guò)電流采樣反饋為電流驅(qū)動(dòng)....

晶圓背面二氧化硅邊緣腐蝕的原因
在集成電路生產(chǎn)過(guò)程中,晶圓背面二氧化硅邊緣腐蝕現(xiàn)象是一個(gè)常見(jiàn)但復(fù)雜的問(wèn)題。每個(gè)環(huán)節(jié)都有可能成為晶圓背....
淺談封裝材料失效分析
在電子封裝領(lǐng)域,各類材料因特性與應(yīng)用場(chǎng)景不同,失效模式和分析檢測(cè)方法也各有差異。
銅對(duì)芯片制造中的重要作用
在指甲蓋大小的芯片上,數(shù)百億晶體管需要通過(guò)比頭發(fā)絲細(xì)千倍的金屬線連接。當(dāng)制程進(jìn)入130納米節(jié)點(diǎn)時(shí),傳....

芯片封裝失效的典型現(xiàn)象
本文介紹了芯片封裝失效的典型現(xiàn)象:金線偏移、芯片開(kāi)裂、界面開(kāi)裂、基板裂紋和再流焊缺陷。
晶體管架構(gòu)的演變過(guò)程
芯片制程從微米級(jí)進(jìn)入2納米時(shí)代,晶體管架構(gòu)經(jīng)歷了從 Planar FET 到 MBCFET的四次關(guān)鍵....

基于TSV的三維集成電路制造技術(shù)
三維集成電路工藝技術(shù)因特征尺寸縮小與系統(tǒng)復(fù)雜度提升而發(fā)展,其核心目標(biāo)在于通過(guò)垂直堆疊芯片突破二維物理....

干法刻蝕的評(píng)價(jià)參數(shù)詳解
在MEMS制造工藝中,干法刻蝕是通過(guò)等離子體、離子束等氣態(tài)物質(zhì)對(duì)薄膜材料或襯底進(jìn)行刻蝕的工藝,其評(píng)價(jià)....

淺談無(wú)線通信的基本概念
從工作頻段到信道的劃分,再到多址方式、雙工方式、調(diào)制方式、分集技術(shù)和MIMO,這些概念共同作用,使得....
半導(dǎo)體摻雜濃度及圖形測(cè)量方法
熱波系統(tǒng)通過(guò)激光誘導(dǎo)熱效應(yīng)與晶格缺陷的關(guān)聯(lián)性實(shí)現(xiàn)摻雜濃度評(píng)估。其核心機(jī)制為:氬泵浦激光經(jīng)雙面鏡聚焦于....

芯片制造中的暈環(huán)注入技術(shù)
當(dāng)晶體管柵長(zhǎng)縮至20納米以下,源漏極間可能形成隱秘的電流通道,導(dǎo)致晶體管無(wú)法關(guān)閉。而暈環(huán)注入(Hal....

深度解析芯片化學(xué)機(jī)械拋光技術(shù)
化學(xué)機(jī)械拋光(Chemical Mechanical Polishing, 簡(jiǎn)稱 CMP)技術(shù)是一種....

半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)過(guò)程中的常用摻雜技術(shù)
在半導(dǎo)體硅片生產(chǎn)過(guò)程中,精確調(diào)控材料的電阻率是實(shí)現(xiàn)器件功能的關(guān)鍵,而原位摻雜、擴(kuò)散和離子注入正是達(dá)成....

芯片制造中的薄膜測(cè)量方法
在指甲蓋大小的芯片上集成數(shù)百億晶體管,需要經(jīng)歷數(shù)百道嚴(yán)苛工藝的淬煉。每一道工序的參數(shù)波動(dòng),都可能引發(fā)....

遠(yuǎn)程等離子體刻蝕技術(shù)介紹
遠(yuǎn)程等離子體刻蝕技術(shù)通過(guò)非接觸式能量傳遞實(shí)現(xiàn)材料加工,其中熱輔助離子束刻蝕(TAIBE)作為前沿技術(shù)....

常見(jiàn)氣體傳感器的類型和工作原理
在萬(wàn)物互聯(lián)的社會(huì),氣體感知技術(shù)已成為各領(lǐng)域發(fā)展的 “隱形衛(wèi)士”。消費(fèi)場(chǎng)景中,守護(hù)家居空氣質(zhì)量;汽車領(lǐng)....

電子衍射技術(shù)的原理與分類
隨著半導(dǎo)體器件尺寸的不斷縮小和性能要求的日益提高,應(yīng)變工程半導(dǎo)體異質(zhì)結(jié)構(gòu)在現(xiàn)代電子器件中發(fā)揮著關(guān)鍵作....
